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一種InGaAsInP體系的單行載流子的光電探測(cè)器制備方法[發(fā)明專利]_
2023年12月13日發(fā)(作者：采礦專業(yè))-專利內(nèi)容由知識(shí)產(chǎn)權(quán)出版社提供專利名稱：一種InGaAs/InP體系的單行載流子的光電探測(cè)器制備方法專利類型：發(fā)明專利發(fā)明人：陳子超,陳釗鑒,金運(yùn)姜申請(qǐng)?zhí)枺篊N2.0申請(qǐng)日：20220117公開號(hào)：CN114400273A公開日：20220426摘要：本發(fā)明公開了一種InGaAs/InP體系的單行載流子的光電探測(cè)器制備方法，包括以下步驟：使用HSQ光刻膠在

時(shí)間：2023-12-13 熱度：5℃

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