風(fēng)冷組件的制作方法
1.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域，具體地，涉及一種風(fēng)冷組件。
背景技術(shù)：
2.硅外延工藝是在高溫下通過氣相化學(xué)反應(yīng)在拋光的硅單晶片上生長一層或多層硅單晶薄膜的工藝，通過控制生長條件可以獲得不同電阻率、不同厚度及不同型號的外延層，該工藝主要用于制造各種硅集成電路和分立器件中重要的基礎(chǔ)材料，大直徑的硅集成電路芯片生長線均選用硅外延作為起始材料。目前主流的硅外延設(shè)備有多片硅外延設(shè)備及單片硅外延設(shè)備兩種，其中，單片硅外延設(shè)備通常利用燈和反射屏加熱石英腔室進行化學(xué)氣相沉積，在單晶硅襯底上生長出一定厚度的與原襯底晶格排列相同的單晶硅。
3.單片硅外延設(shè)備進行硅外延工藝時，反應(yīng)溫度可達(dá)1000℃以上，因此通常需要采用水冷和風(fēng)冷兩種冷卻方式對工藝腔室進行冷卻。風(fēng)冷系統(tǒng)通常由離心式鼓風(fēng)基于動能轉(zhuǎn)換為勢能的原理，如圖1所示，風(fēng)機10利用高速旋轉(zhuǎn)的葉輪將氣體加速，然后減速、改變流向，使氣體動能轉(zhuǎn)換成壓力勢能，最終通過風(fēng)道1向工藝腔室2中通入冷卻氣體。
4.然而，風(fēng)機在運轉(zhuǎn)過程中會不可避免地產(chǎn)生振動，強度過高的振動傳遞至機臺時會對機臺造成危害，嚴(yán)重時會導(dǎo)致晶圓在工藝過程中脫落，因此，如何提高對風(fēng)機的減震效果，減少風(fēng)機振動對機臺造成的危害，成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
5.本發(fā)明旨在提供一種風(fēng)冷組件，該風(fēng)冷組件能夠提高對風(fēng)機的減震效果，減少風(fēng)機振動對機臺造成的危害。
6.為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種風(fēng)冷組件，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，所述風(fēng)冷組件包括風(fēng)機和支撐裝置，所述風(fēng)機用于向所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室提供氣體，所述支撐裝置用于固定設(shè)置在所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架上，并支撐所述風(fēng)機；所述支撐裝置包括至少一個第一彈性機構(gòu)，所述第一彈性機構(gòu)包括頂座、底座和彈性支撐模組，所述頂座與所述風(fēng)機的底部連接，所述底座用于與所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，所述彈性支撐模組用于驅(qū)動所述頂座與所述底座相互遠(yuǎn)離，且所述彈性支撐模組施加在所述頂座與所述底座上的驅(qū)動力隨所述頂座與所述底座相互靠近而增大。
7.可選地，所述彈性支撐模組包括上磁性部和下磁性部，所述上磁性部固定設(shè)置在所述頂座上、所述下磁性部固定設(shè)置在所述底座上，且所述上磁性部與所述下磁性部能夠產(chǎn)生互斥的磁場，以驅(qū)動所述頂座與所述底座相互遠(yuǎn)離。
8.可選地，所述上磁性部包括固定設(shè)置在所述頂座上的上鐵芯和環(huán)繞所述上鐵芯設(shè)置的上電磁線圈；所述下磁性部包括固定設(shè)置在所述底座上的下鐵芯和環(huán)繞所述下鐵芯設(shè)置的下電磁線圈；所述上磁性部能夠在所述上電磁線圈中通電時產(chǎn)生磁場，所述下磁性部能夠在所述下電磁線圈中通電時產(chǎn)生磁場，所述上電磁線圈與所述下電磁線圈同軸設(shè)置。
9.可選地，所述支撐裝置還包括風(fēng)機調(diào)節(jié)板和風(fēng)機支撐座，所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板水平設(shè)
置在所述風(fēng)機支撐座的頂面上方，所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板與所述風(fēng)機連接，所述風(fēng)機支撐座用于與所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，第一彈性機構(gòu)的數(shù)量為多個，且多個所述第一彈性機構(gòu)設(shè)置在所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板與所述風(fēng)機支撐座之間，所述頂座與所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板固定連接，所述底座與所述風(fēng)機支撐座固定連接。
10.可選地，所述支撐裝置還包括第一螺母，所述上鐵芯包括相互連接的第一連接桿和鐵芯主體，所述第一連接桿的橫截面尺寸小于所述鐵芯主體的橫截面尺寸，所述頂座上形成有形狀與所述第一連接桿對應(yīng)的第一避讓孔，所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板上形成有位置與多個所述第一彈性機構(gòu)一一對應(yīng)且形狀與所述第一連接桿對應(yīng)的多個第一安裝孔；所述第一連接桿上形成有外螺紋，所述第一連接桿的頂端依次穿過所述第一避讓孔以及對應(yīng)的所述第一安裝孔，所述第一螺母套設(shè)在所述第一連接桿上，以將所述上鐵芯、所述頂座和所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板固定連接。
11.可選地，所述支撐裝置還包括多個第一防震橡膠座，多個所述第一防震橡膠座連接在所述風(fēng)機的底面與所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板的頂面之間。
12.可選地，所述風(fēng)冷組件還包括支撐橫梁和至少一個第二彈性機構(gòu)，所述支撐橫梁用于固定設(shè)置在所述機架上，所述第二彈性機構(gòu)包括安裝座、連接件和彈性件，所述連接件與所述風(fēng)機固定連接，所述安裝座與所述支撐橫梁連接，所述彈性件連接在所述安裝座與所述連接件之間，用于向所述連接件提供向上的彈力。
13.可選地，所述彈性件為彈簧，所述連接件包括第二連接桿和連接在所述第二連接桿頂端的彈簧座塊，所述安裝座具有底板，且所述底板上形成有形狀與所述第二連接桿對應(yīng)的第二避讓孔，所述彈性件套設(shè)在所述第二連接桿上且位于所述彈簧座塊與所述安裝座的所述底板之間，所述第二連接桿的底端通過所述第二避讓孔向下穿出并與所述風(fēng)機固定連接。
14.可選地，所述安裝座還包括頂板和連接在所述頂板與所述底板之間的殼體，所述第二彈性機構(gòu)還包括減震橡膠塊、第三連接桿和第三螺母，所述頂板上形成有形狀與所述第三連接桿對應(yīng)的第三避讓孔，所述減震橡膠塊上形成有形狀與所述第三連接桿對應(yīng)的第四避讓孔，所述第三連接桿上具有外螺紋，所述第三連接桿的頂端與所述支撐橫梁固定連接，所述第三連接桿的底端依次穿過所述第三避讓孔及所述第四避讓孔，所述第三螺母套設(shè)在所述第三連接桿的底端，以將所述安裝座吊裝連接在所述支撐橫梁上。
15.可選地，所述風(fēng)冷組件還包括風(fēng)機吊板，所述風(fēng)機吊板固定設(shè)置在所述風(fēng)機上，且所述風(fēng)機吊板具有水平連接部，所述水平連接部上形成有位置與多個所述第二彈性機構(gòu)一一對應(yīng)的多個第二安裝孔；
16.所述第二彈性機構(gòu)還包括兩個鎖緊螺母和兩個鎖緊螺母墊圈，所述第二連接桿的底端穿過對應(yīng)的所述第二安裝孔，所述第二連接桿上具有外螺紋，所述鎖緊螺母和所述鎖緊螺母墊圈均套設(shè)在所述第二連接桿上，且兩個所述鎖緊螺母分別位于所述水平連接部的上下兩側(cè)，每個所述鎖緊螺母與所述水平連接部之間均設(shè)置有一個所述鎖緊螺母墊圈，兩個鎖緊螺母能夠通過兩個所述鎖緊螺母墊圈夾緊所述水平連接部，以將所述第二連接桿與所述風(fēng)機吊板可調(diào)節(jié)地連接。
17.在本發(fā)明提供的風(fēng)冷組件中，支撐裝置包括頂座、底座和彈性支撐模組，底座用于與下方機架固定連接，頂座與風(fēng)機的底部連接，且彈性支撐模組將頂座與底座撐開的驅(qū)動
力隨頂座與底座相互靠近而增大，隨頂座與底座相互遠(yuǎn)離而減小，從而能夠在風(fēng)機振動的情況下使頂座與底座相對往返運動，進而在通過機架支撐風(fēng)機的同時，阻斷振動通過支撐裝置向機架傳導(dǎo)，提高了對風(fēng)機的減震效果，減少了風(fēng)機振動對機臺造成的危害，進而提高了工藝結(jié)果的穩(wěn)定性，保證了產(chǎn)品良率。
附圖說明
18.附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中：
19.圖1是一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
20.圖2是一種現(xiàn)有的風(fēng)冷系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
21.圖3是圖2中風(fēng)冷系統(tǒng)的左示圖；
22.圖4是圖2中風(fēng)冷系統(tǒng)在一種視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
23.圖5是圖4中風(fēng)冷系統(tǒng)在另一視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
24.圖6是本發(fā)明實施例提供的風(fēng)冷系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
25.圖7是圖6中風(fēng)冷系統(tǒng)的左示圖；
26.圖8是本發(fā)明實施例提供的風(fēng)冷系統(tǒng)在一種視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
27.圖9是本發(fā)明實施例提供的風(fēng)冷系統(tǒng)在另一視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
28.圖10是本發(fā)明實施例提供的傳輸腔室中第一彈性機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
29.圖11是圖7中風(fēng)冷系統(tǒng)a區(qū)域的局部放大示意圖。
30.附圖標(biāo)記說明：
31.1：風(fēng)道
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2：工藝腔室
32.10：風(fēng)機
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110：轉(zhuǎn)接座
33.120：風(fēng)機吊板
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121：水平連接部
34.122：豎直連接部
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20：支撐裝置
35.21：風(fēng)機調(diào)節(jié)板
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22：風(fēng)機支撐座
36.23：第一防震橡膠座
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200：第一彈性機構(gòu)
37.210：頂座
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211：頂連接板
38.212：頂連接筒
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220：底座
39.221：底連接板
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222：底連接筒
40.230：上磁性部
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231：上鐵芯
41.232：上電磁線圈
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201：第一連接桿
42.202：鐵芯主體
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240：下磁性部
43.241：下鐵芯
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242：下電磁線圈
44.31：支撐橫梁
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32：固定支架
45.33：掛板
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34：第二防震橡膠座
46.300：第二彈性機構(gòu)
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310：安裝座
47.311：底板
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312：頂板
48.313：殼體
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320：連接件
49.321：第二連接桿
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322：彈簧座塊
50.323：第二螺母
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330：彈性件
51.341：第三連接桿
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342：減震橡膠塊
52.343：第三螺母
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351：鎖緊螺母
53.352：鎖緊螺母墊圈
具體實施方式
54.以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式進行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
55.如圖2至圖5所示為一種現(xiàn)有的風(fēng)冷系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，該風(fēng)冷系統(tǒng)包括風(fēng)機10、支撐橫梁31、風(fēng)機支撐座22和多個第一防震橡膠座23。由于風(fēng)機10重量及體積較大，為避免風(fēng)機10傾倒，通常對風(fēng)機10的頂部和底部均進行固定。
56.其中，風(fēng)機10頂部通過支撐橫梁31進行固定，如圖2至圖5所示，風(fēng)機10的頂部具有掛板33，掛板33通過兩個第二防震橡膠座34與支撐橫梁31連接，支撐橫梁31的兩端通過兩個固定支架32與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接；風(fēng)機10的底部通過四個第一防震橡膠座23與風(fēng)機支撐座22連接，風(fēng)機支撐座22與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接(可選為焊接連接)。即風(fēng)機10的頂部和底部均通過防震橡膠座與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架間接連接，從而利用防震橡膠座減小傳遞至機架的振動幅度。然而，防震橡膠座的減震效果并不理想，機架仍會在風(fēng)機10功率較大時發(fā)生振動，并帶動半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室振動，影響半導(dǎo)體工藝效果。
57.為解決上述技術(shù)問題，作為本發(fā)明的一個方面，提供一種風(fēng)冷組件，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，如圖6至圖9所示，風(fēng)冷組件包括風(fēng)機10和支撐裝置20，風(fēng)機10用于向半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室提供氣體，支撐裝置20用于固定設(shè)置在半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架上，并支撐風(fēng)機10。支撐裝置20包括至少一個第一彈性機構(gòu)200，如圖10所示，第一彈性機構(gòu)200包括頂座210、底座220和彈性支撐模組，頂座210與風(fēng)機10的底部連接，底座220用于與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，彈性支撐模組用于驅(qū)動頂座210與底座220相互遠(yuǎn)離，且彈性支撐模組施加在頂座210與底座220上的驅(qū)動力隨頂座210與底座220相互靠近而增大。
58.在本發(fā)明提供的風(fēng)冷組件中，支撐裝置20包括頂座210、底座220和彈性支撐模組，底座220用于與下方機架固定連接，頂座210與風(fēng)機10的底部連接，且彈性支撐模組將頂座210與底座220撐開的驅(qū)動力隨頂座210與底座220相互靠近而增大，隨頂座210與底座220相互遠(yuǎn)離而減小，從而能夠在風(fēng)機10振動的情況下使頂座210與底座220相對往返運動，進而在通過機架支撐風(fēng)機10的同時，阻斷振動通過支撐裝置20向機架傳導(dǎo)，提高了對風(fēng)機10的減震效果，減少了風(fēng)機10振動對機臺造成的危害，進而提高了工藝結(jié)果的穩(wěn)定性，保證了產(chǎn)品良率。
59.在本發(fā)明的一些實施例中，該彈性支撐模組可以是彈簧等具有彈性的部件，通過該部件的形變實現(xiàn)頂座210與底座220之間的彈性支撐。為進一步提高對風(fēng)機10的減震效果，作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，彈性支撐模組通過磁場實現(xiàn)彈性連接效果。
60.具體地，如圖10所示，彈性支撐模組包括上磁性部230和下磁性部240，上磁性部230固定設(shè)置在頂座210上、下磁性部240固定設(shè)置在底座220上，且上磁性部230與下磁性部240能夠產(chǎn)生互斥的磁場，以驅(qū)動頂座210與底座220相互遠(yuǎn)離。
61.在本發(fā)明實施例中，彈性支撐模組包括固定設(shè)置在頂座210上的上磁性部230和固定設(shè)置在底座220上的下磁性部240，二者能夠產(chǎn)生互斥的磁場，從而產(chǎn)生使頂座210與底座220相互遠(yuǎn)離的排斥力(即前面所說的驅(qū)動力)?；诖艌鎏匦?，上磁性部230與下磁性部240越靠近，則二者產(chǎn)生的磁場之間的排斥力越大，即，使頂座210與底座220相互遠(yuǎn)離的驅(qū)動力隨頂座210與底座220相互靠近而增大，從而實現(xiàn)頂座210與底座220彈性連接的效果，并且，這種非接觸式的電磁彈簧減震效果相較于傳統(tǒng)彈簧效果更好，進一步提高了支撐裝置20對風(fēng)機10的減震效果。
62.為提高風(fēng)冷組件對不同工藝的適應(yīng)性，作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，如圖10所示，上磁性部230包括固定設(shè)置在頂座210上的上鐵芯231和環(huán)繞上鐵芯231設(shè)置的上電磁線圈232；下磁性部240包括固定設(shè)置在底座220上的下鐵芯241和環(huán)繞下鐵芯241設(shè)置的下電磁線圈242；上磁性部230能夠在上電磁線圈232中通電時產(chǎn)生磁場，下磁性部240能夠在下電磁線圈242中通電時產(chǎn)生磁場，上電磁線圈232與下電磁線圈242同軸設(shè)置。
63.在本發(fā)明實施例中，上磁性部230和下磁性部240均為電磁鐵，二者產(chǎn)生的磁場強度與其電磁線圈中的電流大小相關(guān)，從而可以通過改變通給電磁線圈電流的大小，來改變上磁性部230與下磁性部240產(chǎn)生的磁場強度，進而改變上磁性部230與下磁性部240之間的電磁斥力，這種效果實現(xiàn)二者等效的電磁彈簧可變剛度的效果。
64.例如，若增大通給電磁線圈電流的大小，則上磁性部230和下磁性部240產(chǎn)生的磁場強度增大，進而增大上磁性部230與下磁性部240之間的電磁斥力，在此情況下同樣的上下電磁鐵之間距離的變化量對應(yīng)更大的電磁斥力的變化，反映出來的效果即為電磁彈簧的剛度變大；反之若減小通給電磁線圈電流的大小，則會減小上磁性部230與下磁性部240之間的電磁斥力，同樣的上下電磁鐵之間距離的變化量對應(yīng)更小的電磁斥力的變化，反映出來的效果即為電磁彈簧的剛度變小。相較于普通的彈簧減震原理，本發(fā)明實施例中兩電磁鐵等效的電磁彈簧的剛度剛度可變，從而可以靈活適應(yīng)多種工藝需求。
65.作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，支撐裝置20還可以配合控制器實現(xiàn)對減振效果的實時調(diào)節(jié)，例如，該風(fēng)冷系統(tǒng)還可以包括控制器和功率檢測電路或設(shè)置在風(fēng)機10上的振動傳感器，控制器根據(jù)檢測電路檢測到的風(fēng)機10的實時功率或者振動傳感器檢測到的風(fēng)機10的振動幅度、頻率等參數(shù)確定通向上電磁線圈232以及下電磁線圈242的電流大小，即，使通向電磁線圈的電流隨風(fēng)機10的功率或振動幅度、頻率的增大而增大，從而使彈性支撐模組等效的電磁彈簧的剛度實時適應(yīng)風(fēng)機10的使用情況。
66.作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，如圖10所示，支撐裝置20還包括風(fēng)機調(diào)節(jié)板21和風(fēng)機支撐座22，風(fēng)機調(diào)節(jié)板21水平設(shè)置在風(fēng)機支撐座22的頂面上方，風(fēng)機調(diào)節(jié)板21與風(fēng)機10連接，風(fēng)機支撐座22用于與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，第一彈性機構(gòu)200的數(shù)量為多個，且多個第一彈性機構(gòu)200設(shè)置在風(fēng)機調(diào)節(jié)板21與風(fēng)機支撐座22之間，頂座210與風(fēng)機調(diào)節(jié)板21固定連接，底座220與風(fēng)機支撐座22固定連接(即，底座220用于通過風(fēng)機支撐座22與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接)。
67.在本發(fā)明實施例中，支撐裝置20還包括風(fēng)機調(diào)節(jié)板21和風(fēng)機支撐座22，多個第一彈性機構(gòu)200水平設(shè)置在風(fēng)機調(diào)節(jié)板21與風(fēng)機支撐座22之間，從而提高了風(fēng)機10底部的平穩(wěn)性。
68.可選地，風(fēng)機調(diào)節(jié)板21與風(fēng)機支撐座22之間設(shè)置有四個第一彈性機構(gòu)200，四個第
一彈性機構(gòu)200呈正方形排布(即相鄰第一彈性機構(gòu)200之間的連線能夠組成一正方形圖案)。
69.作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，支撐裝置20還包括第一螺母，如圖10所示，上鐵芯231包括相互連接的第一連接桿201和鐵芯主體202，第一連接桿201的橫截面尺寸小于鐵芯主體202的橫截面尺寸，頂座210上形成有形狀與第一連接桿201對應(yīng)的第一避讓孔，風(fēng)機調(diào)節(jié)板21上形成有位置與多個第一彈性機構(gòu)200一一對應(yīng)且形狀與第一連接桿201對應(yīng)的多個第一安裝孔；第一連接桿201上形成有外螺紋，第一連接桿201的頂端依次穿過第一避讓孔以及對應(yīng)的第一安裝孔，第一螺母套設(shè)在第一連接桿201上，以將上鐵芯231、頂座210和風(fēng)機調(diào)節(jié)板21固定連接。
70.在本發(fā)明實施例中，上鐵芯231包括相互連接的第一連接桿201和鐵芯主體202，第一連接桿201的頂端依次穿過頂座210上的第一避讓孔以及風(fēng)機調(diào)節(jié)板21上的第一安裝孔，并與第一螺母連接，從而同時實現(xiàn)將頂座210、上磁性部230與風(fēng)機調(diào)節(jié)板21三者固定連接，節(jié)約了單獨將頂座210與風(fēng)機調(diào)節(jié)板21固定連接并單獨將上磁性部230與頂座210固定連接所需的緊固件數(shù)量，減輕了支撐裝置20的整體重量。
71.作為本發(fā)明的一種可選實施方式，如圖10所示，頂座210包括相互連接(可形成為一體)的頂連接板211和頂連接筒212，底座220包括相互連接(可形成為一體)的底連接板221和底連接筒222，頂連接板211與底連接板221沿高度方向相對設(shè)置，頂連接筒212與底連接筒222同軸，且頂連接筒212的外壁與底連接筒222的內(nèi)壁配合接觸，或者，頂連接筒212的內(nèi)壁與底連接筒222的外壁配合接觸(圖10中所示為頂連接筒212的外壁與底連接筒222的內(nèi)壁配合接觸的情況)。
72.即，在本發(fā)明實施例中，頂座210和底座220朝向?qū)Ψ降囊粋?cè)均具有筒狀結(jié)構(gòu)，在容納電磁鐵結(jié)構(gòu)的同時，兩筒狀結(jié)構(gòu)相互套設(shè)，從而實現(xiàn)運動導(dǎo)向作用，保證頂座210與底座220之前只能沿豎直方向相對升降運動，避免風(fēng)機調(diào)節(jié)板21與風(fēng)機支撐座22之間發(fā)生滑動，進而保證風(fēng)機10水平位置的穩(wěn)定性。
73.可選地，頂座210和底座220均為金屬材質(zhì)。
74.作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，如圖6至圖9所示，風(fēng)冷組件還包括多個第一防震橡膠座23，多個第一防震橡膠座23連接在風(fēng)機10的底面與風(fēng)機調(diào)節(jié)板21的頂面之間。
75.即，本發(fā)明實施例中將電磁彈簧與橡膠兩種減震結(jié)構(gòu)串聯(lián)，使二者組成的結(jié)構(gòu)同時具有防震橡膠的高彈性和電磁彈簧的黏彈性兩種特性，不僅提高了支撐裝置20的軸向防震能力，而且使支撐裝置20在橫向及回轉(zhuǎn)方向均具有隔離振動的性能；并且，防震橡膠的內(nèi)部阻尼比金屬大，對高頻振動的隔離性能好，隔聲效果也很好；而電磁彈簧則具有彈性剛度可變，固有頻率低，低頻隔振性能好等優(yōu)點，本發(fā)明實施例中通過組合兩種減震方式形成二級減震，能夠有效彌補單一減震方式的不足，進一步提高了對風(fēng)機的減震效果。
76.可選地，風(fēng)機10的底面與風(fēng)機調(diào)節(jié)板21的頂面之間設(shè)置有四個第一防震橡膠座23，四個第一防震橡膠座23呈正方形排布。
77.作為本發(fā)明的一種可選實施方式，第一防震橡膠座23還可以替換為防震凝膠座，防震凝膠座的防震體采用聚硅酮材質(zhì)，與橡膠相比更少出現(xiàn)彈力減弱的現(xiàn)象，對于輕負(fù)載、微振動的防震效果更好。
78.由于風(fēng)機10結(jié)構(gòu)的特殊性，其下部表面通常為曲面，為便于實現(xiàn)對風(fēng)機10進行調(diào)
平，可選地，如圖6、圖8、圖9所示，風(fēng)機10的側(cè)面底部固定有轉(zhuǎn)接座110，轉(zhuǎn)接座110的底部即為風(fēng)機10的底部，即，利用轉(zhuǎn)接座110形成風(fēng)機10的平整底面。
79.本發(fā)明的發(fā)明人在研究中還發(fā)現(xiàn)，在現(xiàn)有的風(fēng)冷組件中，支撐橫梁31還存在振動導(dǎo)致結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定的問題。具體地，為避免風(fēng)機10傾斜，在安裝支撐橫梁31時還需對支撐橫梁31兩側(cè)的固定支架32進行調(diào)平，即，每側(cè)的固定支架32與機架之間均可通過一組螺釘螺母結(jié)構(gòu)進行高度調(diào)節(jié)。然而，由于支撐橫梁31與風(fēng)機10之間僅通過兩個第二防震橡膠座34連接，第二防震橡膠座34的隔振效果有限，極容易導(dǎo)致固定支架32與機架之間連接的螺釘?shù)冉Y(jié)構(gòu)在風(fēng)機10的運行過程中因震動而松動乃至脫落，并進一步導(dǎo)致支撐橫梁31不平以及兩第二防震橡膠座34的受力不均勻問題，不僅會進一步降低第二防震橡膠座34的減震能力，還會導(dǎo)致第二防震橡膠座34損壞，加劇風(fēng)機10的振動對機臺的影響。
80.為解決該技術(shù)問題，作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，如圖6、圖7、圖11所示，風(fēng)冷組件還包括支撐橫梁31和至少一個第二彈性機構(gòu)300，支撐橫梁31用于固定設(shè)置在機架上，第二彈性機構(gòu)300包括安裝座310、連接件320和彈性件330，連接件320與風(fēng)機10固定連接，安裝座310與支撐橫梁31連接，彈性件330連接在安裝座310與連接件320之間，用于向連接件320提供向上的彈力。
81.在本發(fā)明實施例中，支撐橫梁31通過第二彈性機構(gòu)300與風(fēng)機10連接，第二彈性機構(gòu)300的安裝座310和連接件320分別固定在支撐橫梁31與風(fēng)機10上，且二者通過彈性件330相互連接，從而通過彈性件330產(chǎn)生的彈力實現(xiàn)風(fēng)機10頂部的吊裝，彈性件330能夠在風(fēng)機10振動時發(fā)生彈性形變，使安裝座310和連接件320能夠相對往復(fù)運動，從而減輕傳遞至支撐橫梁31的振動幅度，提高機臺穩(wěn)定性。
82.作為本發(fā)明的一種可選實施方式，如圖11所示，連接件320包括第二連接桿321和連接在第二連接桿321頂端的彈簧座塊322，安裝座310具有底板311，且底板311上形成有形狀與第二連接桿321對應(yīng)的第二避讓孔，彈性件330套設(shè)在第二連接桿321上且位于彈簧座塊322與安裝座310的底板311之間，第二連接桿321的底端通過第二避讓孔向下穿出并與風(fēng)機10固定連接。
83.作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，如圖11所示，安裝座310還包括頂板312和連接在頂板312與底板311之間的殼體313，第二彈性機構(gòu)300還包括減震橡膠塊342、第三連接桿341和第三螺母343，頂板312上形成有形狀與第三連接桿341對應(yīng)的第三避讓孔，減震橡膠塊342上形成有形狀與第三連接桿341對應(yīng)的第四避讓孔，第三連接桿341上具有外螺紋，第三連接桿341的頂端與支撐橫梁31固定連接，第三連接桿341的底端依次穿過第三避讓孔及第四避讓孔，第三螺母343套設(shè)在第三連接桿341的底端，以將安裝座310吊裝連接在支撐橫梁31上。
84.在本發(fā)明實施例中，固定在支撐橫梁31上的第三連接桿341的底端通過減震橡膠塊342與安裝座310的頂板312接觸，從而將吊式彈簧與橡膠兩種減震結(jié)構(gòu)串聯(lián)，使二者組成的結(jié)構(gòu)同時具有防震橡膠的高彈性和電磁彈簧的黏彈性兩種特性，不僅提高了第二彈性機構(gòu)300的軸向防震能力，而且使第二彈性機構(gòu)300在橫向及回轉(zhuǎn)方向均具有隔離振動的性能；
85.并且，防震橡膠的內(nèi)部阻尼比金屬大，對高頻振動的隔離性能好，隔聲效果也很好；而彈簧的固有頻率低，低頻隔振性能好，本發(fā)明實施例中通過組合兩種減震方式形成二
級減震，能夠有效彌補單一減震方式的不足，進一步提高了對風(fēng)機的減震效果。
86.可選地，風(fēng)冷組件包括兩個第二彈性機構(gòu)300。
87.為便于調(diào)節(jié)風(fēng)機10的水平度，作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式，如圖11所示，風(fēng)冷組件還包括風(fēng)機吊板120，風(fēng)機吊板120固定設(shè)置在風(fēng)機10上，且風(fēng)機吊板120具有水平連接部121，水平連接部121上形成有位置與多個第二彈性機構(gòu)300一一對應(yīng)的多個第二安裝孔；
88.第二彈性機構(gòu)300還包括兩個鎖緊螺母351和兩個鎖緊螺母墊圈352，第二連接桿321的底端穿過對應(yīng)的第二安裝孔，第二連接桿321上具有外螺紋，鎖緊螺母351和鎖緊螺母墊圈352均套設(shè)在第二連接桿321上，且兩個鎖緊螺母351分別位于水平連接部121的上下兩側(cè)，每個鎖緊螺母351與水平連接部121之間均設(shè)置有一個鎖緊螺母墊圈352，兩個鎖緊螺母351能夠通過兩個鎖緊螺母墊圈352夾緊水平連接部121，以將第二連接桿321與風(fēng)機吊板120可調(diào)節(jié)地連接。
89.在需要對風(fēng)機10的水平度進行調(diào)節(jié)時，可擰松兩個第二彈性機構(gòu)300的第二連接桿321上的鎖緊螺母351，并對風(fēng)機吊板120的水平連接部121的位置進行調(diào)節(jié)，再將每個第二連接桿321處水平連接部121上下兩側(cè)的鎖緊螺母351擰緊，即可再次將兩第二連接桿321與風(fēng)機10固定連接。
90.可選地，鎖緊螺母351可以為鎖緊圓螺母。
91.可選地，如圖11所示，風(fēng)機吊板120還包括豎直連接部122，豎直連接部122的下沿與水平連接部121的邊緣固定連接(例如，可以形成為一體)，即，風(fēng)機吊板120的橫截面形狀為“l(fā)”形，豎直連接部122與風(fēng)機10頂部的側(cè)面固定連接。
92.可選地，如圖11所示，連接件320還包括第二螺母323，第二連接桿321為螺桿，第二螺母323套設(shè)在第二連接桿321的頂端，以通過彈性件330向上的彈力以及第二螺母323的限位作用將彈簧座塊322固定在第二連接桿321的頂端。
93.可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
技術(shù)特征：
1.一種風(fēng)冷組件，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，所述風(fēng)冷組件包括風(fēng)機和支撐裝置，所述風(fēng)機用于向所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室提供氣體，所述支撐裝置用于固定設(shè)置在所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架上，并支撐所述風(fēng)機，其特征在于，所述支撐裝置包括至少一個第一彈性機構(gòu)，所述第一彈性機構(gòu)包括頂座、底座和彈性支撐模組，所述頂座與所述風(fēng)機的底部連接，所述底座用于與所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，所述彈性支撐模組用于驅(qū)動所述頂座與所述底座相互遠(yuǎn)離，且所述彈性支撐模組施加在所述頂座與所述底座上的驅(qū)動力隨所述頂座與所述底座相互靠近而增大。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述彈性支撐模組包括上磁性部和下磁性部，所述上磁性部固定設(shè)置在所述頂座上、所述下磁性部固定設(shè)置在所述底座上，且所述上磁性部與所述下磁性部能夠產(chǎn)生互斥的磁場，以驅(qū)動所述頂座與所述底座相互遠(yuǎn)離。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述上磁性部包括固定設(shè)置在所述頂座上的上鐵芯和環(huán)繞所述上鐵芯設(shè)置的上電磁線圈；所述下磁性部包括固定設(shè)置在所述底座上的下鐵芯和環(huán)繞所述下鐵芯設(shè)置的下電磁線圈；所述上磁性部能夠在所述上電磁線圈中通電時產(chǎn)生磁場，所述下磁性部能夠在所述下電磁線圈中通電時產(chǎn)生磁場，所述上電磁線圈與所述下電磁線圈同軸設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述支撐裝置還包括風(fēng)機調(diào)節(jié)板和風(fēng)機支撐座，所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板水平設(shè)置在所述風(fēng)機支撐座的頂面上方，所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板與所述風(fēng)機連接，所述風(fēng)機支撐座用于與所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，所述第一彈性機構(gòu)的數(shù)量為多個，且多個所述第一彈性機構(gòu)設(shè)置在所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板與所述風(fēng)機支撐座之間，所述頂座與所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板固定連接，所述底座與所述風(fēng)機支撐座固定連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述支撐裝置還包括第一螺母，所述上鐵芯包括相互連接的第一連接桿和鐵芯主體，所述第一連接桿的橫截面尺寸小于所述鐵芯主體的橫截面尺寸，所述頂座上形成有形狀與所述第一連接桿對應(yīng)的第一避讓孔，所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板上形成有位置與多個所述第一彈性機構(gòu)一一對應(yīng)且形狀與所述第一連接桿對應(yīng)的多個第一安裝孔；所述第一連接桿上形成有外螺紋，所述第一連接桿的頂端依次穿過所述第一避讓孔以及對應(yīng)的所述第一安裝孔，所述第一螺母套設(shè)在所述第一連接桿上，以將所述上鐵芯、所述頂座和所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板固定連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述支撐裝置還包括多個第一防震橡膠座，多個所述第一防震橡膠座連接在所述風(fēng)機的底面與所述風(fēng)機調(diào)節(jié)板的頂面之間。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述風(fēng)冷組件還包括支撐橫梁和至少一個第二彈性機構(gòu)，所述支撐橫梁用于固定設(shè)置在所述機架上，所述第二彈性機構(gòu)包括安裝座、連接件和彈性件，所述連接件與所述風(fēng)機固定連接，所述安裝座與所述支撐橫梁連接，所述彈性件連接在所述安裝座與所述連接件之間，用于向所述連接件提供向上的彈力。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述彈性件為彈簧，所述連接件包括第二連接桿和連接在所述第二連接桿頂端的彈簧座塊，所述安裝座具有底板，且所述底板上形成有形狀與所述第二連接桿對應(yīng)的第二避讓孔，所述彈性件套設(shè)在所述第二連接桿上且位于所述彈簧座塊與所述安裝座的所述底板之間，所述第二連接桿的底端通過所述第二避讓孔向下穿出并與所述風(fēng)機固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述安裝座還包括頂板和連接在所述頂板與所述底板之間的殼體，所述第二彈性機構(gòu)還包括減震橡膠塊、第三連接桿和第三螺母，所述頂板上形成有形狀與所述第三連接桿對應(yīng)的第三避讓孔，所述減震橡膠塊上形成有形狀與所述第三連接桿對應(yīng)的第四避讓孔，所述第三連接桿上具有外螺紋，所述第三連接桿的頂端與所述支撐橫梁固定連接，所述第三連接桿的底端依次穿過所述第三避讓孔及所述第四避讓孔，所述第三螺母套設(shè)在所述第三連接桿的底端，以將所述安裝座吊裝連接在所述支撐橫梁上。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的風(fēng)冷組件，其特征在于，所述風(fēng)冷組件還包括風(fēng)機吊板，所述風(fēng)機吊板固定設(shè)置在所述風(fēng)機上，且所述風(fēng)機吊板具有水平連接部，所述水平連接部上形成有位置與多個所述第二彈性機構(gòu)一一對應(yīng)的多個第二安裝孔；所述第二彈性機構(gòu)還包括兩個鎖緊螺母和兩個鎖緊螺母墊圈，所述第二連接桿的底端穿過對應(yīng)的所述第二安裝孔，所述第二連接桿上具有外螺紋，所述鎖緊螺母和所述鎖緊螺母墊圈均套設(shè)在所述第二連接桿上，且兩個所述鎖緊螺母分別位于所述水平連接部的上下兩側(cè)，每個所述鎖緊螺母與所述水平連接部之間均設(shè)置有一個所述鎖緊螺母墊圈，兩個鎖緊螺母能夠通過兩個所述鎖緊螺母墊圈夾緊所述水平連接部，以將所述第二連接桿與所述風(fēng)機吊板可調(diào)節(jié)地連接。
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種風(fēng)冷組件，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，風(fēng)冷組件包括風(fēng)機和支撐裝置，風(fēng)機用于向半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室提供氣體，支撐裝置用于固定設(shè)置在半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架上，并支撐風(fēng)機；支撐裝置包括至少一個第一彈性機構(gòu)，第一彈性機構(gòu)包括頂座、底座和彈性支撐模組，頂座與風(fēng)機的底部連接，底座用于與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的機架固定連接，彈性支撐模組用于驅(qū)動頂座與底座相互遠(yuǎn)離，且彈性支撐模組施加在頂座與底座上的驅(qū)動力隨頂座與底座相互靠近而增大。在本發(fā)明中，彈性支撐模組將頂座與底座撐開的驅(qū)動力隨頂座與底座相互靠近而增大，從而能夠阻斷振動通過支撐裝置向機架傳導(dǎo)，提高了對風(fēng)機的減震效果，減少了風(fēng)機振動對機臺造成的危害。造成的危害。造成的危害。
