液氮冷屏結(jié)構(gòu)的制作方法
1.本實用新型涉及低溫處理設(shè)置技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種液氮冷屏結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
2.分子束外延(mbe)是新發(fā)展起來的外延制膜方法，也是一種特殊的真空鍍膜工藝。外延是一種制備單晶薄膜的新技術(shù)，它是在適當?shù)囊r底與合適的條件下，沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜的方法。通過在安裝室內(nèi)安裝液氮冷屏從而控制襯底溫度，可以控制膜層生長速率以及束流強度，膜層組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。而且液氮冷屏可以吸收膜層在生長過程中蒸發(fā)出來的雜質(zhì)原子，提高膜層的成品率。但是現(xiàn)有的液氮冷屏與安裝室之間的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，導致液氮冷屏安裝至安裝室時安裝步驟復(fù)雜，耗費時間。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
3.基于此，有必要針對冷屏安裝步驟復(fù)雜問題，提供一種液氮冷屏結(jié)構(gòu)。
4.一種液氮冷屏結(jié)構(gòu)，包括：
5.液氮冷屏；
6.安裝室，包括頂板以及連接于所述頂板的側(cè)板，所述頂板與所述側(cè)板圍設(shè)形成容納腔，所述安裝室具有與所述容納腔連通的第一開口，所述第一開口用于供所述液氮冷屏伸入所述容納腔；
7.連接組件，包括第一連接件和第二連接件，所述第一連接件和所述第二連接件其中一個安裝在所述頂板上，另一個安裝在所述液氮冷屏上，且所述第一連接件和所述第二連接件連接，以使所述液氮冷屏懸掛于所述容納腔內(nèi)。
8.在其中一個實施例中，所述第二連接件位于所述頂板的上方且連接于所述頂板，所述第一連接件連接于所述液氮冷屏，所述頂板上設(shè)有與所述容納腔連通的通孔，所述第一連接件位于所述通孔內(nèi)。
9.在其中一個實施例中，所述連接組件包括第一鎖緊件與第二鎖緊件，所述頂板向外凸出設(shè)置有凸臺，所述通孔貫穿所述凸臺，所述第一連接件與所述第二連接件通過所述第一鎖緊件連接，所述凸臺與所述第二連接件通過所述第二鎖緊件連接。
10.在其中一個實施例中，所述液氮冷屏上設(shè)有朝所述頂板伸出的連接桿，所述第一連接件套設(shè)在所述連接桿上且二者連接，所述連接桿能夠穿過所述通孔。
11.在其中一個實施例中，所述第二連接件上設(shè)有限位孔，所述連接桿依次穿過所述通孔與所述限位孔，所述限位孔用于對所述連接桿限位。
12.在其中一個實施例中，所述連接組件還包括夾設(shè)于所述第二連接件和所述凸臺之間的第一密封件，所述凸臺朝向所述第二連接件的端面上開設(shè)有第一環(huán)槽，所述第一密封件至少部分容納在所述第一環(huán)槽內(nèi)。
13.在其中一個實施例中，所述連接組件還包括夾設(shè)于所述第二連接件和所述第一連接件之間的第二密封件，所述第一連接件朝向所述第二連接件的端面上設(shè)置有第二環(huán)槽，
所述第二密封件至少部分容納在所述第二環(huán)槽內(nèi)。
14.在其中一個實施例中，所述第二連接件與所述第一連接件均位于所述容納腔內(nèi)。
15.在其中一個實施例中，所述側(cè)板呈環(huán)形，所述液氮冷屏呈環(huán)形，所述液氮冷屏的外徑小于所述側(cè)板的內(nèi)徑。
16.在其中一個實施例中，所述連接組件設(shè)置有多組，且多組所述連接組件沿所述側(cè)板的周向均勻分布。
17.上述液氮冷屏結(jié)構(gòu)，安裝室的頂板和側(cè)板圍設(shè)成容納腔，將第一連接件和第二連接件其中一個安裝在安裝室的頂板上，另一個安裝在液氮冷屏上，液氮冷屏能夠伸入至容納腔內(nèi)，且連接第一連接件和第二連接件，從而實現(xiàn)安裝室和液氮冷屏的連接，將液氮冷屏安裝在安裝室內(nèi)，安裝室對液氮冷屏起到一定的保護作用。本實用新型提供的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，只需要將液氮冷屏伸入至容納腔內(nèi)，再連接第一連接件和第二連接件，即可實現(xiàn)液氮冷屏的安裝，安裝步驟簡單，安裝效率高。
附圖說明
18.圖1為本實用新型實施例提供的液氮冷屏結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
19.圖2為本實用新型實施例提供的液氮冷屏結(jié)構(gòu)的爆炸圖；
20.圖3為本實用新型實施例提供的連接組件的部分結(jié)構(gòu)示意圖。
21.圖中：
22.1、液氮冷屏；11、連接桿；
23.2、安裝室；21、頂板；211、通孔；212、凸臺；213、第二開口；22、側(cè)板；
24.3、連接組件；31、第一連接件；32、第二連接件；321、限位孔；33、第一鎖緊件；34、第二鎖緊件；35、第一密封件；36、第二密封件。
具體實施方式
25.為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。
26.在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
27.此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本實用新型的描述中，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。
28.在本實用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
29.在本實用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.需要說明的是，當元件被稱為“固定于”或“設(shè)置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當一個元件被認為是“連接”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的，并不表示是唯一的實施方式。
31.本實用新型實施例提供了一種液氮冷屏結(jié)構(gòu)，如圖1和圖2所示，液氮冷屏結(jié)構(gòu)包括液氮冷屏1、安裝室2以及連接組件3，安裝室2包括頂板21以及連接于頂板21的側(cè)板22，頂板21與側(cè)板22圍設(shè)形成容納腔，安裝室2具有與容納腔連通的第一開口，第一開口用于供液氮冷屏1伸入容納腔；連接組件3包括第一連接件31和第二連接件32，第一連接件31和第二連接件32其中一個安裝在頂板21上，另一個安裝在液氮冷屏1上，且第一連接件31和第二連接件32連接，以使液氮冷屏1懸掛于容納腔內(nèi)。
32.上述液氮冷屏結(jié)構(gòu)，安裝室2的頂板21和側(cè)板22圍設(shè)成容納腔，將第一連接件31和第二連接件32其中一個安裝在安裝室2的頂板21上，另一個安裝在液氮冷屏1上，液氮冷屏1能夠伸入至容納腔內(nèi)，且連接第一連接件31和第二連接件32，從而實現(xiàn)安裝室2和液氮冷屏1的連接，將液氮冷屏1懸掛安裝在安裝室2內(nèi)，安裝室2對液氮冷屏1起到一定的保護作用。本實用新型提供的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，只需要將液氮冷屏1伸入至容納腔內(nèi)，再連接第一連接件31和第二連接件32，即可實現(xiàn)液氮冷屏1的安裝，安裝步驟簡單，安裝效率高。
33.如圖1和圖2所示，在一些實施例中，第二連接件32位于頂板21的上方且連接于頂板21，第一連接件31連接于液氮冷屏1，頂板21上設(shè)有與容納腔連通的通孔211，第一連接件31位于通孔211內(nèi)。將第二連接件32設(shè)置在頂板21的上方，第一連接件31設(shè)置在通孔211內(nèi)，連接第一連接件31和第二連接件32，從而將液氮冷屏1懸掛在容納腔內(nèi)，而且在頂板21上開設(shè)有與容納腔連通的通孔211，便于觀察第一連接件31在通孔211內(nèi)的位置，便于連接第一連接件31和第二連接件32。
34.具體地，第一連接件31為法蘭，第二連接件32為法蘭蓋，法蘭蓋安裝在頂板21上，法蘭蓋連接于法蘭，從而實現(xiàn)液氮冷屏1和安裝室2的連接。
35.如圖2和圖3所示，在一些實施例中，連接組件3包括第一鎖緊件33與第二鎖緊件34，頂板21向外凸出設(shè)置有凸臺212，通孔211貫穿凸臺212，第一連接件31與第二連接件32通過第一鎖緊件33連接，凸臺212與第二連接件32通過第二鎖緊件34連接。設(shè)置第一鎖緊件33連接第一連接件31和第二連接件32，實現(xiàn)頂板21和液氮冷屏1的連接，設(shè)置第二鎖緊件34
連接凸臺212與第二連接件32，實現(xiàn)第二連接件32的安裝固定。
36.具體地，第一鎖緊件33包括第一螺栓和第一螺母，第一螺栓由下至上依次穿過第一連接件31、通孔211以及第二連接件32，第一螺母螺紋連接于第一螺栓且抵接于第二連接件32的端面。第一鎖緊件33設(shè)置有多個，多個第一鎖緊件33沿第二連接件32的周向分布。
37.具體地，第二鎖緊件34包括第二螺栓，凸臺212上設(shè)置有螺紋孔，第二螺栓由上至下依次穿過第二連接件32和凸臺212并螺紋連接于凸臺212。第二鎖緊件34設(shè)置有多個，螺紋孔設(shè)置有多個，多個螺紋孔和多個凸臺212一一對應(yīng)，多個第二鎖緊件34沿凸臺212的周向分布。
38.具體地，如圖1和圖2所示，頂板21上開設(shè)有與容納腔連通的第二開口213，待冷卻件能夠通過第二開口213伸入至容納腔內(nèi)，從而進行冷卻。
39.如圖1和圖2所示，在一些實施例中，液氮冷屏1上設(shè)有朝頂板21伸出的連接桿11，第一連接件31套設(shè)在連接桿11上且二者連接，連接桿11能夠穿過通孔211。在液氮冷屏1的上端面上朝向頂板21伸出有連接桿11，將第一連接件31套設(shè)在連接桿11上且固連于連接桿11，在安裝液氮冷屏1時，先將液氮冷屏1通過第一開口吊入至容納腔內(nèi)，然后將連接桿11穿過通孔211，使第一連接件31位于通孔211內(nèi)，最后連接第一連接件31和第二連接件32，實現(xiàn)液氮冷屏1的安裝。
40.如圖1和圖2所示，在一些實施例中，第二連接件32上設(shè)有限位孔321，連接桿11依次穿過通孔211與限位孔321，限位孔321用于對連接桿11限位。在第二連接件32上開設(shè)限位孔321，限位孔321的孔徑略大于連接桿11的桿徑，設(shè)置限位孔321對連接桿11進行限位，防止其晃動。而且在安裝過程中，連接桿11依次穿過通孔211和限位孔321，從而使第二連接件32和第一連接件31沿豎直方向?qū)剩尬豢?21還起到了一定的導向作用。
41.如圖2和圖3所示，在一些實施例中，連接組件3還包括夾設(shè)于第二連接件32和凸臺212之間的第一密封件35，凸臺212朝向第二連接件32的端面上開設(shè)有第一環(huán)槽，第一密封件35至少部分容納在第一環(huán)槽內(nèi)。通過設(shè)置第一密封件35，使第一密封件35夾設(shè)在第二連接件32和凸臺212之間，密封第一連接件31和凸臺212之間的間隙。而且在凸臺212朝向第一連接件31的端面上設(shè)有第一環(huán)槽，至少部分容納第一密封件35。第一環(huán)槽不僅容納第一密封件35，而且對第一密封件35同樣起到了一定的限位作用。另外，在凸臺212朝向第一連接件31的端面上設(shè)有第一環(huán)槽，第一密封件35部分位于第一環(huán)槽內(nèi)，當?shù)谝幻芊饧?5損壞時，便于更換第一密封件35。
42.如圖2和圖3所示，在一些實施例中，連接組件3還包括夾設(shè)于第二連接件32和第一連接件31之間的第二密封件36，第一連接件31朝向第二連接件32的端面上設(shè)置有第二環(huán)槽，第二密封件36至少部分容納在第二環(huán)槽內(nèi)。通過設(shè)置第二密封件36，使第二密封件36夾設(shè)在第二連接件32和第一連接件31之間，密封第二連接件32和第一連接件31之間的間隙。而且在第一連接件31朝向第二連接件32的端面上設(shè)有第二環(huán)槽，至少部分容納第二密封件36。第二環(huán)槽不僅容納第二密封件36，而且對第二密封件36同樣起到了一定的限位作用。
43.如圖1和圖2所示，在一些實施例中，側(cè)板22呈環(huán)形，液氮冷屏1呈環(huán)形，液氮冷屏1的外徑小于側(cè)板22的內(nèi)徑。使液氮冷屏1的外徑小于側(cè)板22的外徑，保證液氮冷屏1能夠順利進入容納腔內(nèi)，防止了液氮冷屏1和側(cè)板22抵接損壞的情況發(fā)生。
44.如圖1和圖2所示，在一些實施例中，連接組件3設(shè)置有多組，且多組連接組件3沿側(cè)
板22的周向均勻分布。設(shè)置多組連接組件3，提高液氮冷屏1和安裝室2的連接強度，提高液氮冷屏1的安裝穩(wěn)定性。具體地，連接組件3設(shè)置有多組，凸臺212設(shè)置有多個，通孔211設(shè)置有多個，多個連接組件3、多個凸臺212以及多個通孔211一一對應(yīng)。
45.在一些實施例中，第二連接件32與第一連接件31均位于容納腔內(nèi)。將第二連接件32和第一連接件31均設(shè)置在容納腔內(nèi)，且第二連接件32和第一連接件31其中一個連接于頂板21，另一個連接于液氮冷屏1，第一連接件31和第二連接件32連接，也能將液氮冷屏1吊裝在容納腔內(nèi)。
46.以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當認為是本說明書記載的范圍。
47.以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
技術(shù)特征：
1.一種液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：液氮冷屏(1)；安裝室(2)，包括頂板(21)以及連接于所述頂板(21)的側(cè)板(22)，所述頂板(21)與所述側(cè)板(22)圍設(shè)形成容納腔，所述安裝室(2)具有與所述容納腔連通的第一開口，所述第一開口用于供所述液氮冷屏(1)伸入所述容納腔；連接組件(3)，包括第一連接件(31)和第二連接件(32)，所述第一連接件(31)和所述第二連接件(32)其中一個安裝在所述頂板(21)上，另一個安裝在所述液氮冷屏(1)上，且所述第一連接件(31)和所述第二連接件(32)連接，以使所述液氮冷屏(1)懸掛于所述容納腔內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二連接件(32)位于所述頂板(21)的上方且連接于所述頂板(21)，所述第一連接件(31)連接于所述液氮冷屏(1)，所述頂板(21)上設(shè)有與所述容納腔連通的通孔(211)，所述第一連接件(31)位于所述通孔(211)內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接組件(3)包括第一鎖緊件(33)與第二鎖緊件(34)，所述頂板(21)向外凸出設(shè)置有凸臺(212)，所述通孔(211)貫穿所述凸臺(212)，所述第一連接件(31)與所述第二連接件(32)通過所述第一鎖緊件(33)連接，所述凸臺(212)與所述第二連接件(32)通過所述第二鎖緊件(34)連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述液氮冷屏(1)上設(shè)有朝所述頂板(21)伸出的連接桿(11)，所述第一連接件(31)套設(shè)在所述連接桿(11)上且二者連接，所述連接桿(11)能夠穿過所述通孔(211)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二連接件(32)上設(shè)有限位孔(321)，所述連接桿(11)依次穿過所述通孔(211)與所述限位孔(321)，所述限位孔(321)用于對所述連接桿(11)限位。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接組件(3)還包括夾設(shè)于所述第二連接件(32)和所述凸臺(212)之間的第一密封件(35)，所述凸臺(212)朝向所述第二連接件(32)的端面上開設(shè)有第一環(huán)槽，所述第一密封件(35)至少部分容納在所述第一環(huán)槽內(nèi)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接組件(3)還包括夾設(shè)于所述第二連接件(32)和所述第一連接件(31)之間的第二密封件(36)，所述第一連接件(31)朝向所述第二連接件(32)的端面上設(shè)置有第二環(huán)槽，所述第二密封件(36)至少部分容納在所述第二環(huán)槽內(nèi)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二連接件(32)與所述第一連接件(31)均位于所述容納腔內(nèi)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述側(cè)板(22)呈環(huán)形，所述液氮冷屏(1)呈環(huán)形，所述液氮冷屏(1)的外徑小于所述側(cè)板(22)的內(nèi)徑。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接組件(3)設(shè)置有多組，且多組所述連接組件(3)沿所述側(cè)板(22)的周向均勻分布。
技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種液氮冷屏結(jié)構(gòu)，其包括液氮冷屏、安裝室以及連接組件，安裝室包括頂板以及連接于頂板的側(cè)板，頂板與側(cè)板圍設(shè)形成容納腔，安裝室具有與容納腔連通的第一開口，第一開口用于供液氮冷屏伸入容納腔；連接組件包括第一連接件和第二連接件，第一連接件和第二連接件其中一個安裝在頂板上，另一個安裝在液氮冷屏上，且第一連接件和第二連接件連接，以使液氮冷屏懸掛于容納腔內(nèi)。本實用新型提供的液氮冷屏結(jié)構(gòu)，只需要將液氮冷屏伸入至容納腔內(nèi)，再連接第一連接件和第二連接件，即可實現(xiàn)液氮冷屏的安裝，安裝步驟簡單，安裝效率高。安裝效率高。安裝效率高。
