一種用于單晶硅片的脫膠機的制作方法
1.本實用新型涉及單晶硅片脫膠技術領域,具體為一種用于單晶硅片的脫膠機。
背景技術:
2.單晶硅片:硅的單晶體,是一種具有基本完整的點陣結構的晶體。不同的方向具有不同的性質,是一種良好的半導材料,用于制造半導體器件、太陽能電池等;用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成,單晶硅片的清洗就是對切割后的單晶硅片進行清洗,在對單晶硅膠脫膠的時候大多都是采用水洗的方式。
3.現有的脫膠機在進行清洗脫膠的時候單晶硅片大多都是靜置水洗,脫膠效果差,清洗后的硅片表面存在脫膠不徹底的現象,降低了單晶硅片的成品率,不利于單晶硅片的生產,因此,需要一種用于單晶硅片的脫膠機。
技術實現要素:
4.本實用新型的目的在于提供一種用于單晶硅片的脫膠機,以解決上述背景技術中提出的問題。
5.為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種用于單晶硅片的脫膠機,包括清洗箱,所述清洗箱右側壁設有安裝板,所述安裝板頂部開設有安裝槽,所述安裝槽內設有移動機構,所述安裝板頂部滑動連接設有安裝架,所述安裝架內頂部設有液壓桿,所述液壓桿底部設有安裝桿,所述安裝桿底部設有脫膠框,所述脫膠框內設有三組放置板,所述脫膠框內設有壓緊機構。
6.進一步的,所述移動機構包括安裝槽內后側壁通過軸承連接設有的絲桿,所述絲桿外壁套接設有滑塊,所述滑塊頂部與安裝架底部相連接,所述絲桿一端貫穿安裝槽內前側壁與外部設有的從動齒輪相連接,所述安裝板右側壁設有電機,所述電機輸出端連接設有與從動齒輪相嚙合的主動齒輪。
7.進一步的,所述安裝槽內底部開設有限位槽,所述滑塊底部設有與限位槽相匹配的限位塊。
8.進一步的,所述壓緊機構包括脫膠框內左右兩側均設有的滑桿,兩組所述滑桿一端均貫穿脫膠框內頂部與外部設有的連接板相連接,兩組所述滑桿外壁均套接設有彈簧,所述彈簧一端與連接板底部相連接,所述彈簧另一端與脫膠框頂部相連接,兩組所述滑桿相對側壁均設有三組壓緊塊,兩組所述滑桿底部均設有活動桿,兩組所述活動桿一端均貫穿脫膠框內底部與外部設有的滑動板相連接,所述脫膠框底部通過軸承連接設有螺紋桿,所述螺紋桿一端貫穿滑動板頂部與外部設有的轉動板相連接。
9.進一步的,三組所述放置板在所述脫膠框內豎直方向上呈線性陣列分布,三組所述放置板頂部左右兩側均開設有與滑桿相匹配的通孔。
10.進一步的,三組所述壓緊塊分別位于三組所述放置板上方,所述壓緊塊底部均設有防滑層。
11.與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:本實用將單晶硅片放置在放置板表面,然后在壓緊機構的作用下對單晶硅片進行壓緊固定,解決了傳統的單晶硅片大多都是放置在脫膠框內進行清洗,不具有對單晶硅片進行壓緊的功能,容易導致單晶硅片掉落,造成單晶硅片損壞的問題,在移動機構的作用下能夠帶動安裝架前后移動,從而能夠帶動脫膠框在清洗箱內前后移動,解決了現有的單晶硅片大多都是靜置水洗脫膠,脫膠效果差,清洗后的硅片表面存在脫膠不徹底的問題,提高單晶硅片的成品率,有利于單晶硅片的生產。
附圖說明
12.圖1為本實用新型結構示意圖;
13.圖2為本實用新型脫膠框內部結構主視圖。
14.圖中:1、清洗箱;2、移動機構;20、主動齒輪;21、電機;22、從動齒輪;23、絲桿;24、滑塊;3、安裝板;4、安裝槽;5、安裝架;6、脫膠框;7、放置板;8、安裝桿;9、液壓桿;10、壓緊機構;100、連接板;101、彈簧;102、壓緊塊;103、滑桿;104、活動桿;105、螺紋桿;106、滑動板;107、轉動板。
具體實施方式
15.下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
16.實施例1:
17.請參閱圖1-2,本實用新型提供一種技術方案:一種用于單晶硅片的脫膠機,包括清洗箱1,清洗箱1右側壁設有安裝板3,安裝板3頂部開設有安裝槽4,安裝槽4內設有移動機構2,安裝板3頂部滑動連接設有安裝架5,安裝架5呈l形狀設置,安裝架5內頂部設有液壓桿9,液壓桿9底部設有安裝桿8,安裝桿8底部設有脫膠框6,脫膠框6呈矩形狀設置,脫膠框6內設有三組放置板7,脫膠框6內設有壓緊機構10。
18.請參閱圖1,移動機構2包括安裝槽4內后側壁通過軸承連接設有的絲桿23,絲桿23外壁套接設有滑塊24,安裝槽4內底部開設有限位槽,滑塊24底部設有與限位槽相匹配的限位塊,在限位槽和限位塊的作用下使得滑塊24在絲桿23外壁移動更加穩定滑塊24頂部與安裝架5底部相連接,絲桿23一端貫穿安裝槽4內前側壁與外部設有的從動齒輪22相連接,安裝板3右側壁設有電機21,電機21輸出端連接設有與從動齒輪22相嚙合的主動齒輪20。
19.請參閱圖2,壓緊機構10包括脫膠框6內左右兩側均設有的滑桿103,兩組滑桿103一端均貫穿脫膠框6內頂部與外部設有的連接板100相連接,兩組滑桿103外壁均套接設有彈簧101,彈簧101一端與連接板100底部相連接,彈簧101另一端與脫膠框6頂部相連接,兩組滑桿103相對側壁均設有三組壓緊塊102,三組放置板7在脫膠框6內豎直方向上呈線性陣列分布,三組放置板7頂部左右兩側均開設有與滑桿103相匹配的通孔,三組壓緊塊102分別位于三組放置板7上方,壓緊塊102底部均設有防滑層,在防滑層的作用下能夠提高壓緊塊102對單晶硅片壓緊的穩定性,兩組滑桿103底部均設有活動桿104,兩組活動桿104一端均貫穿脫膠框6內底部與外部設有的滑動板106相連接,脫膠框6底部通過軸承連接設有螺紋
桿105,螺紋桿105一端貫穿滑動板106頂部與外部設有的轉動板107相連接。
20.工作原理:工作人員將單晶硅片放置在放置板7上,然后工作人員轉動轉動板107帶動螺紋桿105進行轉動,從而滑動板106在螺紋桿105外壁向下移動,滑動板106帶動活動桿104向下移動,活動桿104帶動滑桿103向下移動,從而連接板100對彈簧101進行擠壓,滑桿103向下移動的時候會帶動壓緊塊102對單晶硅片進行壓緊,解決了傳統的單晶硅片大多都是放置在脫膠框6內進行清洗,不具有對單晶硅片進行壓緊的功能,容易導致單晶硅片掉落,造成單晶硅片損壞的問題(因為單晶硅片為扁平狀,放入到清洗箱1內的時候水流容易帶動單晶硅片移動),然后在液壓桿9的作用下帶動安裝桿8向下移動,安裝桿8帶動脫膠框6進入到清洗箱1內進行清洗,在電機21的作用下帶動主動齒輪20進行轉動,主動齒輪20帶動從動齒輪22進行轉動,從動齒輪22帶動絲桿23進行轉動,從而滑塊24在絲桿23外壁進行前后移動,滑塊24帶動安裝架5前后移動,安裝架5帶動脫膠框6前后移動,從而能夠帶動單晶硅片前后移動,解決了現有的單晶硅片大多都是靜置水洗脫膠,脫膠效果差,清洗后的硅片表面存在脫膠不徹底的問題,提高單晶硅片的成品率,有利于單晶硅片的生產。
21.盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領域的普通技術人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。
技術特征:
1.一種用于單晶硅片的脫膠機,包括清洗箱(1),其特征在于:所述清洗箱(1)右側壁設有安裝板(3),所述安裝板(3)頂部開設有安裝槽(4),所述安裝槽(4)內設有移動機構(2),所述安裝板(3)頂部滑動連接設有安裝架(5),所述安裝架(5)內頂部設有液壓桿(9),所述液壓桿(9)底部設有安裝桿(8),所述安裝桿(8)底部設有脫膠框(6),所述脫膠框(6)內設有三組放置板(7),所述脫膠框(6)內設有壓緊機構(10)。2.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅片的脫膠機,其特征在于:所述移動機構(2)包括安裝槽(4)內后側壁通過軸承連接設有的絲桿(23),所述絲桿(23)外壁套接設有滑塊(24),所述滑塊(24)頂部與安裝架(5)底部相連接,所述絲桿(23)一端貫穿安裝槽(4)內前側壁與外部設有的從動齒輪(22)相連接,所述安裝板(3)右側壁設有電機(21),所述電機(21)輸出端連接設有與從動齒輪(22)相嚙合的主動齒輪(20)。3.根據權利要求2所述的一種用于單晶硅片的脫膠機,其特征在于:所述安裝槽(4)內底部開設有限位槽,所述滑塊(24)底部設有與限位槽相匹配的限位塊。4.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅片的脫膠機,其特征在于:所述壓緊機構(10)包括脫膠框(6)內左右兩側均設有的滑桿(103),兩組所述滑桿(103)一端均貫穿脫膠框(6)內頂部與外部設有的連接板(100)相連接,兩組所述滑桿(103)外壁均套接設有彈簧(101),所述彈簧(101)一端與連接板(100)底部相連接,所述彈簧(101)另一端與脫膠框(6)頂部相連接,兩組所述滑桿(103)相對側壁均設有三組壓緊塊(102),兩組所述滑桿(103)底部均設有活動桿(104),兩組所述活動桿(104)一端均貫穿脫膠框(6)內底部與外部設有的滑動板(106)相連接,所述脫膠框(6)底部通過軸承連接設有螺紋桿(105),所述螺紋桿(105)一端貫穿滑動板(106)頂部與外部設有的轉動板(107)相連接。5.根據權利要求4所述的一種用于單晶硅片的脫膠機,其特征在于:三組所述放置板(7)在所述脫膠框(6)內豎直方向上呈線性陣列分布,三組所述放置板(7)頂部左右兩側均開設有與滑桿(103)相匹配的通孔。6.根據權利要求4所述的一種用于單晶硅片的脫膠機,其特征在于:三組所述壓緊塊(102)分別位于三組所述放置板(7)上方,所述壓緊塊(102)底部均設有防滑層。
技術總結
本實用新型公開了單晶硅片脫膠技術領域的一種用于單晶硅片的脫膠機,包括清洗箱,清洗箱右側壁設有安裝板,安裝板頂部開設有安裝槽,安裝槽內設有移動機構,安裝板頂部滑動連接設有安裝架,安裝架內頂部設有液壓桿,液壓桿底部設有安裝桿,安裝桿底部設有脫膠框,脫膠框內設有三組放置板,脫膠框內設有壓緊機構,本實用在移動機構的作用下能夠帶動安裝架前后移動,從而能夠帶動脫膠框在清洗箱內前后移動,解決了現有的單晶硅片大多都是靜置水洗脫膠,脫膠效果差,清洗后的硅片表面存在脫膠不徹底的問題,提高單晶硅片的成品率,有利于單晶硅片的生產。單晶硅片的生產。單晶硅片的生產。

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