校正裝置、蒸鍍裝置及校正方法與流程
1.本發明涉及蒸發鍍膜技術領域，具體涉及一種校正裝置、蒸鍍裝置及校正方法。
背景技術：
2.真空蒸發鍍膜是指在特定的真空環境中，將固體材料加熱蒸發或升華后，使其在玻璃基板表面凝結或沉積，以形成表面膜層的工藝。待固體材料在蒸鍍坩堝(crucible)內部加熱蒸發或升華后，上升并通過蒸鍍坩堝上方的蒸發噴嘴(nozzle)發出，待蒸鍍源移動到待定位置的基板上方或基板移動到蒸鍍源上方時，蒸發出的材料離開蒸鍍坩堝后的加熱后逐漸降溫，蒸發運動的速度也逐漸降低，最終在待蒸鍍基板的表面沉積形成膜層。
3.對于量產線，待蒸鍍基板在蒸鍍過程中的蒸鍍速率由成膜速率檢測裝置(qcm)進行檢測，qcm的穩定性決定了蒸鍍速率的穩定性。但是qcm在使用一定時間后都會存在不穩定的狀態，因此需要將qcm拆卸下來進行檢查。然而再次安裝qcm時，現有技術需要根據qcm的安裝位置重新對蒸鍍源的溫度、速率及修正(tooling)值等各種參數進行大幅度調整，不僅操作麻煩，而且容易導致qcm檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而降低了蒸鍍速率的檢測準確性。
技術實現要素：
4.本技術提供一種校正裝置、蒸鍍裝置及校正方法，以解決現有技術中再次安裝檢測裝置時會降低蒸鍍速率的檢測準確性的問題。
5.第一方面，本技術提供一種校正裝置，用于連接檢測裝置，所述檢測裝置包括殼體及位于所述殼體中的檢測件，所述殼體上具有暴露所述檢測件的檢測孔，所述檢測件用于檢測蒸鍍源的蒸鍍速率，所述蒸鍍源包括蒸發噴嘴，所述校正裝置包括：蓋板、底座及激光源；
6.所述蓋板與所述殼體連接，所述蓋板上具有安裝孔，所述安裝孔位于所述檢測孔垂直于所述蓋板的延伸方向上；
7.所述激光源通過所述安裝孔與所述蓋板連接，用于發射激光照射至所述蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上。
8.在一些可能的實現方式中，所述激光源的出射方向位于所述安裝孔垂直于所述蓋板的所述延伸方向上。
9.在一些可能的實現方式中，所述安裝孔位于所述蓋板遠離所述殼體一面上的正投影位于所述檢測孔位于所述殼體靠近所述蓋板一面上的正投影的中心。
10.在一些可能的實現方式中，校正裝置還包括與所述蓋板連接的底座，所述安裝孔位于所述底座中，所述激光源通過所述安裝孔與所述底座連接。
11.在一些可能的實現方式中，所述底座位于所述蓋板遠離所述殼體一面上的正投影和所述檢測孔位于所述殼體靠近所述蓋板一面上的正投影重疊。
12.在一些可能的實現方式中，所述蓋板位于所述殼體靠近所述蓋板一面上的正投影
和所述殼體位于所述蓋板靠近所述殼體一面上的正投影重疊。
13.在一些可能的實現方式中，所述蓋板上具有與所述殼體上的至少一個第一螺紋孔對應的至少一個第二螺紋孔。
14.在一些可能的實現方式中，所述安裝孔為第三螺紋孔，所述激光源上具有與所述第三螺紋孔適配的外螺紋。
15.第二方面，本技術提供一種蒸鍍裝置，包括：檢測裝置、蒸鍍源及如上所述的校正裝置；
16.所述檢測裝置包括殼體及位于所述殼體中的檢測件，所述殼體上具有暴露所述檢測件的檢測孔，所述檢測件用于檢測蒸鍍源的蒸鍍速率；所述校正裝置與所述檢測裝置連接，用于發射激光照射至所述蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上。
17.第三方面，本技術提供一種校正方法，包括：
18.將檢測裝置活動安裝于蒸鍍源中；
19.將如上所述的校正裝置與所述檢測裝置連接；
20.打開所述激光源并調整所述檢測裝置的位置，使所述激光源發射的激光照射至蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上，再固定住所述檢測裝置。
21.本技術提供的校正裝置包括蓋板及激光源，蓋板與檢測裝置的殼體連接，蓋板上具有安裝孔，安裝孔位于檢測裝置的檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，激光源通過安裝孔與蓋板連接，用于發射激光照射至蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上。當檢測裝置多次安裝時，由于安裝孔位于檢測裝置的檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，則激光源也位于檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，與檢測件位于同一直線上，因此，校正裝置通過激光源發射激光照射至蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上，即可校正檢測件的位置，使檢測裝置多次安裝時，檢測件都能固定于同一位置，防止檢測件的位置出現偏差，無需對蒸鍍源的各種參數進行大幅度調整，從而避免檢測件檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而提高了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。
附圖說明
22.為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
23.圖1是本技術一實施例提供的校正裝置的示意圖；
24.圖2是本技術一實施例提供的校正裝置的蓋板與底座的示意圖；
25.圖3是本技術一實施例提供的校正裝置的俯視圖；
26.圖4是本技術一實施例提供的檢測裝置的示意圖；
27.圖5是本技術一實施例提供的檢測裝置的俯視圖；
28.圖6是本技術一實施例提供的校正裝置與檢測裝置連接的示意圖；
29.圖7是本技術一實施例提供的校正裝置與檢測裝置連接的爆炸示意圖；
30.圖8是本技術一實施例提供的檢測裝置檢測蒸鍍速率的示意圖；
31.圖9是本技術一實施例提供的蒸鍍裝置的示意圖；
32.圖10是本技術一實施例提供的校正方法的流程圖。
具體實施方式
33.下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
34.在本發明的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個所述特征。在本發明的描述中，“多個”的含義是兩個或兩個以上，除非另有明確具體的限定。
35.在本技術的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接或可以相互通訊；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通或兩個元件的相互作用關系。對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語在本技術中的具體含義。
36.在本技術中，除非另有明確的規定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.下文的公開提供了許多不同的實施方式或例子用來實現本技術的不同結構。為了簡化本技術的公開，下文中對特定例子的部件和設置進行描述。當然，它們僅僅為示例，并且目的不在于限制本技術。此外，本技術可以在不同例子中重復參考數字和/或參考字母，這種重復是為了簡化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實施方式和/或設置之間的關系。此外，本技術提供了的各種特定的工藝和材料的例子，但是本領域普通技術人員可以意識到其他工藝的應用和/或其他材料的使用。
38.本技術的校正裝置用于連接檢測裝置，以校正檢測裝置的檢測件的位置。當檢測裝置多次安裝時，由于安裝孔位于檢測裝置的檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，則激光源也位于檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，與檢測件位于同一直線上，因此，校正裝置通過激光源發射激光照射至蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上，即可校正檢測件的位置，使檢測裝置多次安裝時，檢測件都能固定于同一位置，防止檢測件的位置出現偏差，無需對蒸鍍源的各種參數進行大幅度調整，從而避免檢測件檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而提高了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。
39.請參閱圖1至圖9，本技術實施例中提供一種校正裝置100，用于連接檢測裝置200，檢測裝置200包括殼體201及位于殼體201中的檢測件202，殼體201上具有暴露檢測件202的檢測孔203，檢測件202用于檢測蒸鍍源300的蒸鍍速率，所述蒸鍍源300包括蒸發噴嘴302。該校正裝置100包括：蓋板1及激光源3；
40.蓋板1與殼體201連接，蓋板1上具有安裝孔21，安裝孔21位于檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上；
41.激光源3通過安裝孔21與蓋板1連接，用于發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上。
42.需要說明的是，當檢測裝置200多次安裝時，由于安裝孔21位于檢測裝置200的檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上，即安裝孔21和檢測孔203位于同一直線上，則激光源3也位于檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上，與檢測件202位于同一直線上，因此，校正裝置100通過激光源3發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上，以調整檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，即可校正檢測件202的位置，使檢測裝置200多次安裝時，檢測件202都能固定于同一位置，使檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，防止檢測件202的位置出現偏差，無需對蒸鍍源300的各種參數進行大幅度調整，從而避免檢測件202檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而提高了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。
43.在該實施例中，該蒸鍍源300可以為點蒸鍍源、線蒸鍍源或面蒸鍍源。點蒸鍍源指的是蒸發噴嘴302僅有一個，成膜區域為以這一個蒸發噴嘴302為中心的圓錐形向上蒸發或升華。線蒸鍍源指的是多個蒸發噴嘴302呈線性排列，一般情況是蒸鍍基板靜止下，通過線蒸鍍源在基板的下方平行的線性移動而形成膜層區域400。面蒸鍍源指的是多個蒸發噴嘴302呈整面排布，與需形成的膜層區域400相對應。
44.當蒸鍍源300為點蒸鍍源時，則預設蒸發噴嘴301為點蒸鍍源上的這一個蒸發噴嘴302。當蒸鍍源300為線蒸鍍源或面蒸鍍源時，則預設蒸發噴嘴301為多個蒸發噴嘴302中的一個蒸發噴嘴302，例如，當蒸鍍源300為線蒸鍍源時，檢測裝置200位于蒸鍍源300的右側，預設蒸發噴嘴301為一排蒸發噴嘴302中從右往左數的第三個蒸發噴嘴302，這是發明人根據多次蒸鍍速率檢測驗證，此預設蒸發噴嘴301為檢測蒸鍍速率最為準確的位置。當然，預設蒸發噴嘴301可以根據實際情況來選擇，本技術在此不做限制。
45.以下說明本技術的校正裝置100的使用方法：
46.首先，將校正裝置100與檢測裝置200進行連接，校正裝置100通過激光源3發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上，此時，可以調整檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，從而確定好了檢測件202的位置，再固定住檢測裝置200。
47.然后，拆下校正裝置100，再對蒸鍍源300的各種參數進行調整，使檢測件202能夠穩定檢測蒸鍍速率。
48.接著，在預設使用時間后，將檢測裝置200拆卸下來進行檢查，檢查完畢后，將校正裝置100與檢測裝置200進行連接，校正裝置100通過激光源3發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上，此時，可以再次調整檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，從而確定好了檢測件202的位置，再固定住檢測裝置200。
49.在一些實施例中，檢測件202可以為晶振片，在蒸鍍過程中，可以通過晶振片震蕩
頻率轉換成蒸鍍速率，從而可以檢測到蒸鍍速率。此外，還能夠通過晶振片震蕩頻率轉換成膜層區域400的膜厚，從而可以檢測到膜層區域400的膜厚。當然，檢測件202可以為其他材料，本技術在此不做限制。
50.在一些實施例中，請參閱圖8和圖9，當檢測件202能夠穩定檢測蒸鍍速率時，檢測件202通常是與蒸鍍源300傾斜設置，檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ指的是，檢測件202與預設蒸發噴嘴301的連線和預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ。為了更準確的校正檢測件202的位置，激光源3的出射方向，即激光的發射方向位于安裝孔21垂直于蓋板1的延伸方向上，與安裝孔21位于同一直線上，從而使激光可以代替檢測件202與預設蒸發噴嘴301的連線，便于更直觀的校正檢測件202的位置，確保檢測件202與預設蒸發噴嘴301的連線和預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ。
51.在該實施例中，激光源3的形狀可以為長圓柱形，當然也可以為其他形狀，例如，矩形、圓臺或圓錐等形狀，本技術在此不做限制。此外，激光源3中可以采用紅外激光源3，提高激光的可視度，并且，激光源3中采用鋰電子型電池作為電源，無需通過電源線外接電源，避免電源線對校正檢測件202位置產生干擾。
52.在該實施例中，為了提高檢測件202檢測蒸鍍速率的穩定性，檢測件202與預設蒸發噴嘴301的連線為檢測件202的中心點與預設蒸發噴嘴301的中心點的連線，因此，安裝孔21位于蓋板1遠離殼體201一面上的正投影位于檢測孔203位于殼體201靠近蓋板1一面上的正投影的中心，可以使激光源3與檢測件202的中心點位于同一直線上，從而使激光可以代替檢測件202的中心點與預設蒸發噴嘴301的中心點的連線，以提高校正檢測件202位置的準確性。
53.在一些實施例中，請參閱圖1至圖3、圖6和圖7，校正裝置還包括與蓋板1連接的底座2，安裝孔21位于底座2中，激光源3通過安裝孔21與底座2連接。即安裝孔21可以不設置在蓋板1上，而是設置在底座2中，再將底座2連接蓋板1，激光源3連接底座2，可以使蓋板1不用直接連接激光源3，從而可以將蓋板1的厚度制作的更薄，以節省成本。
54.在該實施例中，請參閱圖3、圖5和圖7，底座2位于蓋板1遠離殼體201一面上的正投影和檢測孔203位于殼體201靠近蓋板1一面上的正投影重疊，即底座2與安裝孔21位于同一直線上，并且底座2與安裝孔21的正投影的尺寸可以相同，當安裝孔21位于底座2的中心時，安裝孔21也對應位于檢測孔203的中心，從而使激光也對應檢測孔203的中心，有利于激光對應檢測件202的中心點，從而使激光可以代替檢測件202的中心點與預設蒸發噴嘴301的中心點的連線，以提高校正檢測件202位置的準確性。
55.在該實施例中，底座2和檢測孔203的正投影可以均為圓形，則底座2位于蓋板1遠離殼體201一面上的正投影的直徑r1和檢測孔203位于殼體201靠近蓋板1一面上的正投影的直徑r2相同。當然，底座2和檢測孔203的正投影也可以為其他形狀，例如，矩形、三角形或五邊形等形狀，本技術在此不做限制。
56.在一些實施例中，請參閱圖3、圖5和圖7，蓋板1位于殼體201靠近蓋板1一面上的正投影和殼體201位于蓋板1靠近殼體201一面上的正投影重疊，即蓋板1與殼體201的正投影的尺寸可以相同，蓋板1可以恰好覆蓋住殼體201且兩者的邊緣齊平，有利于使底座2與檢測孔203的正投影重疊，以提高校正檢測件202位置的準確性。
57.在該實施例中，蓋板1和殼體201的正投影可以均為圓形，則蓋板1位于殼體201靠
近蓋板1一面上的正投影的直徑r3和殼體201位于蓋板1靠近殼體201一面上的正投影的直徑r4相同。當然，蓋板1和殼體201的正投影也可以為其他形狀，例如，矩形、三角形或五邊形等形狀，本技術在此不做限制。
58.在一些實施例中，請參閱圖1、圖2、圖4、圖6和圖7，蓋板1上具有與殼體201上的至少一個第一螺紋孔204對應的至少一個第二螺紋孔11，可以采用螺絲4穿過第一螺紋孔204和第二螺紋孔11連接蓋板1和殼體201，以便于蓋板1和殼體201之間的連接和拆卸。
59.在該實施例中，第一螺紋孔204和第二螺紋孔11的數量為至少兩個，由于至少兩個第一螺紋孔204與至少兩個第二螺紋孔11是相對應的，當采用與至少兩個螺絲4分別穿過與至少兩個第一螺紋孔204和與至少兩個第二螺紋孔11時，蓋板1與殼體201之間的連接位置是固定的，使得蓋板1與殼體201之間的相對位置不變，因此，可以通過合理設置第一螺紋孔204和第二螺紋孔11的位置，使蓋板1與殼體201連接時，底座2的正投影和檢測孔203的正投影重疊，有利于提高校正檢測件202位置的準確性。
60.在一些實施例中，安裝孔21為第三螺紋孔，激光源3上具有與第三螺紋孔適配的外螺紋。通過外螺紋與第三螺紋孔配合，也就是將激光源3旋入安裝孔21中即可將激光源3安裝于蓋板1或底座2上，便于激光源3與蓋板1或底座2之間的連接和拆卸。
61.此外，激光源3和安裝孔21位于蓋板1遠離殼體201一面上的正投影也可以重疊，以便于激光源3所射出的激光對應的檢測件202的中心，有利于提高校正檢測件202位置的準確性。
62.在該實施例中，請參閱圖3，激光源3和安裝孔21的正投影可以均為圓形，則激光源3位于蓋板1遠離殼體201一面上的正投影的直徑r5和安裝孔21位于蓋板1遠離殼體201一面上的正投影的直徑r6相同。當然，激光源3和安裝孔21的正投影也可以為其他形狀，例如，矩形、三角形或五邊形等形狀，本技術在此不做限制。
63.在一些實施例中，底座2與蓋板1一體成型，提高底座2與蓋板1的整體強度，從而提高校正檢測件202位置的穩定性。
64.在該實施例中，底座2與蓋板1可以采用相同的材料制作，例如，不銹鋼材、鐵、銅或鋁合金等材料，本技術在此不做限制。此外，蓋板1的厚度可以為1.3mm-1.7mm，當然，蓋板1的厚度可以根據實際情況設置為其他值，本技術在此不做限制。
65.在一些實施例中，請參閱圖9，為了更準確的校正檢測件202的位置，蒸鍍源300還可以在預設蒸發噴嘴301上設置一個覆蓋該預設蒸發噴嘴301的蓋子303，蓋子303的中心與預設蒸發噴嘴301的中心相對應，且蓋子303的中心設置有靶心。在校正檢測件202的位置時，將激光源3發射出的激光照射至靶心上即可完成校正。在檢測件202完成校正后，可以將蓋子303從預設蒸發噴嘴301上取下，避免影響蒸發鍍膜。
66.在該實施例中，靶心的尺寸大于激光源3所射出的激光的光斑的尺寸，從而便于激光照射至靶心上，例如，靶心的直徑可以為2mm，激光的光斑的直徑為0.8mm，當然，靶心的直徑和激光的光斑的直徑都可以根據實際情況設置其他值，本技術在此不做限制。
67.此外，激光的射程距離大于激光源3與預設蒸發噴嘴301之間的距離，以確保激光能夠照射至靶心上，例如，激光的射程距離可以大于100cm，當然，激光的射程距離可以根據實際情況設置其他值，本技術在此不做限制。
68.在該實施例中，蓋子303的形狀可以為圓柱形，以便于將蓋子303覆蓋在預設蒸發
噴嘴301上，當然，蓋子303的形狀也可以為其他形狀，例如，矩形或圓臺等形狀，本技術在此不做限制。
69.請參閱圖9，基于上述校正裝置100，本技術實施例中還提供一種蒸鍍裝置，包括：檢測裝置200、蒸鍍源300及如上所述的校正裝置100，檢測裝置200包括殼體201及位于殼體201中的檢測件202，殼體201上具有暴露檢測件202的檢測孔203，檢測件202用于檢測蒸鍍源300的蒸鍍速率，校正裝置100與檢測裝置200連接，用于發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上。
70.需要說明的是，當檢測裝置200多次安裝時，由于安裝孔21位于檢測裝置200的檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上，即安裝孔21和檢測孔203位于同一直線上，則激光源3也位于檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上，與檢測件202位于同一直線上，因此，校正裝置100通過激光源3發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上，以調整檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，即可校正檢測件202的位置，使檢測裝置200多次安裝時，檢測件202都能固定于同一位置，使檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，防止檢測件202的位置出現偏差，無需對蒸鍍源300的各種參數進行大幅度調整，從而避免檢測件202檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而提高了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。
71.請參閱圖10，基于上述校正裝置100，本技術實施例中還提供一種校正方法，包括：
72.步驟s1、將檢測裝置200活動安裝于蒸鍍源中；
73.步驟s2、將如上所述的校正裝置100與檢測裝置200連接；
74.步驟s3、打開激光源3并調整檢測裝置200的位置，使激光源3發射的激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上，再固定住檢測裝置200。
75.需要說明的是，蒸鍍源300可以包括腔體和位于腔體中的蒸發坩堝，蒸發噴嘴302設置在蒸發坩堝上，檢測裝置200可以安裝于蒸鍍源300的腔體上。當檢測裝置200多次安裝時，由于安裝孔21位于檢測裝置200的檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上，即安裝孔21和檢測孔203位于同一直線上，則激光源3也位于檢測孔203垂直于蓋板1的延伸方向上，與檢測件202位于同一直線上，因此，校正裝置100通過激光源3發射激光照射至蒸鍍源300的預設蒸發噴嘴301上，以調整檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，即可校正檢測件202的位置，使檢測裝置200多次安裝時，檢測件202都能固定于同一位置，使檢測件202與預設蒸發噴嘴301所在平面之間呈預設角度θ，防止檢測件202的位置出現偏差，無需對蒸鍍源300的各種參數進行大幅度調整，從而避免檢測件202檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而提高了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。
76.在上述實施例中，對各個實施例的描述都各有側重，某個實施例中沒有詳述的部分，可以參見上文針對其他實施例的詳細描述，此處不再贅述。
77.具體實施時，以上各個組件或結構可以作為獨立的實體來實現，也可以進行任意組合，作為同一或若干個實體來實現，以上各個組件或結構的具體實施可參見前面的實施例，在此不再贅述。
78.以上對本發明實施例所提供的一種校正裝置、蒸鍍裝置及校正方法進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發明的方法及其核心思想；同時，對于本領域的技術人員，依據本發明的
思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明的限制。
技術特征：
1.一種校正裝置，用于連接檢測裝置，所述檢測裝置包括殼體及位于所述殼體中的檢測件，所述殼體上具有暴露所述檢測件的檢測孔，所述檢測件用于檢測蒸鍍源的蒸鍍速率，所述蒸鍍源包括蒸發噴嘴，其特征在于，所述校正裝置包括：蓋板及激光源；所述蓋板與所述殼體連接，所述蓋板上具有安裝孔，所述安裝孔位于所述檢測孔垂直于所述蓋板的延伸方向上；所述激光源通過所述安裝孔與所述蓋板連接，用于發射激光照射至所述蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上。2.如權利要求1所述的校正裝置，其特征在于，所述激光源的出射方向位于所述安裝孔垂直于所述蓋板的所述延伸方向上。3.如權利要求2所述的校正裝置，其特征在于，所述安裝孔位于所述蓋板遠離所述殼體一面上的正投影位于所述檢測孔位于所述殼體靠近所述蓋板一面上的正投影的中心。4.如權利要求1所述的校正裝置，其特征在于，還包括與所述蓋板連接的底座，所述安裝孔位于所述底座中，所述激光源通過所述安裝孔與所述底座連接。5.如權利要求4所述的校正裝置，其特征在于，所述底座位于所述蓋板遠離所述殼體一面上的正投影和所述檢測孔位于所述殼體靠近所述蓋板一面上的正投影重疊。6.如權利要求1所述的校正裝置，其特征在于，所述蓋板位于所述殼體靠近所述蓋板一面上的正投影和所述殼體位于所述蓋板靠近所述殼體一面上的正投影重疊。7.如權利要求1至6中任一項所述的校正裝置，其特征在于，所述蓋板上具有與所述殼體上的至少一個第一螺紋孔對應的至少一個第二螺紋孔。8.如權利要求1至6中任一項所述的校正裝置，其特征在于，所述安裝孔為第三螺紋孔，所述激光源上具有與所述第三螺紋孔適配的外螺紋。9.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：檢測裝置、蒸鍍源及如權利要求1至8中任一項所述的校正裝置；所述檢測裝置包括殼體及位于所述殼體中的檢測件，所述殼體上具有暴露所述檢測件的檢測孔，所述檢測件用于檢測蒸鍍源的蒸鍍速率；所述校正裝置與所述檢測裝置連接，用于發射激光照射至所述蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上。10.一種校正方法，其特征在于，包括：將檢測裝置活動安裝于蒸鍍源中；將如權利要求1至8中任一項所述的校正裝置與所述檢測裝置連接；打開所述激光源并調整所述檢測裝置的位置，使所述激光源發射的激光照射至蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上，再固定住所述檢測裝置。
技術總結
本申請公開了一種校正裝置、蒸鍍裝置及校正方法。該校正裝置包括蓋板、底座及激光源，蓋板與檢測裝置的殼體連接，蓋板上具有安裝孔，安裝孔位于檢測裝置的檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，激光源通過安裝孔與蓋板連接。當檢測裝置多次安裝時，由于安裝孔位于檢測裝置的檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，則激光源也位于檢測孔垂直于蓋板的延伸方向上，因此，校正裝置通過激光源發射激光照射至蒸鍍源的預設蒸發噴嘴上，即可校正檢測件的位置，使檢測裝置多次安裝時，檢測件都能固定于同一位置，無需對蒸鍍源的各種參數進行大幅度調整，從而避免檢測件檢測到的蒸鍍速率出現偏差，進而提高了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。了蒸鍍速率的檢測準確性及蒸鍍穩定性。
