超純水儀URS技術參數(shù)1. 進水與產(chǎn)水的水質(zhì)要求1.1 ★進水水質(zhì)要求： 市政自來水1.2 ★產(chǎn)純水水質(zhì)要求：1.2.1電阻率10-15 MΩ·cm＠25 ℃（帶溫度補償）1.2.2總有機碳含量(TOC) ＜30 ppb；1.2.3微生物＜10 cfu/ml 1.2.4制水流速不低于5 L/h，可24小時不間斷制水1.3 ★產(chǎn)超純水水質(zhì)要求：1.3.1電阻率：18.2 MΩ·cm＠25℃1.3.2