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            三氯硅烷(生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料)

            更新時(shí)間:2025-12-22 17:53:18 閱讀: 評論:0

            三氯硅烷(生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料)

            三氯硅烷 (生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料) 次瀏覽 | 2022.04.26 10:36:06 更新 來源 :互聯(lián)網(wǎng) 精選百科 本文由作者推薦 三氯硅烷生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料

            三氯硅烷是一種無機(jī)物,化學(xué)式為HCl3Si。為無色液體,極易揮發(fā),溶于苯、醚等多數(shù)有機(jī)溶劑,性質(zhì)穩(wěn)定。主要用于有機(jī)硅烷和烷基、芳基以及有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷的合成,是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體,也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料。

            中文名

            三氯硅烷

            外文名

            trichlorosilane; Silicochloroform

            化學(xué)式

            HCl3Si

            分子量

            135.452

            熔點(diǎn)

            -134℃

            沸點(diǎn)

            31.8℃

            密度

            1.37

            外觀

            無色液體

            閃點(diǎn)

            7

            應(yīng)用

            有機(jī)硅烷和烷基、芳基以及有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷的合成,是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體,也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料

            安全性描述

            S16、S26、S36/37/39、S43、S45、S7/9、S43

            危險(xiǎn)性符號

            F+:Highly flammable;C:Corrosive

            危險(xiǎn)性描述

            R12、R14、R17、R20/22、R29、R35

            UN危險(xiǎn)貨物編號

            號1295

            折射率

            1.4-1.402

            理化性質(zhì)

            三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發(fā)的無色透明液體。

            在空氣中極易燃燒,在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn),遇明火則強(qiáng)烈燃燒,燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙,生成SiO2、HCl和Cl2:SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2;

            三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣,受熱時(shí)引起猛烈的爆炸。

            它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好,在900℃時(shí)分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧(HCl),還生成Cl2和Si。

            遇潮氣時(shí)發(fā)煙,與水激烈反應(yīng):2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6ChemicalbookHCl;

            在堿液中分解放出氫氣:SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2;

            與氧化性物質(zhì)接觸時(shí)產(chǎn)生爆炸性反應(yīng)。

            與乙炔、烴等碳?xì)浠衔锓磻?yīng)產(chǎn)生有機(jī)氯硅烷:SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3;

            在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下,SiHCl3可被還原為硅烷。

            容器中的液態(tài)SiHCl3當(dāng)容器受到強(qiáng)烈撞擊時(shí)會著火。

            可溶解于苯、醚等。

            無水狀態(tài)下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕,但是在有水分存在時(shí)腐蝕大部分金屬。

            三氯氫硅

            三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿,用作高分子有機(jī)硅化合物的原料。

            三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體,還是制造多晶硅的主要原料。

            硅烷偶聯(lián)劑是一種重要的、高科技含量、高附加值的有機(jī)硅復(fù)合材料,通過硅烷偶聯(lián)劑可使非交聯(lián)樹脂實(shí)現(xiàn)交聯(lián)固化或改性,因此在玻璃纖維、鑄造、輪胎橡膠等行業(yè)得到了日益廣泛的應(yīng)用。

            生產(chǎn)三氯氫硅的主要副產(chǎn)品四氯化硅也是制造有機(jī)硅的主要原料,Chemicalbook它的制成品有硅酸酯、有機(jī)硅油、高溫絕緣漆、有機(jī)硅樹脂、硅橡膠和耐熱墊襯材料等。

            高純的四氯化硅還是制造高純二氧化硅、無機(jī)硅化合物、石英纖維以及光導(dǎo)纖維的重要原料。

            多晶硅產(chǎn)品的主要用途:

            (1)可做成太陽能電池,將輻射能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔埽?/p>

            (2)高純的晶體硅是重要的半導(dǎo)體材料;

            (3)金屬陶瓷、宇宙航行的重要材料;

            (4)光導(dǎo)纖維通信,最新的現(xiàn)代通信手段;

            (5)性能優(yōu)異的硅有機(jī)化合物。[1]

            毒性

            吸入三氯氫硅蒸氣數(shù)分鐘后,表現(xiàn)興奮,呼吸反射障礙,呼吸器官有炎癥。

            濺在皮膚上可引起壞死,潰瘍長期不愈。

            最高容許濃度為1mg/m3(必須檢測HCl)。

            生產(chǎn)人員要穿著密閉型工作Chemicalbook服,戴防毒口罩、密閉眼鏡、乳膠手套等勞保用品,防止呼吸器官、眼睛和皮膚的直接接觸。

            生產(chǎn)設(shè)備要密閉,車間通風(fēng)良好。下班后要洗淋浴,遵守個人衛(wèi)生。生產(chǎn)工人進(jìn)行就業(yè)前和定期體檢。

            化學(xué)性質(zhì)

            無色液體。溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。

            用途

            用作高分子有機(jī)硅化合物的原料,也用于儀表工業(yè)

            制造有機(jī)硅化合物的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的基本原料。

            生產(chǎn)方法

            沸騰氯化法硅粉經(jīng)干燥后加入氯化沸騰爐,與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進(jìn)行反應(yīng)。生成的粗三氯氫硅經(jīng)濕法除塵器、列Chemicalbook管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅,由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經(jīng)冷凝,制得三氯氫硅成品。其反應(yīng)方程式如下:Si+3HCl→SiHCl3+H2。

            其他

            類別:易燃液體。

            毒性分級:中毒。

            急性毒性:口服-大鼠LD50:1030毫克/公斤;吸入-小鼠LC50:1500毫克/立方米/2小時(shí)。

            可燃性危險(xiǎn)特性:遇明Chemicalbook火、高溫、氧化劑易燃;遇水或高溫產(chǎn)生有毒氯化物和氟化物煙霧。

            儲運(yùn)特性:庫房通風(fēng)低溫干燥;與氧化劑、酸類分開存放。

            滅火劑:干粉、干砂、二氧化碳、泡沫。

            安全信息

            危險(xiǎn)品標(biāo)志:F+,C

            危險(xiǎn)類別碼:12-14-17-20/22-29-35

            安全說明:16-26-36/37/39-43-45-7/9-43A

            危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號:UN12954.3/PG1

            WGKGermany:1

            RTECS號:VV5950000

            F:4.5-21-31

            TSCA:Yes

            HazardClass:4.3

            PackingGroup:I

            海關(guān)編碼:28530090

            毒害物質(zhì)數(shù)據(jù):10025-78-2(HazardousSubstancesData)

            毒性:LD50orallyinrats:1.03g/kg(Smyth)

            參考資料

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            標(biāo)簽:硅烷   單晶硅   半導(dǎo)體   原料
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