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               氮化鎵MOCVD感應加熱裝置的優化設計
              
              痛苦的句子-心理品質2023年5月24日發(作者：家風手抄報)氮化鎵MOCVD感應加熱裝置的優化設計 徐龍權;劉新衛;唐子涵;方頌 【期刊名稱】《機械科學與技術》 【年(卷),期】2017(036)012 【摘 要】為了設計一款成本低、效率高的中頻感應加熱器樣機,利用ANSYS軟件對感應加熱立式氮化鎵MOCVD反應室建立2D模型.首先分別通過改變加熱線圈與石墨基座下表面距離及線圈之間的間距,研究分
              
              
              時間：2023-05-24  熱度：6℃
              
            
              
          
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