一種抗重力、低膨脹率均熱板及其制備方法與流程
1.本發(fā)明屬于熱管技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種抗重力、低膨脹率均熱板及其制備方法。
背景技術(shù)：
2.電子器件向著高集成度、高性能、使用場景廣泛的方向發(fā)展。高熱流、小空間、適用范圍廣成為電子器件散熱技術(shù)的發(fā)展必然趨勢。對于不同的使用場景而言，電子器件對散熱系統(tǒng)也具有不同的要求。
3.均熱板作為一種被動相變換熱元件，采用液體相變傳熱技術(shù)，通過相變將熱量迅速傳至整個表面，具有散熱能力強、傳熱溫差小、無需額外維護等優(yōu)點，多用于需要高效散熱的場景，能夠迅速降低熱源的溫度，改善了電子器件的散熱問題，延長了電子產(chǎn)品的使用壽命。
4.傳統(tǒng)的均熱板大多只能在順重力和低功率的條件下進行工作，在逆重力的條件下具有較差的均溫性能，并且在高功率高溫的條件下容易出現(xiàn)膨脹等問題，這大大限制了其使用的場景。同時，對于半導(dǎo)體功率器件，其膨脹系數(shù)較低，熱膨脹匹配是保證其穩(wěn)定運行的關(guān)鍵，目前的熱管制作中常用膨脹系數(shù)較大的金屬作為殼體材料，無法滿足熱膨脹匹配要求。為滿足高功率器件的散熱需求，現(xiàn)有技術(shù)方案多采用導(dǎo)熱性能較好的金剛石銅、金剛石鋁等實體材料，重量較大，成本高昂。對于航天航空領(lǐng)域中零重力條件下高功率電子封裝器件的熱控需求，如何設(shè)計一種穩(wěn)定可靠的抗重力、低膨脹率均熱板進行快速傳熱，仍是業(yè)界所需解決的技術(shù)瓶頸。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
5.針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的之一在于：提供一種梯度絲網(wǎng)加粉環(huán)結(jié)構(gòu)，在熱源安裝面設(shè)計向內(nèi)的凸臺結(jié)構(gòu)，提高腔體工質(zhì)回流速率，在逆重力姿態(tài)下仍可促進液體回流，提高均熱板的性能，能夠使其在逆重力條件下具有較好的均溫性能，克服均熱板逆重力效果差的技術(shù)難題。
6.針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的之二在于：在上殼體和下殼體連接處，設(shè)計支撐柱結(jié)構(gòu)，采用低膨脹率的金屬材料進行殼體加工制備，在高功率高溫條件下均熱板仍可正常工作，保持較低的膨脹率，解決了傳統(tǒng)均熱板與半導(dǎo)體封裝器件熱膨脹特性不匹配的技術(shù)難題。
7.針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的之三在于：提供一種抗重力、低膨脹率均熱板的制備方法。
8.本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：
9.第一方面，一種抗重力、低膨脹率均熱板，包括：
10.上殼體，其與下殼體對接形成容納吸液芯、粉環(huán)和工質(zhì)的腔體；上殼體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有凸臺和多個第一支撐柱，凸臺的正后方形成容納熱源的凹槽；
11.下殼體，其內(nèi)側(cè)面分布有多個與第一支撐柱對應(yīng)的第二支撐柱，外側(cè)面與外部冷
卻工裝相接；
12.吸液芯，其為片狀結(jié)構(gòu)，開設(shè)有使第一支撐柱穿過的第一通孔，并與上殼體的內(nèi)側(cè)面緊密貼合；
13.粉環(huán)，其嵌套于下殼體的第二支撐柱上，上端對接第一支撐柱，將下殼體內(nèi)側(cè)冷凝后的工質(zhì)輸送給吸液芯后回流至凸臺處；
14.工質(zhì)，其為流動的相變液體，將凸臺處熱量傳遞至整個均熱板。
15.第二方面，一種抗重力、低膨脹率均熱板的制備方法，包括如下步驟：
16.步驟1：通過銑削工藝或者蝕刻工藝加工上殼體和下殼體，上殼體外側(cè)面熱源安裝處向內(nèi)加工凹槽，內(nèi)側(cè)面相應(yīng)形成凸臺，上殼體或下殼體邊緣處設(shè)置注液孔，上殼體和下殼體內(nèi)側(cè)陣列排布支撐柱結(jié)構(gòu)；
17.步驟2：采用還原氣氛燒結(jié)法將至少一層金屬絲網(wǎng)燒結(jié)成一體，并加工成與上殼體內(nèi)側(cè)型面相同的吸液芯結(jié)構(gòu)；
18.步驟3：將吸液芯壓置于上殼體內(nèi)，采用還原氣氛燒結(jié)法連接吸液芯與上殼體；
19.步驟4：將粉環(huán)嵌套于下殼體的第二支撐柱上，將上殼體與下殼體拼合，通過焊接方式進行連接；
20.步驟5：將注液管與上殼體或下殼體上預(yù)留的注液孔連接，將工質(zhì)通過注液管灌注于上殼體和下殼體形成的腔體中；
21.步驟6：將腔體內(nèi)部抽真空處理，并實施液壓封口，完成均熱板制備。
22.根據(jù)本發(fā)明提供的一種抗重力、低膨脹率均熱板及其制備方法，具有以下有益效果：
23.(1)本發(fā)明提供的一種抗重力、低膨脹率均熱板，采用梯度絲網(wǎng)加粉環(huán)結(jié)構(gòu)，在熱源安裝面設(shè)計向內(nèi)的凸臺結(jié)構(gòu)，提高腔體工質(zhì)回流速率，在逆重力姿態(tài)下仍可促進液體回流，在逆重力條件和順重力的條件下均具有較好的均溫性能，克服了傳統(tǒng)均熱板熱源只能置于均熱板下方的技術(shù)難點；
24.(2)本發(fā)明提供的一種抗重力、低膨脹率均熱板，采用梯度絲網(wǎng)加粉環(huán)結(jié)構(gòu)，在上殼體和下殼體連接處，設(shè)計支撐柱結(jié)構(gòu)，采用低膨脹率的金屬材料進行殼體加工制備，在高功率高溫條件下，均熱板仍然具有較低的膨脹率，與半導(dǎo)體封裝功率器件的膨脹特性相匹配，可與功率器件的可靠焊接，實現(xiàn)功率器件的直接冷卻，解決了傳統(tǒng)均熱板與半導(dǎo)體封裝器件熱膨脹特性不匹配的技術(shù)難題；
25.(3)本發(fā)明提供的一種抗重力、低膨脹率均熱板的制備方法，與現(xiàn)有均熱板工藝性兼容較佳，實現(xiàn)方法簡單，適合用于工業(yè)生產(chǎn)。
附圖說明
26.圖1為本發(fā)明一種優(yōu)選實施方式中抗重力、低膨脹率均熱板的立體結(jié)構(gòu)分解示意圖。
27.圖2為完成密封連接后的均熱板示意圖。
28.圖3為上殼體的結(jié)構(gòu)示意圖。
29.圖4為下殼體的結(jié)構(gòu)示意圖。
30.圖5為吸液芯的結(jié)構(gòu)示意圖。
31.圖6為完成密封連接后的均熱板工作原理示意圖；
32.圖7為使用均熱板與金剛石銅的熱源溫度對比；
33.圖8為不同測試狀態(tài)(順重力、逆重力)下的熱源溫度。
34.附圖標(biāo)號說明：
35.1-上殼體、11-凸臺、12-第一支撐柱、13-凹槽、2-注液管、3-吸液芯、31第一通孔、32第二通孔、4-粉環(huán)、5-下殼體、51-第二支撐柱、52-第三支撐柱、6-變功率器件、7-水冷板。
具體實施方式
36.下面通過對本發(fā)明進行詳細說明，本發(fā)明的特點和優(yōu)點將隨著這些說明而變得更為清楚、明確。
37.在這里專用的詞“示例性”意為“用作例子、實施例或說明性”。這里作為“示例性”所說明的任何實施例不必解釋為優(yōu)于或好于其它實施例。盡管在附圖中示出了實施例的各種方面，但是除非特別指出，不必按比例繪制附圖。
38.根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種抗重力、低膨脹率均熱板，如圖1和圖2所示，包括對應(yīng)連接的上殼體1和下殼體5，上殼體1和下殼體5均為金屬材料；上殼體1和下殼體5對接形成的腔體內(nèi)部設(shè)有吸液芯3、粉環(huán)4和工質(zhì)；上殼體1和下殼體5連接處通過焊接連接。焊接封裝后，將均熱板灌注工質(zhì)，內(nèi)部抽真空并密封實現(xiàn)抗重力、低膨脹率均熱板制造。
39.如圖3所示，上殼體1采用低膨脹率金屬材料，熱膨脹系數(shù)低于15ppm/℃，包括但不限于鉬銅、可伐合金、殷鋼等低膨脹金屬或合金，優(yōu)選為鉬銅。上殼體1的內(nèi)側(cè)面設(shè)有凸臺11和多個均布的第一支撐柱12，外側(cè)為熱源安裝面，設(shè)置有凹槽13，凹槽13深度為1-1.5mm。第一支撐柱12用于上下殼體間的對接，可為圓柱形、多邊棱柱或不規(guī)則柱狀等，優(yōu)選為圓柱形，更優(yōu)選呈三角陣列排布；凸臺11作為加熱端，凹槽13設(shè)于凸臺11的正后方，用于安裝熱源如電子器件。上殼體1和下殼體5的厚度為1.5-2mm。
40.上殼體1邊緣處設(shè)置有連通內(nèi)腔的注液孔，通過注液管2置于上殼體1預(yù)留的注液孔內(nèi)將工質(zhì)灌注于腔體內(nèi)部。當(dāng)然，注液孔也可設(shè)在下殼體5上。
41.如圖4所示，下殼體5采用低膨脹率金屬材料，包括但不限于鉬銅、可伐合金、殷鋼等低膨脹金屬或合金，優(yōu)選為鉬銅。下殼體5的內(nèi)側(cè)面分布有多個與第一支撐柱12對應(yīng)的第二支撐柱51，用于上下殼體間的對接。第二支撐柱51可為圓柱形、多邊棱柱等，優(yōu)選為圓柱形，更優(yōu)選呈三角陣列排布。優(yōu)選地，下殼體5內(nèi)側(cè)對應(yīng)凸臺11處設(shè)置有條形的第三支撐柱52，寬度對應(yīng)凸臺11寬度。
42.如圖5所示，吸液芯3為片狀結(jié)構(gòu)，置于上殼體1下方，與上殼體1的內(nèi)側(cè)面緊密貼合。吸液芯3采用至少一層薄型金屬絲網(wǎng)，金屬絲網(wǎng)數(shù)目為兩層以上時燒結(jié)為一體，金屬絲網(wǎng)的材料包括但不限于銅、不銹鋼或鈦合金。優(yōu)選地，金屬絲網(wǎng)目數(shù)為100-300目，厚度為0.06-2mm，層數(shù)為1-7層，燒結(jié)后形成的吸液芯3保留了金屬絲網(wǎng)的多孔結(jié)構(gòu)，具有較強的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和良好的液體擴散能力，有利于對工質(zhì)的傳輸。吸液芯3上開設(shè)第一通孔31，使第一支撐柱12穿過；對應(yīng)凸臺11處模壓形成凹部，凹部上對應(yīng)下方下殼體5上第三支撐柱52處開設(shè)第二通孔32，使凸臺11處受熱后汽化形成高溫水蒸氣，較快地在下殼體5處冷凝液化，釋放熱量。
43.如圖1所示，粉環(huán)4嵌套于下殼體5的第二支撐柱51上，上端對接第一支撐柱12，其
采用金屬粉末燒結(jié)而成，金屬粉末的材料包括但不限于銅、不銹鋼或鈦合金，目數(shù)為100-200目。優(yōu)選地，粉環(huán)4的高度大于第二支撐柱51的高度，小于等于第一支撐柱12和第二支撐柱51的高度和。
44.粉環(huán)4承接第一支撐柱12和第二支撐柱51，內(nèi)部工質(zhì)在凸臺11處受熱后汽化形成高溫水蒸氣，在下殼體5處冷凝液化，并釋放熱量，冷凝工質(zhì)沿著粉環(huán)4和吸液芯3回流至凸臺11處，往復(fù)循環(huán)實現(xiàn)對電子器件的相變冷卻，粉環(huán)4和吸液芯3起到工質(zhì)引流的作用。
45.粉環(huán)4嵌套于第二支撐柱51上后，相鄰粉環(huán)4之間留有空隙，形成工質(zhì)流道，加快換熱。
46.工質(zhì)采用去離子水、丙酮、乙醇或甲醇，優(yōu)選為去離子水。
47.根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種抗重力、低膨脹率均熱板的制備方法，包括如下步驟：
48.步驟1：殼體制備。通過銑削工藝或者蝕刻工藝加工上殼體和下殼體，上殼體外側(cè)面熱源安裝處向內(nèi)加工凹槽13，內(nèi)側(cè)面相應(yīng)形成凸臺11，上殼體或下殼體邊緣處設(shè)置注液孔，上殼體和下殼體內(nèi)側(cè)陣列排布支撐柱結(jié)構(gòu)；
49.步驟2：吸液芯制備。采用還原氣氛燒結(jié)法將至少一層薄型金屬絲網(wǎng)燒結(jié)成一體，通過激光加工得到與上殼體內(nèi)側(cè)型面相同的吸液芯結(jié)構(gòu)；
50.步驟3：吸液芯3燒結(jié)于上殼體1內(nèi)。將吸液芯3壓置于上殼體1內(nèi)，采用還原氣氛燒結(jié)法連接吸液芯3與上殼體1；
51.步驟4：均熱板焊接。將粉環(huán)4嵌套于下殼體5的第二支撐柱51上，將上殼體1與下殼體5拼合，通過焊接方式進行連接；焊接方式包括但不限于硬釬焊、擴散焊或激光焊接；
52.步驟5：工質(zhì)灌注。將注液管2與上殼體1或下殼體5上預(yù)留的注液孔連接，將工質(zhì)通過注液管2灌注于上殼體1和下殼體5形成的腔體中；
53.步驟6：真空封口。將腔體內(nèi)部抽真空處理，真空度小于10pa，并實施液壓封口，完成均熱板制備。
54.實施例
55.實施例1
56.一種抗重力、低膨脹率均熱板的制作方法，包括如下步驟：
57.s1.殼體制備。上下殼體均采用銑削工藝加工，上殼體1尺寸為70
×
50
×
1.85mm，上殼體內(nèi)部腔體高度為1mm，下殼體5尺寸為70
×
50
×
1.2mm，下殼體內(nèi)部腔體高度為0.7mm；上下殼體內(nèi)部呈三角陣列排布一一對應(yīng)的支撐柱結(jié)構(gòu)，支撐柱的直徑為2.8mm，間距為8mm，高度為與腔體高度一致；上殼體1熱源安裝面設(shè)有凹槽13。
58.s2.吸液芯3制備。采用還原氣氛燒結(jié)法將多層薄型銅絲網(wǎng)燒結(jié)形成吸液芯3結(jié)構(gòu)。吸液芯3采用5層薄型銅絲網(wǎng)燒結(jié)而成，銅絲網(wǎng)目數(shù)為250目，厚度為0.06mm。燒結(jié)采用氫氣還原氣氛，燒結(jié)溫度為800℃，保溫時間為1小時。采用激光加工的方式對多層銅絲網(wǎng)進行激光切割，得到適用于上殼體1的吸液芯3結(jié)構(gòu)。吸液芯3上開設(shè)呈三角陣列排布的第一通孔31，使第一支撐柱12穿過；對應(yīng)凸臺11處模壓形成凹槽，凹槽上對應(yīng)下方下殼體5上第三支撐柱52處開設(shè)第二通孔32，使凸臺11處受熱后汽化形成高溫水蒸氣，較快地在下殼體5處冷凝液化，釋放熱量。
59.s3.吸液芯3燒結(jié)于上殼體1上。使用石墨模具將吸液芯3壓置于上殼體1內(nèi)，并施加
1.5kpa的壓力將吸液芯3與上殼體1緊密貼合，采用還原氣氛燒結(jié)法將吸液芯3結(jié)構(gòu)與上殼體1連接。燒結(jié)采用氫氣還原氣氛，燒結(jié)溫度為650℃，保溫時間為1小時。
60.s4.均熱板焊接。粉環(huán)4嵌套于下殼體5的第二支撐柱51上。進一步，焊接采用焊膏進行硬釬焊，將焊膏置于下殼體5邊緣處和第二支撐柱51之上，將上、下殼體拼合定位、夾緊，夾緊壓力為1.5kpa。采用還原氣氛燒結(jié)法進行上、下殼體間的焊接，通過焊接工藝完成均熱板的殼體制作。燒結(jié)采用氫氣還原氣氛，燒結(jié)溫度為650℃，保溫時間為1小時。
61.s5.工質(zhì)灌注。注液管2置于上殼體1預(yù)留注液孔位置，采用焊接工藝進行注液管2與上殼體1的連接，適量工質(zhì)通過注液管2灌注于腔體內(nèi)部。工質(zhì)采用去離子水，充液量為1ml。
62.s6.真空封口。將腔體內(nèi)部抽真空處理，并且在抽真空狀態(tài)下待真空度為6pa時，實施液壓封口，保證腔體內(nèi)部處于高真空狀態(tài)，即可完成整個均熱板的制備工藝。
63.經(jīng)過上述步驟s1-s6，可獲得本發(fā)明所述的一種抗重力、低膨脹率均熱板，如圖6所示。本發(fā)明均熱板在抗重力工作時，變功率器件6置于上殼體1的凹槽13之上，水冷板7置于下殼體5的底部，內(nèi)部工質(zhì)在凸臺11處受熱后汽化形成高溫水蒸氣，在下殼體5處冷凝液化，并釋放熱量，冷凝工質(zhì)沿著粉環(huán)4和吸液芯3回流至凸臺11處，往復(fù)循環(huán)實現(xiàn)對變功率器件6相變冷卻。
64.將本發(fā)明的均熱板與金剛石銅進行對比測試，結(jié)果見圖7。從數(shù)據(jù)可以看出，相同功率下，均熱板的熱源溫度要低于金剛石銅，說明均熱板比金剛石銅具有更好的熱擴散性能，可以有效降低熱源溫度。
65.對本發(fā)明的抗重力、低膨脹率均熱板分別在順重力和逆重力狀態(tài)下進行測試，在不同的功率條件下的熱源溫度如圖8所示。可知，本發(fā)明均熱板在順重力與逆重力條件下具有相當(dāng)?shù)膫鳠嵝阅埽谀嬷亓l件下的傳熱性能略優(yōu)于順重力條件。
66.上述實施例為本發(fā)明較佳的實施方法，但本發(fā)明的實施方法并不受上述實施例的限制，其中上、下殼體是相對空間上的命名，以方便對實施例的說明，并非對其進行空間限制，其他的任何未背離本發(fā)明的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
67.本發(fā)明說明書中未作詳細描述的內(nèi)容屬本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)。
技術(shù)特征：
1.一種抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，包括：上殼體(1)，其與下殼體(5)對接形成容納吸液芯(3)、粉環(huán)(4)和工質(zhì)的腔體；上殼體(1)的內(nèi)側(cè)面設(shè)有凸臺(11)和多個第一支撐柱(12)，凸臺(11)的正后方形成容納熱源的凹槽(13)；下殼體(5)，其內(nèi)側(cè)面分布有多個與第一支撐柱(12)對應(yīng)的第二支撐柱(51)，外側(cè)面與外部冷卻工裝相接；吸液芯(3)，其為片狀結(jié)構(gòu)，開設(shè)有使第一支撐柱(12)穿過的第一通孔(31)，并與上殼體(1)的內(nèi)側(cè)面緊密貼合；粉環(huán)(4)，其嵌套于下殼體(5)的第二支撐柱(51)上，上端對接第一支撐柱(12)，將下殼體(5)內(nèi)側(cè)冷凝后的工質(zhì)輸送給吸液芯(3)后回流至凸臺(11)處；工質(zhì)，其為流動的相變液體，將凸臺(11)處熱量傳遞至整個均熱板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述上殼體(1)和所述下殼體(5)均為金屬材料，熱膨脹系數(shù)低于15ppm/℃。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述第一支撐柱(12)和第二支撐柱(51)為圓柱形、多邊棱柱或不規(guī)則柱狀。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述第一支撐柱(12)和第二支撐柱(51)分別在上殼體(1)和下殼體(5)的內(nèi)側(cè)面呈三角陣列排布。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述下殼體(5)內(nèi)側(cè)對應(yīng)凸臺(11)處設(shè)置有條形的第三支撐柱(52)，寬度對應(yīng)凸臺(11)寬度。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述上殼體(1)或下殼體(5)的邊緣處設(shè)置有連通內(nèi)腔的注液孔，通過注液管(2)置于上殼體(1)或下殼體(5)預(yù)留的注液孔內(nèi)將工質(zhì)灌注于腔體內(nèi)部。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述吸液芯(3)采用至少一層金屬絲網(wǎng)，金屬絲網(wǎng)數(shù)目為兩層以上時燒結(jié)為一體，金屬絲網(wǎng)目數(shù)為100-300目，厚度為0.06-2mm，層數(shù)為1-7層。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述吸液芯(3)對應(yīng)凸臺(11)處形成凹部，凹部上對應(yīng)下方下殼體(5)上第三支撐柱(52)處開設(shè)第二通孔(32)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗重力、低膨脹率均熱板，其特征在于，所述粉環(huán)(4)采用金屬粉末燒結(jié)而成，金屬粉末目數(shù)為100-200目。10.一種抗重力、低膨脹率均熱板的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟1：通過銑削工藝或者蝕刻工藝加工上殼體(1)和下殼體(5)，上殼體(1)外側(cè)面熱源安裝處向內(nèi)加工凹槽(13)，內(nèi)側(cè)面相應(yīng)形成凸臺(11)，上殼體(1)或下殼體(5)邊緣處設(shè)置注液孔，上殼體(1)和下殼體(5)內(nèi)側(cè)陣列排布支撐柱結(jié)構(gòu)；步驟2：采用還原氣氛燒結(jié)法將至少一層金屬絲網(wǎng)燒結(jié)成一體，并加工成與上殼體(1)內(nèi)側(cè)型面相同的吸液芯結(jié)構(gòu)；步驟3：將吸液芯(3)壓置于上殼體(1)內(nèi)，采用還原氣氛燒結(jié)法連接吸液芯(3)與上殼體(1)；步驟4：將粉環(huán)(4)嵌套于下殼體(5)的第二支撐柱(51)上，將上殼體(1)與下殼體(5)拼合，通過焊接方式進行連接；
步驟5：將注液管(2)與上殼體(1)或下殼體(5)上預(yù)留的注液孔連接，將工質(zhì)通過注液管(2)灌注于上殼體(1)和下殼體(5)形成的腔體中；步驟6：將腔體內(nèi)部抽真空處理，并實施液壓封口，完成均熱板制備。
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種抗重力、低膨脹率均熱板及其制備方法，包括：上殼體，其內(nèi)側(cè)面設(shè)有凸臺和多個第一支撐柱，凸臺的正后方形成容納熱源的凹槽；下殼體，其內(nèi)側(cè)面分布有多個與第一支撐柱對應(yīng)的第二支撐柱，外側(cè)面與外部冷卻工裝相接；吸液芯，其為片狀結(jié)構(gòu)，開設(shè)有使第一支撐柱穿過的第一通孔，并與上殼體的內(nèi)側(cè)面緊密貼合；粉環(huán)，其嵌套于下殼體的第二支撐柱上，上端對接第一支撐柱，將下殼體內(nèi)側(cè)冷凝后的工質(zhì)輸送給吸液芯后回流至凸臺處；工質(zhì)，其為流動的相變液體，將凸臺處熱量傳遞至整個均熱板。本發(fā)明的均熱板具有抗重力的特征和較低的膨脹率，克服了均熱板逆重力效果差及與半導(dǎo)體封裝器件熱膨脹特性不匹配的技術(shù)難題。器件熱膨脹特性不匹配的技術(shù)難題。器件熱膨脹特性不匹配的技術(shù)難題。
