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            • 重?fù)絀nP生長(zhǎng)的InGaAs外延層遷移率的測(cè)量
              2023年12月13日發(fā)(作者:初日照高林)-重?fù)絀nP生長(zhǎng)的InGaAs外延層遷移率的測(cè)量 付雪濤;劉筠;張旭;王香;管琪;裴會(huì)川;張永剛;李雪 【摘 要】通過襯底剝離技術(shù)對(duì)以重?fù)絅型磷化銦(N +-InP)襯底生長(zhǎng)的In0.53 Ga0.47 As外延層的遷移率測(cè)量方法進(jìn)行了研究。首先,采用環(huán)氧樹脂膠將In0.53 Ga0.47 As外延層粘貼在半絕緣藍(lán)寶石襯底上,以鹽酸溶液腐蝕掉InP襯底;
              時(shí)間:2023-12-13  熱度:5℃
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