用于版圖處理的方法、設(shè)備和介質(zhì)與流程
1.本公開的實(shí)施例主要涉及集成電路領(lǐng)域，并且更具體地，涉及用于版圖處理的方法、設(shè)備和介質(zhì)。
背景技術(shù)：
2.電路版圖（又可以簡稱為版圖）是從設(shè)計(jì)并模擬優(yōu)化后的電路所轉(zhuǎn)化成的一系列幾何圖形，其包含了集成電路尺寸、各層拓?fù)涠x等器件相關(guān)的物理信息數(shù)據(jù)。集成電路制造商根據(jù)這些數(shù)據(jù)來制造掩模。掩模上的版圖圖案決定著芯片上器件或連接物理層的尺寸。
3.隨著集成電路制造工藝的技術(shù)節(jié)點(diǎn)的減小，集成電路中的目標(biāo)圖案之間的距離減小，并且掩模上與目標(biāo)圖案相對應(yīng)的版圖圖案的密度增加。由于光波會在掩模的版圖圖案處發(fā)生衍射，導(dǎo)致實(shí)際形成的圖案與版圖圖案相比產(chǎn)生失真。為此，已經(jīng)提出光學(xué)鄰近校正（opc）來調(diào)整掩模的版圖圖案，以便形成期望的目標(biāo)圖案。在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝制造中，亞分辨率輔助圖形（sraf）技術(shù)被應(yīng)用于opc中。然而，如何確定輔助圖形在版圖上的位置是值得關(guān)注的問題。目前所采用的輔助圖形放置方法難以得到令人滿意的結(jié)果。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
4.在本公開的第一方面中，提供了一種用于版圖處理的方法。在該方法中，獲得待處理的版圖。版圖包括用于輔助成像的輔助圖形。該方法還包括確定與輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息。成本梯度信息指示沿著一個(gè)或多個(gè)方向改變輔助圖形將引起的成像成本變化。該方法還包括基于成本梯度信息，確定目標(biāo)方向。該方法還包括基于目標(biāo)方向，在版圖中移動輔助圖形。以此方式，可以通過移動輔助圖形來改善版圖的質(zhì)量。
5.在本公開的第二方面中，提供了一種電子設(shè)備。該電子設(shè)備包括處理器、以及與處理器耦合的存儲器。該存儲器具有存儲于其中的指令，指令在被處理器執(zhí)行時(shí)使電子設(shè)備執(zhí)行根據(jù)本公開的第一方面的用于版圖處理的方法。
6.在本公開的第三方面中，提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)。該計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)上存儲有計(jì)算機(jī)程序。計(jì)算機(jī)程序在被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)根據(jù)本公開的第一方面的用于版圖處理的方法。
7.根據(jù)本公開的實(shí)施例，根據(jù)與版圖中用于輔助成像的輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息，確定目標(biāo)方向。成本梯度信息指示沿著一個(gè)或多個(gè)方向改變輔助圖形將引起的成像成本變化。進(jìn)一步地，基于目標(biāo)方向，在版圖中移動輔助圖形。以此方式，可以按目標(biāo)方向移動輔助圖形，以減少版圖的成像成本。因此，本公開的實(shí)施例能夠通過確定目標(biāo)方向并且按照目標(biāo)方向移動輔助圖形，從而在晶圓上形成令人滿意的圖形。
8.應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明內(nèi)容部分中所描述的內(nèi)容并非旨在限定本公開的實(shí)施例的關(guān)鍵特征或重要特征，也不用于限制本公開的范圍。本公開的其他特征將通過以下的描述而變得容易理解。
附圖說明
9.結(jié)合附圖并參考以下詳細(xì)說明，本公開各實(shí)施例的上述和其他特征、優(yōu)點(diǎn)及方面將變得更加明顯。在附圖中，相同或相似的附圖標(biāo)注表示相同或相似的元素，其中：圖1示出了本公開的各實(shí)施例能夠在其中實(shí)現(xiàn)的示例環(huán)境的示意圖；圖2示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的用于版圖處理的方法的流程圖；圖3示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的根據(jù)目標(biāo)方向移動輔助圖形的示意圖；圖4示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的根據(jù)目標(biāo)方向移動輔助圖形的另一示意圖；圖5示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的根據(jù)目標(biāo)方向移動輔助圖形的又一示意圖；圖6示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的對版圖進(jìn)行處理的結(jié)果的示意圖；以及圖7示出了其中可以實(shí)施本公開的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的電子設(shè)備/服務(wù)器的框圖。
具體實(shí)施方式
10.下面將參照附圖更詳細(xì)地描述本公開的實(shí)施例。雖然附圖中顯示了本公開的某些實(shí)施例，然而應(yīng)當(dāng)理解的是，本公開可以通過各種形式來實(shí)現(xiàn)，而且不應(yīng)該被解釋為限于這里闡述的實(shí)施例，相反提供這些實(shí)施例是為了更加透徹和完整地理解本公開。應(yīng)當(dāng)理解的是，本公開的附圖及實(shí)施例僅用于示例性作用，并非用于限制本公開的保護(hù)范圍。
11.在本公開的實(shí)施例的描述中，術(shù)語“包括”及其類似用語應(yīng)當(dāng)理解為開放性包含，即“包括但不限于”。術(shù)語“基于”應(yīng)當(dāng)理解為“至少部分地基于”。術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”或“該實(shí)施例”應(yīng)當(dāng)理解為“至少一個(gè)實(shí)施例”。術(shù)語“第一”、“第二”等等可以指代不同的或相同的對象。下文還可能包括其他明確的和隱含的定義。
12.如上文所述，隨著集成電路制造工藝的技術(shù)節(jié)點(diǎn)的減小，已經(jīng)提出將諸如sraf等輔助圖形技術(shù)應(yīng)用于opc中。然而，如何確定這種輔助圖形的最佳位置是值得關(guān)注的問題。目前已經(jīng)提出來一些基于規(guī)則或者模型確定的方法來確定輔助圖形的放置。然而，這些方法仍然難以令人滿意。
13.為此，本公開的實(shí)施例提出了一種用于版圖處理的方法。根據(jù)本公開的實(shí)施例，根據(jù)與版圖中用于輔助成像的輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息，確定目標(biāo)方向。成本梯度信息指示沿著一個(gè)或多個(gè)方向改變輔助圖形將引起的成像成本變化。進(jìn)一步地，基于目標(biāo)方向，在版圖中移動輔助圖形。以此方式，可以按目標(biāo)方向移動輔助圖形，以減少成像成本。因此，本公開的實(shí)施例能夠通過確定目標(biāo)方向并且按照目標(biāo)方向移動輔助圖形，從而在晶圓上形成令人滿意的圖形。
14.以下將參考附圖來詳細(xì)描述該方案的各種示例實(shí)現(xiàn)。
15.首先參見圖1，其示出了本公開的各實(shí)施例能夠在其中實(shí)現(xiàn)的示例環(huán)境100的示意圖。示例環(huán)境100總體上可以包括電子設(shè)備110。在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110可以是諸如個(gè)人計(jì)算機(jī)、工作站、服務(wù)器等具有計(jì)算功能的設(shè)備。本公開的范圍在此方面不受限制。
16.電子設(shè)備110獲取待處理的版圖120作為輸入。待處理的版圖120中包括第一目標(biāo)圖形122和第一輔助圖形124。第一輔助圖形124用于輔助對版圖中的第一目標(biāo)圖形122進(jìn)行成像。作為示例，第一輔助圖形124可以具有亞分辨率。換句話說，第一輔助圖形124可以包
括亞分辨率輔助圖形。通常期望這種亞分辨率輔助圖形在曝光過程中不會在晶圓上形成對應(yīng)圖形。應(yīng)理解，圖1中示出的各個(gè)版圖、掩模、輔助圖形的形狀和大小僅僅是示例性的，而不是限制性的。本公開的范圍在此方面不受限制。
17.電子設(shè)備110將待處理的版圖120進(jìn)行處理，以得到處理后的版圖130。處理后的版圖130包括第一目標(biāo)圖形122和第二輔助圖形134。相比待處理的版圖120中的第一輔助圖形124，處理后的版圖130中的第二輔助圖形134發(fā)生了位移。第二輔助圖形134相比第一輔助圖形124的上述位移可以由電子設(shè)備110來確定。這將在下文中結(jié)合圖2至圖5進(jìn)一步詳細(xì)描述。
18.圖2示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的用于版圖處理的方法200的流程圖。在一些實(shí)施例中，方法200可以由如圖1所示的電子設(shè)備110執(zhí)行。應(yīng)當(dāng)理解的是，方法200還可以包括未示出的附加框和/或可以省略所示出的某個(gè)（或者某些）框，本公開的范圍在此方面不受限制。
19.在框210，電子設(shè)備110獲得待處理的版圖，例如待處理的版圖120。如前所述，待處理的版圖120包括用于輔助成像的第一輔助圖形124。
20.在框220，電子設(shè)備110確定與輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息。成本梯度信息指示沿著一個(gè)或多個(gè)方向改變輔助圖形將引起的成像成本變化。成像成本可以用于表示光刻工藝的成本。例如，成像成本可以表示在光刻工藝參數(shù)的條件下，利用掩模而在晶圓上形成的圖形與期望在晶圓上形成的圖形之間的差異。電子設(shè)備110可以采用任何適當(dāng)?shù)某杀竞瘮?shù)、成本模型等來確定成像成本，并且基于改變輔助圖形而造成的成像成本變化來確定成本梯度信息。本公開的范圍在此方面不受限制。
21.在一些實(shí)施例中，可以將輔助圖形作為整體來確定與之相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息。圖3示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的將第三輔助圖形310作為整體來確定成本梯度信息的示例。第三輔助圖形310是圖1中的第一輔助圖形124的示例。在圖3的示例中，電子設(shè)備110確定第三輔助圖形310的多條邊。例如，多條邊至少包括彼此相對的兩條邊。在圖3的示例中，多條邊可以是第三輔助圖形310的左、右、上、下這四條邊（也被稱為第一邊、第二邊、第三邊和第四邊）。應(yīng)理解，在一些實(shí)施例中，多條邊也可以僅包括第三輔助圖形310的上、下兩條邊，或者僅包括第三輔助圖形310左、右兩條邊。
22.接下來，電子設(shè)備110確定與多條邊中的每一條邊對應(yīng)的邊成本梯度。邊成本梯度指示沿著預(yù)設(shè)方向移動該條邊將引起的成像成本變化。預(yù)設(shè)方向可以與該條邊垂直并且朝向輔助圖形外部。圖3中的第一箭頭311、第二箭頭313、第三箭頭315和第四箭頭317分別示出了與第三輔助圖形310的右側(cè)邊、左側(cè)邊、上側(cè)邊、和下側(cè)邊垂直并且朝向第三輔助圖形310外部的預(yù)設(shè)方向。
23.作為示例，成像成本可以是與光信號有關(guān)的任意函數(shù)。式（1）示出了一個(gè)示例成本函數(shù)：cost(x, y) = i(x, y)2（1）其中，(x, y)指代版圖上的坐標(biāo)位置，cost(x, y)指代在該坐標(biāo)位置處的成像成本，i(x, y)指代在該位置處的光信號。作為示例，光信號可以是光強(qiáng)度本身。備選地，光信號可以是光強(qiáng)度的其他形式，例如光強(qiáng)度的平方、光強(qiáng)度的對數(shù)、或者其他與光強(qiáng)度有關(guān)的參數(shù)。應(yīng)理解，式（1）僅僅是示例性的，成像成本也可以采用其他適當(dāng)?shù)暮瘮?shù)來確定。
24.在一些實(shí)施例中，光信號i(x, y)可以采用下式（2）來確定：（2）其中表示opc模型的核函數(shù)；表示版圖上的圖形；例如輔助圖形；na表示核函數(shù)的數(shù)目；表示光強(qiáng)度分布；表示卷積運(yùn)算。應(yīng)理解，式（2）僅僅是示例性的，光信號也可以采用其他適當(dāng)?shù)暮瘮?shù)來確定。
25.在采用式（2）確定光信號，并且采用式（1）確定成像成本的示例中，可以通過對式（1）在輔助圖形的邊上求導(dǎo)數(shù)來確定邊成本梯度。即，可以采用式（3）來確定邊成本梯度：dcost/dedge = dcost(x, y) /dedge = di(x, y)2/dedge
???
（3）其中，dcost/dedge指代邊成本梯度，dedge指代對邊求導(dǎo)，edge指代輔助圖形的邊，其可以具有坐標(biāo)信息。
26.通過采用以上式（1）至式（3），電子設(shè)備110可以確定出多條邊中的每一條邊對應(yīng)的邊成本梯度。
27.在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110可以將與多條邊中的每一條邊對應(yīng)的邊成本梯度作為第三輔助圖形310的成本梯度信息。作為示例，電子設(shè)備110可以將右側(cè)邊對應(yīng)的第一邊成本梯度312、左側(cè)邊對應(yīng)的第二邊成本梯度314、上側(cè)邊對應(yīng)的第三邊成本梯度316和下側(cè)邊對應(yīng)的第四邊成本梯度318，確定為第三輔助圖形310的成本梯度信息。
28.應(yīng)當(dāng)理解，雖然在圖3的示例中，第三輔助圖形310示出為矩形，但這僅僅是示例性的，輔助圖形可以是任意形狀的圖形，例如任意多邊形。雖然在圖3的示例中，第一方向與第二方向相互垂直，但這僅僅是示例性的。在一些實(shí)施例中，取決于輔助圖形的形狀，第一方向與第二方向之間可以具有任意大小的夾角。作為示例，在輔助圖形為平行四邊形的示例中，第一方向和第二方向可以是分別垂直平行四邊形的兩組平行邊的方向。
29.通過根據(jù)第三輔助圖形310的多條邊的成本梯度來確定第三輔助圖形310的成本梯度信息，可以充分考慮到輔助圖形的各個(gè)邊的成本梯度，從而在后續(xù)的目標(biāo)方向的確定中提供更加準(zhǔn)確的成本梯度信息。
30.以上結(jié)合圖3描述了將第三輔助圖形310作為整體來確定成本梯度信息的若干示例。在其他的一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110可以將第三輔助圖形310劃分為多個(gè)子圖形。電子設(shè)備110可以根據(jù)多個(gè)子圖形的局部成本梯度信息，來確定第三輔助圖形310的成本梯度信息。
31.圖4示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的根據(jù)第三輔助圖形310的子圖形的局部成本梯度信息確定第三輔助圖形310的成本梯度信息的示例。在圖4的示例中，電子設(shè)備110根據(jù)第三輔助圖形310的形狀，將第三輔助圖形310劃分為多個(gè)子圖形，即第一子圖形401、第二子圖形402、第三子圖形403、第四子圖形404、第五子圖形405、第六子圖形406、第七子圖形407、第八子圖形408和第九子圖形409。應(yīng)理解，圖4所示出的第三輔助圖形310的劃分僅僅是示例性的，而不是限制性的。第三輔助圖形310可以被劃分為任意數(shù)目的子圖形。各個(gè)子圖形可以是矩形，也可以是其他適當(dāng)?shù)男螤?。各個(gè)子圖形的形狀、大小可以相同也可以不同。本公開的范圍在此方面不做限制。下文將以圖4的示例劃分為例進(jìn)行描述。
32.在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110針對多個(gè)子圖形中的給定子圖形，確定給定子圖形的局部成本梯度信息。局部成本梯度信息指示分別移動給定子圖形的多個(gè)邊將引起的成像成本變化。以第一子圖形401作為給定子圖形為例，電子設(shè)備110在第一子圖形401中確定彼此相對的第五邊411和第六邊413。
33.接下來，電子設(shè)備110確定與第五邊411相對應(yīng)的第五邊成本梯度412和與第六邊413相對應(yīng)的第六邊成本梯度414。第五邊成本梯度412指示沿著第三方向移動第五邊411將引起的成像成本變化。第三方向可以是圖4中所示出的沿箭頭向上的方向。第六邊成本梯度414指示沿著第四方向移動第六邊413將引起的成像成本變化。第四方向與第三方向相反。例如，第四方向可以是圖4中所示出的沿箭頭向下的方向。電子設(shè)備110可以將第五邊成本梯度412和第六邊成本梯度414確定為與第三輔助圖形310相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息。
34.在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110從多個(gè)子圖形中選擇一個(gè)或多個(gè)子圖形或者選擇全部子圖形。電子設(shè)備110進(jìn)而針對所選擇的子圖形中的每個(gè)子圖形，分別確定沿第三方向和第四方向的成本梯度。例如，電子設(shè)備110還可以確定針對第九子圖形409的第七邊成本梯度416和第八邊成本梯度418。
35.在這種實(shí)施例中，對成本梯度的處理被細(xì)化。輔助圖形不同位置處所處的版圖環(huán)境可能不同，這導(dǎo)致不同位置處的成本可能不同。通過將第三輔助圖形310劃分為多個(gè)子圖形并且分別確定子圖形的成本梯度，可以充分考慮到第三輔助圖形310的不同位置處的不同成本梯度，從而使后續(xù)確定出的目標(biāo)方向更加精細(xì)。
36.以上描述了將第三輔助圖形310作為整體以及將第三輔助圖形310劃分為多個(gè)子圖形兩種方式確定成本梯度信息的若干示例。繼續(xù)參考圖2，在框230，電子設(shè)備110基于成本梯度信息，確定目標(biāo)方向。
37.在上述參考圖3描述的將第三輔助圖形310作為整體確定成本梯度信息的示例中，電子設(shè)備110可以基于右側(cè)邊對應(yīng)的第一邊成本梯度312和左側(cè)邊對應(yīng)的第二邊成本梯度314，確定沿著第一方向的第一組合成本梯度322。第一方向垂直于左側(cè)邊和右側(cè)邊。換句話說，第一方向?yàn)樗椒较?。例如，可以將第一邊成本梯?12和第二邊成本梯度314的矢量和或者加權(quán)矢量和，確定為第一組合成本梯度322。作為示例，可以采用式（4）來確定第一組合成本梯度322：gcx = （g1x-g3x）/2
???????????
（4）其中g(shù)1x表示第一邊成本梯度312，g3x表示第二邊成本梯度314，gcx表示第一組合成本梯度322。
38.應(yīng)理解，以上所列舉的組合成本梯度的計(jì)算方式僅僅是示例性的，而不是限制性的。可以采用任意適當(dāng)?shù)姆绞絹泶_定多個(gè)成本梯度的組合成本梯度。本公開的范圍在此方面不受限制。作為另一示例，可以采用式（5）來確定第一組合成本梯度322：gcx = （w1*g1x-w2*g3x）/2
???????????
（5）其中g(shù)1x表示第一邊成本梯度312，g3x表示第二邊成本梯度314，w1表示第一邊的權(quán)重，w2表示第二邊的權(quán)重，gcx表示第一組合成本梯度322。
39.以上計(jì)算中所涉及的g1x、g3x可以是通過上文所描述的式（1）至式（3）的邊成本梯度算法來得出的。在一些實(shí)施例中，也可以采用其他的邊成本梯度計(jì)算方法來確定各個(gè)邊成本梯度。
40.類似地，電子設(shè)備110基于上側(cè)邊對應(yīng)的第三邊成本梯度316和下側(cè)邊對應(yīng)的第四邊成本梯度318，確定沿著第二方向的第二組合成本梯度324。第二方向垂直于上側(cè)邊和下側(cè)邊。換句話說，第二方向?yàn)樨Q直方向。可以采用與第一組合成本梯度322類似的計(jì)算方式，確定第二組合成本梯度324。
41.接下來，電子設(shè)備110可以至少基于第一組合成本梯度322、第二組合成本梯度324以及第一方向與第二方向之間的角度，確定針對第三輔助圖形310的整體目標(biāo)方向。在圖3的示例中，電子設(shè)備110可以基于第一組合成本梯度322、第二組合成本梯度324以及第一方向與第二方向之間的90度的角度，確定整體的第一目標(biāo)方向330，如虛線箭頭所指示。應(yīng)理解，在一些其他實(shí)施例中，第一方向與第二方向之間可以具有其他的角度。應(yīng)理解，圖3及本文中其他附圖中所示出的各個(gè)方向僅僅是示例性的，而無意以任何方式限制本公開。
42.通過根據(jù)第三輔助圖形310的多個(gè)邊的成本梯度信息來確定第一目標(biāo)方向330，可以充分考慮到第三輔助圖形310各個(gè)邊的整體成本梯度信息，從而確定出更加準(zhǔn)確的第一目標(biāo)方向330。
43.在一些實(shí)施例中，在上述參考圖4描述的將第三輔助圖形310劃分為子圖形來確定成本梯度信息的示例中，電子設(shè)備110可以確定針對給定子圖形的局部目標(biāo)方向，而無需確定針對整個(gè)第三輔助圖形310的整體目標(biāo)方向。
44.以圖4中的示例為例，電子設(shè)備110可以基于第五邊成本梯度412和第六邊成本梯度414，確定第三組合成本梯度422。作為示例，可以將第五邊成本梯度412和第六邊成本梯度414的矢量和或者加權(quán)矢量和，確定為第三組合成本梯度422。例如，可以采用gcy1 = （g1y
?–?
g2y）/2來確定第三組合成本梯度422，其中g(shù)1y表示第五邊成本梯度412，g2y表示第六邊成本梯度414，gcy1表示第三組合成本梯度422。在其他實(shí)施例中，也可以對gcy1和g2y分別施加權(quán)重，在進(jìn)行相減的計(jì)算。電子設(shè)備110可以將第三組合成本梯度422的方向確定為針對第一子圖形401的局部目標(biāo)方向。
45.類似地，電子設(shè)備110可以針對更多的子圖形，確定出組合成本梯度，并且以此確定出更多的子圖形的相應(yīng)的局部目標(biāo)方向。例如，針對第九子圖形409，可以基于第七成本梯度416和第八成本梯度418，確定出第四組合成本梯度424。可以基于第四組合成本梯度424，確定針對第九子圖形409的局部目標(biāo)方向。
46.以上以矩形的第三輔助圖形310為例描述了確定整體目標(biāo)方向和局部目標(biāo)方向的若干示例。在一些實(shí)施例中，輔助圖形也可以任意的形狀。圖5示出了任意形狀的示例第五輔助圖形510。第五輔助圖形510是圖1中的第一輔助圖形124的示例。在一些實(shí)施例中，可以針對第五輔助圖形510確定整體目標(biāo)方向。
47.作為示例，電子設(shè)備110可以基于與第五輔助圖形510左側(cè)的多個(gè)豎直方向的邊對應(yīng)的多個(gè)成本梯度以及與第五輔助圖形510右側(cè)的多個(gè)豎直方向的邊對應(yīng)的多個(gè)成本梯度，來確定沿水平方向的第五組合成本梯度512。類似地，電子設(shè)備110可以基于與第五輔助圖形510上側(cè)的多個(gè)水平方向的邊對應(yīng)的多個(gè)成本梯度以及與第五輔助圖形510下側(cè)的多個(gè)水平方向的邊對應(yīng)的多個(gè)成本梯度，來確定沿豎直方向的第六組合成本梯度514。電子設(shè)備110進(jìn)而基于第五組合成本梯度512和第六組合成本梯度514，來確定針對第五輔助圖形510的整體的第二目標(biāo)方向520，如圖5中虛線箭頭所示。
48.應(yīng)理解，在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110也可以采用對第五輔助圖形510進(jìn)行劃分
并且分別確定局部目標(biāo)方向的方式（類似于參考圖4所描述的），來確定第五輔助圖形510的目標(biāo)方向?？梢圆捎萌我獾膭澐址绞?，將第五輔助圖形510劃分為各種形狀、大小、數(shù)目的子圖形。針對各個(gè)子圖形，可以采用類似參考圖4描述的方法來分別確定局部目標(biāo)方向，在此不再重復(fù)描述。
49.繼續(xù)參考圖2，在框240，電子設(shè)備110基于目標(biāo)方向，在待處理的版圖120中移動第一輔助圖形124。在確定針對第一輔助圖形124的整體目標(biāo)方向的示例中，電子設(shè)備110可以基于整體目標(biāo)方向來整體的移動第一輔助圖形124。例如，在圖3的示例中，可以沿著第一目標(biāo)方向330移動第三輔助圖形310。又如，在圖5的示例中，可以沿著第二目標(biāo)方向520移動第五輔助圖形510，以得到移動后的第六輔助圖形530。附加地或備選地，在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110可以基于整體目標(biāo)方向來移動第一輔助圖形124的至少一部分。例如，電子設(shè)備110可以基于整體目標(biāo)方向來移動第一輔助圖形124的預(yù)定部分，例如左側(cè)部分或者預(yù)先選擇的一部分。
50.如上文所描述的，電子設(shè)備110可以根據(jù)成本梯度來驅(qū)動第一輔助圖形124的移動方向。即，成本梯度可以決定第一輔助圖形124移動的方向。對于第一輔助圖形124移動的大小，可以采用預(yù)先確定的方式、者試探性的方式或者其他任意適當(dāng)?shù)姆绞絹泶_定。
51.具體而言，在一些實(shí)施例中，可以根據(jù)所確定的目標(biāo)方向，采用預(yù)先確定的移動大小，來移動第一輔助圖形124的至少一部分。附加地或備選地，在一些實(shí)施例中，可以采用試探性方式，來確定第一輔助圖形124在待處理的版圖120中最終移動的大小。作為示例，電子設(shè)備110可以使第一輔助圖形124的至少一部分沿著目標(biāo)方向移動第一距離，以獲得經(jīng)更新的版圖。電子設(shè)備110進(jìn)而確定經(jīng)更新的版圖的第一成像成本是否小于第一輔助圖形124的至少一部分被移動前版圖的第二成像成本。如果電子設(shè)備110確定第一成像成本小于第二成像成本，則電子設(shè)備110使第一輔助圖形124的至少一部分沿著目標(biāo)方向移動第二距離。
52.換句話說，如果電子設(shè)備110確定出移動后的版圖的成像成本減小，則可以將第一輔助圖形124繼續(xù)移動。電子設(shè)備110可以確定繼續(xù)移動的版圖的成像成本，如果成像成本繼續(xù)減小，則可以繼續(xù)沿目標(biāo)方向移動輔助圖形，直至成像成本不再減小。
53.反之，如果電子設(shè)備110確定第一成像成本不小于第二成像成本，則電子設(shè)備110使第一輔助圖形124的至少一部分沿著與目標(biāo)方向相反的方向移動小于第一距離的第三距離。換句話說，如果電子設(shè)備110確定出移動后的版圖的成像成本增大或者不變，則可以將第一輔助圖形124退回去第三距離。再將第一輔助圖形124退回去第三距離之后，電子設(shè)備110可以繼續(xù)根據(jù)成像成本的變化情況，來確定是否繼續(xù)移動第一輔助圖形124。
54.通過采用上述試探性方式來確定輔助圖形移動的大小，能夠盡可能地減小成像成本，從而進(jìn)一步提高版圖的質(zhì)量。
55.在對第一輔助圖形124進(jìn)行劃分并且確定局部目標(biāo)方向的示例中，電子設(shè)備110可以針對多個(gè)子圖形中的一個(gè)或多個(gè)子圖形，沿著針對該子圖形而確定的局部目標(biāo)方向，移動該子圖形。附加地或備選地，在一些實(shí)施例中，電子設(shè)備110可以針對多個(gè)子圖形中的每個(gè)子圖形，沿著針對該子圖形而確定的局部目標(biāo)方向，移動該子圖形。
56.在圖4的示例中，電子設(shè)備110可以針對第一子圖形401至第九子圖形409中的每個(gè)子圖形分別確定局部目標(biāo)方向。電子設(shè)備110進(jìn)而可以根據(jù)每個(gè)子圖形的局部目標(biāo)方向，來移動相應(yīng)的子圖形。
57.在一些實(shí)施例中，對于每個(gè)子圖形，可以確定各自的局部目標(biāo)方向。在這情況下，可以采用與整體移動輔助圖形類似地方式，通過試探性方式來沿著相應(yīng)的局部目標(biāo)方向移動各個(gè)子圖形。以此方式，可以得到經(jīng)過移動的第四輔助圖形430，如圖4所示。
58.應(yīng)理解，第四輔助圖形430中各個(gè)子圖形的移動方向、大小均為示例性的，而不是限制性的。雖然第四輔助圖形430中各個(gè)子圖形的移動方向呈現(xiàn)出了一定的規(guī)律，但這僅是示例性的，在實(shí)踐中各個(gè)子圖形的移動取決于所確定的成本梯度。
59.應(yīng)理解，雖然在本文中的示例中，僅示出了對版圖中的一個(gè)輔助圖形進(jìn)行按目標(biāo)方向移動的示例，但在一些實(shí)施例中，版圖中可以包括多個(gè)輔助圖形。這些輔助圖形可以具有不同的形狀。這些輔助圖形可以是矩形，也可以是不規(guī)則形狀。在版圖中包括多個(gè)輔助圖形的示例中，可以采用本公開的整體確定目標(biāo)方向或者劃分子圖形確定目標(biāo)方向的方式，來分別移動各個(gè)輔助圖形。針對不同的輔助圖形，可以采用相同的或不同的方式來確定目標(biāo)方向。本公開的范圍在此不受限制。此外，在一些實(shí)施例中，可以對輔助圖形進(jìn)行多次移動，并且每次移動的方式可以不同。例如，可以先將輔助圖形整體移動一段距離，再將移動后的輔助圖形劃分成多個(gè)子圖形分別移動。
60.通過采用本公開的方案，能夠根據(jù)與版圖中的輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息，來確定目標(biāo)方向并且沿著目標(biāo)方向移動輔助圖形。以此方式，能夠盡可能地減少版圖的成像成本，從而提高版圖的質(zhì)量。
61.圖6示出了根據(jù)本公開的一些實(shí)施例的對版圖進(jìn)行處理的結(jié)果的示意圖。在圖6中的版圖中，包括第二目標(biāo)圖形610。第二目標(biāo)圖形610上具有多個(gè)工藝變化（pv）評估點(diǎn)612、614、616和618。如圖6所示，輸入的第二目標(biāo)圖形610與輸出的第三目標(biāo)圖形620保持不變。
62.在圖6的版圖中，還包括多個(gè)輸入的輔助圖形，即第七輔助圖形625、第八輔助圖形635、第九輔助圖形645和第十輔助圖形655。在根據(jù)本公開的實(shí)施例進(jìn)行移動后，這些輔助圖形被移動為輸出的第十一輔助圖形620、第十二輔助圖形630、第十三輔助圖形640和第十四輔助圖形650。根據(jù)圖6中的多個(gè)pv評估點(diǎn)對輸入的版圖和輸出的版圖分別確定成像成本可以得出，輸出的版圖的成像成本減少了。換句話說，根據(jù)本公開的實(shí)施例對輔助圖形進(jìn)行移動后，能夠提高版圖的質(zhì)量。
63.圖7示出了其中可以實(shí)施本公開的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的電子設(shè)備/服務(wù)器700的框圖。該電子設(shè)備/服務(wù)器700例如可以用于實(shí)現(xiàn)如圖1所示的電子設(shè)備110。應(yīng)當(dāng)理解，圖7所示出的電子設(shè)備/服務(wù)器700僅僅是示例性的，而不應(yīng)當(dāng)構(gòu)成對本文所描述的實(shí)施例的功能和范圍的任何限制。
64.如圖7所示，電子設(shè)備/服務(wù)器700是通用電子設(shè)備的形式。電子設(shè)備/服務(wù)器700的組件可以包括但不限于一個(gè)或多個(gè)處理器710或處理單元、存儲器720、存儲設(shè)備730、一個(gè)或多個(gè)通信單元740、一個(gè)或多個(gè)輸入設(shè)備750以及一個(gè)或多個(gè)輸出設(shè)備760。處理器710可以是實(shí)際或虛擬處理器并且能夠根據(jù)存儲器720中存儲的程序來執(zhí)行各種處理。在多處理器系統(tǒng)中，多個(gè)處理單元并行執(zhí)行計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令，以提高電子設(shè)備/服務(wù)器700的并行處理能力。
65.電子設(shè)備/服務(wù)器700通常包括多個(gè)計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)。這樣的介質(zhì)可以是電子設(shè)備/服務(wù)器700可訪問的任何可以獲得的介質(zhì)，包括但不限于易失性和非易失性介質(zhì)、可拆卸和不可拆卸介質(zhì)。存儲器720可以是易失性存儲器（例如寄存器、高速緩存、隨機(jī)訪問存儲
器（ram））、非易失性存儲器（例如，只讀存儲器（rom）、電可擦除可編程只讀存儲器（eeprom）、閃存）或它們的某種組合。存儲設(shè)備730可以是可拆卸或不可拆卸的介質(zhì)，并且可以包括機(jī)器可讀介質(zhì)，諸如閃存驅(qū)動、磁盤或者任何其他介質(zhì)，其可以能夠用于存儲信息和/或數(shù)據(jù)（例如用于訓(xùn)練的訓(xùn)練數(shù)據(jù)）并且可以在電子設(shè)備/服務(wù)器700內(nèi)被訪問。
66.電子設(shè)備/服務(wù)器700可以進(jìn)一步包括另外的可拆卸/不可拆卸、易失性/非易失性存儲介質(zhì)。盡管未在圖7中示出，可以提供用于從可拆卸、非易失性磁盤（例如“軟盤”）進(jìn)行讀取或?qū)懭氲拇疟P驅(qū)動和用于從可拆卸、非易失性光盤進(jìn)行讀取或?qū)懭氲墓獗P驅(qū)動。在這些情況中，每個(gè)驅(qū)動可以由一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)介質(zhì)接口被連接至總線（未示出）。存儲器720可以包括計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品725，其具有一個(gè)或多個(gè)程序模塊，這些程序模塊被配置為執(zhí)行本公開的各種實(shí)施例的各種方法或動作。
67.通信單元740實(shí)現(xiàn)通過通信介質(zhì)與其他電子設(shè)備進(jìn)行通信。附加地，電子設(shè)備/服務(wù)器700的組件的功能可以以單個(gè)計(jì)算集或多個(gè)計(jì)算機(jī)器來實(shí)現(xiàn)，這些計(jì)算機(jī)器能夠通過通信連接進(jìn)行通信。因此，電子設(shè)備/服務(wù)器700可以使用與一個(gè)或多個(gè)其他服務(wù)器、網(wǎng)絡(luò)個(gè)人計(jì)算機(jī)（pc）或者另一個(gè)網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的邏輯連接來在聯(lián)網(wǎng)環(huán)境中進(jìn)行操作。
68.輸入設(shè)備750可以是一個(gè)或多個(gè)輸入設(shè)備，例如鼠標(biāo)、鍵盤、追蹤球等。輸出設(shè)備760可以是一個(gè)或多個(gè)輸出設(shè)備，例如顯示器、揚(yáng)聲器、打印機(jī)等。電子設(shè)備/服務(wù)器700還可以根據(jù)需要通過通信單元740與一個(gè)或多個(gè)外部設(shè)備（未示出）進(jìn)行通信，外部設(shè)備諸如存儲設(shè)備、顯示設(shè)備等，與一個(gè)或多個(gè)使得用戶與電子設(shè)備/服務(wù)器700交互的設(shè)備進(jìn)行通信，或者與使得電子設(shè)備/服務(wù)器700與一個(gè)或多個(gè)其他電子設(shè)備通信的任何設(shè)備（例如，網(wǎng)卡、調(diào)制解調(diào)器等）進(jìn)行通信。這樣的通信可以經(jīng)由輸入/輸出（i/o）接口（未示出）來執(zhí)行。
69.根據(jù)本公開的示例性實(shí)現(xiàn)方式，提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有一條或多條計(jì)算機(jī)指令，其中一條或多條計(jì)算機(jī)指令被處理器執(zhí)行以實(shí)現(xiàn)上文描述的方法。
70.這里參照根據(jù)本公開實(shí)現(xiàn)的方法、裝置（系統(tǒng)）和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的流程圖和/或框圖描述了本公開的各個(gè)方面。應(yīng)當(dāng)理解，流程圖和/或框圖的每個(gè)方框以及流程圖和/或框圖中各方框的組合，都可以由計(jì)算機(jī)可讀程序指令實(shí)現(xiàn)。
71.這些計(jì)算機(jī)可讀程序指令可以提供給通用計(jì)算機(jī)、專用計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理裝置的處理單元，從而生產(chǎn)出一種機(jī)器，使得這些指令在通過計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理裝置的處理單元執(zhí)行時(shí)，產(chǎn)生了實(shí)現(xiàn)流程圖和/或框圖中的一個(gè)或多個(gè)方框中規(guī)定的功能/動作的裝置。也可以把這些計(jì)算機(jī)可讀程序指令存儲在計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)中，這些指令使得計(jì)算機(jī)、可編程數(shù)據(jù)處理裝置和/或其他設(shè)備以特定方式工作，從而，存儲有指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)則包括一個(gè)制造品，其包括實(shí)現(xiàn)流程圖和/或框圖中的一個(gè)或多個(gè)方框中規(guī)定的功能/動作的各個(gè)方面的指令。
72.也可以把計(jì)算機(jī)可讀程序指令加載到計(jì)算機(jī)、其他可編程數(shù)據(jù)處理裝置、或其他設(shè)備上，使得在計(jì)算機(jī)、其他可編程數(shù)據(jù)處理裝置或其他設(shè)備上執(zhí)行一系列操作步驟，以產(chǎn)生計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的過程，從而使得在計(jì)算機(jī)、其他可編程數(shù)據(jù)處理裝置、或其他設(shè)備上執(zhí)行的指令實(shí)現(xiàn)流程圖和/或框圖中的一個(gè)或多個(gè)方框中規(guī)定的功能/動作。
73.附圖中的流程圖和框圖顯示了根據(jù)本公開的多個(gè)實(shí)現(xiàn)的系統(tǒng)、方法和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的可能實(shí)現(xiàn)的體系架構(gòu)、功能和操作。在這點(diǎn)上，流程圖或框圖中的每個(gè)方框可以代表一個(gè)模塊、程序段或指令的一部分，模塊、程序段或指令的一部分包含一個(gè)或多個(gè)用于實(shí)現(xiàn)
規(guī)定的邏輯功能的可執(zhí)行指令。在有些作為替換的實(shí)現(xiàn)中，方框中所標(biāo)注的功能也可以以不同于附圖中所標(biāo)注的順序發(fā)生。例如，兩個(gè)連續(xù)的方框?qū)嶋H上可以基本并行地執(zhí)行，它們有時(shí)也可以按相反的順序執(zhí)行，這依所涉及的功能而定。也要注意的是，框圖和/或流程圖中的每個(gè)方框、以及框圖和/或流程圖中的方框的組合，可以用執(zhí)行規(guī)定的功能或動作的專用的基于硬件的系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)，或者可以用專用硬件與計(jì)算機(jī)指令的組合來實(shí)現(xiàn)。
74.以上已經(jīng)描述了本公開的各實(shí)現(xiàn)，上述說明是示例性的，并非窮盡性的，并且也不限于所公開的各實(shí)現(xiàn)。在不偏離所說明的各實(shí)現(xiàn)的范圍和精神的情況下，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說許多修改和變更都是顯而易見的。本文中所用術(shù)語的選擇，旨在最好地解釋各實(shí)現(xiàn)的原理、實(shí)際應(yīng)用或?qū)κ袌鲋械募夹g(shù)的改進(jìn)，或者使本技術(shù)領(lǐng)域的其他普通技術(shù)人員能理解本文公開的各實(shí)現(xiàn)。
技術(shù)特征：
1.一種版圖處理方法，其特征在于，包括：獲得待處理的版圖，所述版圖包括用于輔助成像的輔助圖形；確定與所述輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息，所述成本梯度信息指示沿著一個(gè)或多個(gè)方向改變所述輔助圖形將引起的成像成本變化；基于所述成本梯度信息，確定目標(biāo)方向；以及基于所述目標(biāo)方向，在所述版圖中移動所述輔助圖形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版圖處理方法，其特征在于，確定與所述輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息包括：確定所述輔助圖形的多條邊，所述多條邊至少包括彼此相對的兩條邊；以及確定與所述多條邊中每一條邊對應(yīng)的邊成本梯度，其中所述邊成本梯度指示沿著預(yù)設(shè)方向移動該條邊將引起的成像成本變化，所述預(yù)設(shè)方向與該條邊垂直并且朝向所述輔助圖形外部。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的版圖處理方法，其特征在于，所述多條邊包括彼此相對的第一邊和第二邊以及彼此相對的第三邊和第四邊，其中基于所述成本梯度信息確定所述目標(biāo)方向包括：基于所述第一邊對應(yīng)的第一邊成本梯度和與所述第二邊對應(yīng)的第二邊成本梯度，確定沿著第一方向的第一組合成本梯度，所述第一方向垂直于所述第一邊和所述第二邊；基于所述第三邊對應(yīng)的第三邊成本梯度和與所述第四邊對應(yīng)的第四邊成本梯度，確定沿著第二方向的第二組合成本梯度，所述第二方向垂直于所述第三邊和所述第四邊；以及至少基于所述第一組合成本梯度、所述第二組合成本梯度以及所述第一方向與所述第二方向之間的角度，確定針對所述輔助圖形的整體目標(biāo)方向。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版圖處理方法，其特征在于，確定與所述輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息包括：根據(jù)所述輔助圖形的形狀，將所述輔助圖形劃分成多個(gè)子圖形；以及針對所述多個(gè)子圖形中的給定子圖形，確定所述給定子圖形的局部成本梯度信息，所述局部成本梯度信息指示分別移動所述給定子圖形的多個(gè)邊將引起的成像成本變化。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的版圖處理方法，其特征在于，針對所述多個(gè)子圖形中的給定子圖形確定所述給定子圖形的局部成本梯度信息包括：在所述給定子圖形中，確定彼此相對的第五邊和第六邊；以及確定與所述第五邊相對應(yīng)的第五邊成本梯度和與所述第六邊相對應(yīng)的第六邊成本梯度，其中所述第五邊成本梯度指示沿著第三方向移動所述第五邊將引起的成像成本變化，所述第六邊成本梯度指示沿著第四方向移動所述第六邊將引起的成像成本變化，并且所述第三方向與所述第四方向相反。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的版圖處理方法，其特征在于，所述目標(biāo)方向包括針對所述給定子圖形的局部目標(biāo)方向，并且基于所述成本梯度信息確定所述目標(biāo)方向包括：基于所述第五邊成本梯度和所述第六邊成本梯度，確定第三組合成本梯度；以及將所述第三組合成本梯度的方向確定為針對所述給定子圖形的所述局部目標(biāo)方向。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的版圖處理方法，其特征在于，所述給定子圖形包括所述多個(gè)子
圖形中的每個(gè)子圖形，并且基于所述目標(biāo)方向在所述版圖中移動所述輔助圖形包括：針對所述多個(gè)子圖形中的每個(gè)子圖形，沿著針對該子圖形而確定的所述局部目標(biāo)方向，移動該子圖形。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的版圖處理方法，其特征在于，所述輔助圖形和所述多個(gè)子圖形中的每個(gè)子圖形為矩形。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版圖處理方法，其特征在于，基于所述目標(biāo)方向在所述版圖中移動所述輔助圖形包括：使所述輔助圖形的至少一部分沿著所述目標(biāo)方向移動第一距離，以獲得經(jīng)更新的版圖；確定經(jīng)更新的版圖的第一成像成本是否小于第二成像成本，所述第二成像成本為至少一部分被移動前所述版圖的成像成本；以及響應(yīng)于確定所述第一成像成本小于所述第二成像成本，使所述至少一部分沿著所述目標(biāo)方向移動第二距離。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的版圖處理方法，其特征在于，所述版圖處理方法還包括：響應(yīng)于確定所述第一成像成本不小于所述第二成像成本，使所述至少一部分沿著與所述目標(biāo)方向相反的方向移動第三距離，所述第三距離小于所述第一距離。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版圖處理方法，其特征在于，所述輔助圖形具有亞分辨率。12.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括：至少一個(gè)處理單元；以及至少一個(gè)存儲器，所述至少一個(gè)存儲器被耦合到所述至少一個(gè)處理單元并且存儲用于由所述至少一個(gè)處理單元執(zhí)行的指令，所述指令在由所述至少一個(gè)處理單元執(zhí)行時(shí)使所述電子設(shè)備執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的方法。13.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序可由處理器執(zhí)行以實(shí)現(xiàn)根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的方法。
技術(shù)總結(jié)
根據(jù)本公開的示例實(shí)施例提供了用于版圖處理的方法、設(shè)備和介質(zhì)。在該方法中，獲得待處理的版圖。版圖包括用于輔助成像的輔助圖形。該方法還包括確定與輔助圖形相關(guān)聯(lián)的成本梯度信息。成本梯度信息指示沿著一個(gè)或多個(gè)方向改變輔助圖形將引起的成像成本變化。該方法還包括基于成本梯度信息，確定目標(biāo)方向。該方法還包括基于目標(biāo)方向，在版圖中移動輔助圖形。以此方式，可以通過沿著目標(biāo)方向移動輔助圖形來改善版圖的質(zhì)量。來改善版圖的質(zhì)量。來改善版圖的質(zhì)量。
