一種InGaAsInP體系的單行載流子的光電探測器制備方法[發明專利]_
2023年12月13日發(作者:采礦專業)-專利內容由知識產權出版社提供專利名稱:一種InGaAs/InP體系的單行載流子的光電探測器制備方法專利類型:發明專利發明人:陳子超,陳釗鑒,金運姜申請號:CN2.0申請日:20220117公開號:CN114400273A公開日:20220426摘要:本發明公開了一種InGaAs/InP體系的單行載流子的光電探測器制備方法,包括以下步驟:使用HSQ光刻膠在
時間:2023-12-13 熱度:5℃