廠務常用縮寫

2023年12月13日發(作者：克服困難的作文)

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廠務常用縮寫

字體: 小 中 大 | 打印 發表于: 2007-4-20 08:54 作者: cecilcxm 來源: 半導體技術天地

Abbreviation Full Name 中 文 說 明

HVAC

CUP Central Utility Plant 中央動力廠房

GEX General EXhaust 普通及熱排氣

SEX Scrubber EXhaust 酸排氣

VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排

AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣

PCW Plant Cooling Water 工藝冷卻水

PV Process Vacuum 工藝真空

HV Hou Vacuum 真空吸塵

CW City Water 自來水

FMCS Faility Monitoring Contro System 廠務監控系統

MCC Motor Control Center 馬達控制中心

VFD Variable Frequency Device 變頻

CCTV Clo Circuit Televsion 閉路電視

PA Public Adress system 廣播系統

FA Fire Alarm system 火災報警系統

UPW Ultra Pure Water 超純水

FWW Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢水

IWW Industry Waste Water 工業廢水 OWW Organic Waste Water 有機溶劑廢水

DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨廢水

RCL Recycle water 製程回收循環水

RCM Reclaim water 製程回收再利用水

HFW High Fluoride Waste water 高濃度氫氟酸廢水

BGW

SAW

PAW

SW

TW

PIX

SLOW

SLWP

SLWP

PN2

GN2

CDA

VMB

空調系統

AHU

MAU

VAV

FFU

HEPA

ULPA

A/S

CUP

電力系統

FMCS

MCC

VFD

CCTV

Backgriding Waste water 晶背研磨廢

Sulfuric Acid Waste water 硫酸廢

Phosphoric Acid Waste water 磷酸廢液

剝離液廢液

清洗廢

Pix waste water PIX廢

Oxide slurry waste water 介電質研磨廢水

Metal slurry waste water 金屬研磨廢

Poly slurry waste water 多晶硅研磨廢水

Process N2 製程用氮氣

General N2 一般用氮氣

Compressor Dry Air 壓縮乾燥空氣

Valve Manifold Box 閥箱

Air Handling Unit 空調箱

Make-up Air Unit 外氣空調箱

Variable Air Volume box 可變風量風

Fan Filter Unit 風車過濾器

High Efficiency Particulate Filter 高效率過濾

Ultra Low Penetration Filter 超高效率過濾器

Air Shower 空氣浴塵室

Central Utility Plant 中央動力廠房

Faility Monitoring Control System 廠務監控系統

Motor Control Center 馬達控制中心

Variable Frequency Device 變頻器

Clo Circuit Televsion 閉路電視

Stripper Waste water

Thinner Waste water

SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 監視控制和數據搜集系

MCC Motor Control Center 馬達控制中心

VFD Variable Frequency Device 變頻器

水處理系統

UPW Ultra Pure Water 超純水

RO Rever Osmosis 逆滲透膜

TOC Total Organic Carbon 總有機碳

MB Mixed Bed 混床

UF UltraFiltration 超濾

SC Strong Cation 強陽離子

SA Strong Anion 強陰離子

WA Weak Anion 弱陰離子

DO Dissolved Oxygen 溶解氧

MD Membrane Degasify 脫氣膜

GF Gravity Filter 重力式過濾器.

DI Deionize 去離子水

氣體/化學系統

CQC Continuous Quality Control連續品質控制系統

VMB Valve Manifold Box 閥箱

VMP Valve Manifold Panel 閥盤

GMS Gas Monitoring System 氣體監測系統

CDS Chemical Dispen System 化學系統

SDS Slurry Dispen System 化學研磨系統

環境安全衛生

ESH Environment Safety Health 環境安全衛生

SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自給式空氣呼吸器

HVAC

AHU Air Handling Unit 空調箱

MAU Make-up Air Unit 外氣空調箱

VAV Variable Air Volume box 可變風量風箱 FD Fire Damper 防火風門

FSD combined Fire Smoke Damper 防火防煙風門

SD Smoke Damper 防煙風門

PHX Plated type Heat Exanger 板式熱交換器

FFU Fan Filter Unit 風車過濾器

HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率過濾器

ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率過濾器

A/S Air Shower 空氣浴塵室

A/L Air Lock 氣閉門室

DCC Dry Cooling Coil 干盤管

FCU Fan Coil Unit 小型冷風機

SF Smoke Fan 消防排煙風車

EF Exhaust Fan 通風排氣風

CUP Central Utility Plant 中央動力廠房

GEX General EXhaust 普通及熱排氣

SEX Scrubber EXhaust 酸排氣

VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排氣

AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣

PCW Process Cooling Water 工藝冷卻

PV Plant Vacuum 工藝真空

HV Hou Vacuum 真空吸塵

CW City Water 自來水

FMCS Faility Monitoring Control System 廠務監控系統

MCC Motor Control Center 馬達控制中心

VFD Variable Frequency Device 變頻器

CCTV Clo Circuit Televsion 閉路電視

PA Public Adress system 廣播系統

FA Fire Alarm system 火災報警系

UPW Ultra Pure Water 超純水

RO rever Osmosis 逆滲透膜

TOC total organic carbon 總有機碳

MB mixed bed 混床

UF ultrafiltration 超濾 SC strong cation 強陽離子

SA strong Anion 強陰離子

WA weak Anion 弱陰離子

DO dissolved oxygen 溶解氧

MD membrane Degasify 脫氣膜

GF gravity Filter 重力式過濾器.

DI deionize 去離子水

FWW

IWW

OWW

DAHW

RCL

RCM

HFW

BGW

SAW

PAW

SW

TW

PIX

SLW-O

SLW-M

SLW-P

PN2

GN2

CDA

VMB

ESH

SCBA

空氣呼吸器

ISO

準化組織

Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢水

Industry Waste Water 工業廢水

Organic Waste Water 有機溶劑廢水

Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨廢水

Recycle water 製程回收循環水

Reclaim water 製程回收再利用水

High Fluoride Waste 高濃度氫氟酸廢液

Backgriding Waste water 晶背研磨廢水

Sulfuric Acid Waste 硫酸廢液

Phosphoric Acid Waste 磷酸廢液

Stripper Waste 剝離液廢液

Thinner Waste 清洗廢液

PIX waste PIX廢液

SLurry Wastewater Oxide 介電質研磨廢水

SLurry Wastewater Metal 金屬研磨廢水

SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨廢水

Process N2 製程用氮氣

General N2 一般用氮氣

Compressor Dry Air壓縮乾燥空氣

Valve Manifold Box 閥箱

Environment Safety Health 環境安全衛生

Self Contained Brathing Apparatus

International Organization for Standardization

自給式國際標

ESH

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