擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置的制作方法
本實(shí)用新型屬于加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置。
背景技術(shù)：
mems(micro-electro-mechanicalsystems，微機(jī)電系統(tǒng))激光劃片后需要進(jìn)行擴(kuò)片工作，擴(kuò)片過程中需要將uv膜與承載膜壓合在一起防止承載膜縮回，現(xiàn)有技術(shù)中為人工壓膜，需要工作人員使用手接觸晶圓內(nèi)圈位置，該過程中可能會(huì)出現(xiàn)工作人員袖口掉落異物污染晶圓，導(dǎo)致產(chǎn)品不良，影響產(chǎn)品性能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，可進(jìn)行壓膜工作，避免工作人員直接操作導(dǎo)致污染產(chǎn)品的情況，保證產(chǎn)品良率。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：
擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，包括上蓋和下蓋，所述上蓋與所述下蓋之間設(shè)置有彈性件，所述上蓋的上側(cè)設(shè)置有壓桿，所述下蓋連接有安裝桿，所述安裝桿穿過所述上蓋與所述壓桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述壓桿的端部設(shè)置有與所述安裝桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的偏心輪，所述下蓋為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述上蓋壓住或松開位于所述下蓋內(nèi)側(cè)的工件。
進(jìn)一步的，所述彈性件為上頂彈簧，所述上頂彈簧的下端頂靠在所述下蓋的上側(cè)，所述上頂彈簧的上端頂靠在所述上蓋的下側(cè)。
進(jìn)一步的，所述下蓋設(shè)置有彈簧安裝孔，所述上頂彈簧的下端安裝于所述彈簧安裝孔內(nèi)。
進(jìn)一步的，所述下蓋的上側(cè)連接有導(dǎo)桿，所述上蓋設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)套，所述導(dǎo)套分別套設(shè)于所述導(dǎo)桿和所述安裝桿的外側(cè)。
進(jìn)一步的，所述上蓋開設(shè)有導(dǎo)套安裝孔，所述導(dǎo)套安裝于所述導(dǎo)套安裝孔內(nèi)。
進(jìn)一步的，所述導(dǎo)套為滾珠導(dǎo)套。
進(jìn)一步的，所述上蓋的下側(cè)設(shè)置有彈性圈，所述彈性圈用于壓住或松開位于所述下蓋內(nèi)側(cè)的所述工件。
進(jìn)一步的，所述上蓋的下側(cè)設(shè)置有容置槽，所述彈性圈固定在所述容置槽內(nèi)。
進(jìn)一步的，所述上蓋為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述上蓋的中部安裝有透視板。
進(jìn)一步的，所述安裝桿和所述偏心輪分別設(shè)置有兩個(gè)，兩所述安裝桿在所述上蓋的上側(cè)對(duì)稱設(shè)置，兩所述偏心輪分別位于所述壓桿的兩端。
采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型的有益效果是：
由于本實(shí)用新型的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置包括上蓋和下蓋，上蓋的上側(cè)設(shè)置有壓桿，下蓋連接有安裝桿，安裝桿穿過上蓋與壓桿活動(dòng)連接，壓桿包括與安裝桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的偏心輪，下蓋為環(huán)形結(jié)構(gòu)，偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)上蓋壓住或松開位于下蓋內(nèi)側(cè)的工件，當(dāng)壓桿受力偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)使上蓋下壓時(shí)，彈性件壓緊，上蓋壓緊工件，避免工作人員直接操作導(dǎo)致袖口的異物產(chǎn)生污染的情況，保證產(chǎn)品良率，當(dāng)壓桿沒有受到外力時(shí)，彈性件的彈力使上蓋上移回到初始位置，松開工件，不需要手動(dòng)操作，使用方便。
本實(shí)用新型中，下蓋的上側(cè)連接有導(dǎo)桿，上蓋設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)套，導(dǎo)套分別套設(shè)于導(dǎo)桿和安裝桿的外側(cè)，可保證上蓋下壓的平整度，并對(duì)上蓋向下移動(dòng)的距離形成限位，避免壓力過大損傷工件。
本實(shí)用新型中，上蓋的下側(cè)設(shè)置有彈性圈，彈性圈用于壓住或松開位于下蓋內(nèi)側(cè)的所述工件，上蓋的下側(cè)設(shè)置有容置槽，彈性圈固定在容置槽內(nèi)，上蓋下壓時(shí)彈性圈與產(chǎn)品直接接觸，避免上蓋劃傷產(chǎn)品。
綜上所述，本實(shí)用新型的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置解決了現(xiàn)有技術(shù)中的人工壓膜污染產(chǎn)品的問題，本實(shí)用新型的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置通過控制壓桿即可使上蓋壓緊工件，避免工作人員直接操作導(dǎo)致袖口的異物產(chǎn)生污染的情況，從而保證產(chǎn)品良率。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本實(shí)用新型擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置中旋轉(zhuǎn)組件的組合結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是圖2原始狀態(tài)的側(cè)視圖；
圖4是圖2工作狀態(tài)的側(cè)視圖；
圖中，10-壓桿，11-偏心輪，20-上蓋，21-透視板，22-導(dǎo)套安裝孔,23-導(dǎo)套，24-彈性圈，30-下蓋，31-安裝桿，32-導(dǎo)桿，33-上頂彈簧。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
本說明書中涉及到的方位均以附圖所示為準(zhǔn)，僅代表相對(duì)位置關(guān)系，不代表絕對(duì)位置關(guān)系。
如圖1、圖2、圖3和圖4共同所示，擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，包括上蓋20和下蓋30，上蓋20與下蓋30之間設(shè)置有彈性件，上蓋20的上側(cè)設(shè)置有壓桿10，下蓋30連接有安裝桿31，安裝桿31穿過上蓋20與壓桿10活動(dòng)連接，壓桿10包括與安裝桿31轉(zhuǎn)動(dòng)連接的偏心輪11，下蓋30為環(huán)形結(jié)構(gòu)，偏心輪11轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)上蓋20壓住或松開位于下蓋30內(nèi)側(cè)的工件，其中，下蓋30的內(nèi)側(cè)為靠近下蓋30中心位置的一側(cè)。工件為疊加在一起的uv膜和承載膜，當(dāng)壓桿10受力偏心輪11轉(zhuǎn)動(dòng)使上蓋20下壓時(shí)，彈性件壓緊，上蓋20將uv膜和承載膜壓合在一起，避免工作人員直接操作導(dǎo)致袖口的異物產(chǎn)生污染的情況，保證產(chǎn)品良率，當(dāng)壓桿10沒有受到外力時(shí)，彈性件的彈力使上蓋20上移回到初始位置，松開工件，不需要手動(dòng)操作，使用方便。安裝桿31和偏心輪11分別設(shè)置有兩個(gè)，兩安裝桿31在上蓋20的上側(cè)對(duì)稱設(shè)置，兩偏心輪11分別位于壓桿10的兩端，使上蓋20下壓力度均勻。
如圖1、圖2、圖3和圖4共同所示，彈性件為上頂彈簧33，上頂彈簧33的下端頂靠在下蓋30的上側(cè)，上頂彈簧33的上端頂靠在上蓋20的下側(cè)。下蓋30設(shè)置有彈簧安裝孔，上頂彈簧33的下端安裝于彈簧安裝孔內(nèi)，上頂彈簧33設(shè)置有多個(gè)，在下蓋30上均勻設(shè)置。下蓋30的上側(cè)連接有導(dǎo)桿32，上蓋20設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)套23，導(dǎo)套23分別套設(shè)于導(dǎo)桿32和安裝桿31的外側(cè)，可保證上蓋20下壓的平整度，并對(duì)上蓋20向下移動(dòng)的距離形成限位，避免壓力過大損傷工件。上蓋20開設(shè)有導(dǎo)套安裝孔22，導(dǎo)套23安裝于導(dǎo)套安裝孔22內(nèi)。其中，導(dǎo)桿32設(shè)置有多個(gè)，在下蓋30上均勻設(shè)置，導(dǎo)套23為滾珠導(dǎo)套23。
如圖1和圖4共同所示，上蓋20的下側(cè)設(shè)置有彈性圈24，彈性圈24用于壓住或松開位于下蓋30內(nèi)側(cè)的工件，上蓋20的下側(cè)設(shè)置有容置槽(圖中未示出)，彈性圈24固定在容置槽內(nèi)，彈性圈24與固定槽之間可以為過盈連接。上蓋20下壓時(shí)彈性圈24與產(chǎn)品直接接觸，避免上蓋20劃傷產(chǎn)品。其中，上蓋20為環(huán)形結(jié)構(gòu)，上蓋20的中部安裝有透視板21，可通過透視板21觀察壓合情況。彈性圈24由橡膠、塑膠等彈性材料制成，本實(shí)施方式中優(yōu)選彈性圈24為硅膠圈。
本實(shí)用新型的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置通過在上蓋的上側(cè)設(shè)置帶有偏心輪的壓桿，下蓋連接有安裝桿，安裝桿穿過上蓋與偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接，上蓋與下蓋之間設(shè)置有彈性件，通過控制壓桿即可使上蓋壓緊位于下蓋內(nèi)側(cè)的工件，避免工作人員直接操作導(dǎo)致袖口的異物產(chǎn)生污染的情況，從而保證產(chǎn)品良率。
雖然以上描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例，這些僅僅是舉例說明，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍是由所述權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本實(shí)用新型的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，在沒有經(jīng)過任何創(chuàng)造性的勞動(dòng)下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
技術(shù)特征：
1.擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，包括上蓋和下蓋，所述上蓋與所述下蓋之間設(shè)置有彈性件，所述上蓋的上側(cè)設(shè)置有壓桿，所述下蓋連接有安裝桿，所述安裝桿穿過所述上蓋與所述壓桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述壓桿端部設(shè)置有與所述安裝桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的偏心輪，所述下蓋為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述上蓋壓住或松開位于所述下蓋內(nèi)側(cè)的工件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述彈性件為上頂彈簧，所述上頂彈簧的下端頂靠在所述下蓋的上側(cè)，所述上頂彈簧的上端頂靠在所述上蓋的下側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述下蓋設(shè)置有彈簧安裝孔，所述上頂彈簧的下端安裝于所述彈簧安裝孔內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述下蓋的上側(cè)連接有導(dǎo)桿，所述上蓋設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)套，所述導(dǎo)套分別套設(shè)于所述導(dǎo)桿和所述安裝桿的外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述上蓋開設(shè)有導(dǎo)套安裝孔，所述導(dǎo)套安裝于所述導(dǎo)套安裝孔內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述導(dǎo)套為滾珠導(dǎo)套。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述上蓋的下側(cè)設(shè)置有彈性圈，所述彈性圈用于壓住或松開位于所述下蓋內(nèi)側(cè)的所述工件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述上蓋的下側(cè)設(shè)置有容置槽，所述彈性圈固定在所述容置槽內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述上蓋為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述上蓋的中部安裝有透視板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，其特征在于，所述安裝桿和所述偏心輪分別設(shè)置有兩個(gè)，兩所述安裝桿在所述上蓋的上側(cè)對(duì)稱設(shè)置，兩所述偏心輪分別位于所述壓桿的兩端。
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種擴(kuò)片機(jī)壓膜裝置，屬于加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括上蓋和下蓋，所述上蓋與所述下蓋之間設(shè)置有彈性件，所述上蓋的上側(cè)設(shè)置有壓桿，所述下蓋連接有安裝桿，所述安裝桿穿過所述上蓋與所述壓桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述壓桿的端部設(shè)置有與所述安裝桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的偏心輪，所述下蓋為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述上蓋壓住或松開位于所述下蓋內(nèi)側(cè)的工件，本設(shè)計(jì)通過控制壓桿即可使上蓋壓緊工件，避免工作人員直接操作導(dǎo)致袖口的異物產(chǎn)生污染的情況，保證產(chǎn)品良率。
