一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置的制作方法
1.本實用新型屬于真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置。
背景技術(shù)：
2.物理氣相沉積(pvd)，又簡稱為磁控濺射，其原理是利用帶有電荷的離子在電磁場中加速，將高動能的離子引向被濺射的物質(zhì)做成的靶材，入射離子在與靶材表面的原子碰撞過后，靶材原子濺射出來并沿著一定的方向射向玻璃襯底，從而在玻璃襯底表面形成薄膜。
3.在現(xiàn)有技術(shù)中，由于磁控陰極磁控濺射時產(chǎn)生的輝光區(qū)域溫度較高，基片表面溫度會上升，導(dǎo)致成膜受到影響，此外，陽極布氣板塊不能夠隨時調(diào)整，布氣氣路仍有局限性，造成靶材的利用率降低，以及濺射的薄膜厚度均勻性變差等問題，無法滿足生產(chǎn)需要，這種情況需要改變。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
4.本實用新型的目的在于提供一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，以解決上述背景技術(shù)中所提到的靶材利用率低、鍍層厚度均勻性變差等問題。
5.為實現(xiàn)以上實用新型目的，采用的技術(shù)方案為：
6.一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，包括基體法蘭，在所述基體法蘭的一側(cè)設(shè)置有陽極布氣組件，在所述基體法蘭背離所述陽極布氣組件的一側(cè)套設(shè)固定有保護罩，在所述保護罩的內(nèi)部靠近所述基體法蘭一側(cè)鋪設(shè)有法蘭冷卻管；所述陽極布氣組件包括：兩個陽極端板以及連接于所述兩個陽極端板之間的若干陽極中間板；所述陽極端板的一端設(shè)置固定有陽極端擋板，并通過所述陽極端擋板與所述基體法蘭固定，在所述陽極端板和所述陽極中間板的外側(cè)還設(shè)置有陽極縱擋板；所述陽極端板和所述陽極中間板的表面開設(shè)有若干氣孔；在所述陽極端板和所述陽極中間板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有分別與所述陽極端板相配合的端組合靶材和與所述陽極中間板相配合的中間組合靶材。
7.本實用新型進一步設(shè)置為：所述陽極端板和所述陽極中間板通過所述陽極端擋板架設(shè)于所述基體法蘭的上方。
8.本實用新型進一步設(shè)置為：所述陽極縱擋板的上端向所述陽極端板和所述陽極中間板一側(cè)彎曲，所述陽極縱擋板的下端與所述基體法蘭固定。
9.本實用新型進一步設(shè)置為：在所述陽極縱擋板的內(nèi)側(cè)靠近所述陽極端板和所述陽極中間板處鋪設(shè)有陽極冷卻管。
10.本實用新型進一步設(shè)置為：所述陽極冷卻管的兩端設(shè)置有第一水冷管接頭。
11.本實用新型進一步設(shè)置為：所述基體法蘭背離所述陽極布氣組件的一側(cè)設(shè)置有外布氣中間氣管和內(nèi)布氣中間氣管。
12.本實用新型進一步設(shè)置為：所述法蘭冷卻管呈環(huán)狀結(jié)構(gòu)設(shè)計，所述法蘭冷卻管的
兩端設(shè)置有第二水冷管接頭。
13.本實用新型進一步設(shè)置為：所述端組合靶材和所述中間組合靶材的下方鋪設(shè)有隔膜板。
14.本實用新型進一步設(shè)置為：在所述陽極布氣組件的內(nèi)部設(shè)置有磁路裝配體，所述磁路裝配體包括銅排電極以及設(shè)置于所述銅排電極上表面的中間磁軛，所述銅排電極的一端穿設(shè)于所述基體法蘭。
15.本實用新型進一步設(shè)置為：所述銅排電極與所述基體法蘭的接縫處設(shè)置有銅排絕緣套。
16.綜上所述，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型公開了一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，包括基體法蘭，在基體法蘭的一側(cè)設(shè)置有陽極布氣組件，在基體法蘭背離陽極布氣組件的一側(cè)套設(shè)固定有保護罩，在保護罩的內(nèi)部靠近基體法蘭一側(cè)鋪設(shè)有法蘭冷卻管；陽極布氣組件包括：兩個陽極端板以及連接于兩個陽極端板之間的若干陽極中間板；陽極端板的一端設(shè)置固定有陽極端擋板，并通過陽極端擋板與基體法蘭固定，在陽極端板和陽極中間板的外側(cè)還設(shè)置有陽極縱擋板；陽極端板和陽極中間板的表面開設(shè)有若干氣孔；在陽極端板和陽極中間板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有分別與陽極端板相配合的端組合靶材和與陽極中間板相配合的中間組合靶材。具備以下有益效果:
17.首先，通過在保護罩的內(nèi)部靠近基體法蘭的一側(cè)鋪設(shè)法蘭冷卻管，能夠快速冷卻降溫，減少發(fā)熱，提高設(shè)備運行效率；此外，通過設(shè)置模塊化的陽極端板和陽極中間板，以及與其相互對應(yīng)的端組合靶材和中間組合靶材，并在所述陽極端板和陽極中間板開設(shè)有氣孔，提供可調(diào)整的陽極布氣氣路，提升靶材的利用率和鍍膜均勻性，提高裝置的實用性和市場競爭力；最后，通過在陽極端板和陽極中間板的一側(cè)的端部分別設(shè)置有陽極端擋板和陽極縱擋板，能夠起到有效阻擋靶材向側(cè)方向濺射，提高鍍膜質(zhì)量。
附圖說明
18.為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
19.圖1是本實施例提供的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
20.圖2是本實施例提供的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置的俯視角示意圖；
21.圖3是本實施例提供的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置的a-a剖面視角結(jié)構(gòu)示意圖；
22.圖4是本實施例提供的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置的基體法蘭仰視角結(jié)構(gòu)示意圖。
23.附圖標記：1、基體法蘭；2、陽極布氣組件；21、陽極端板；22、陽極中間板；23、陽極端擋板；24、陽極縱擋板；25、氣孔；26、端組合靶材；27、中間組合靶材；28、外布氣中間氣管；29、內(nèi)布氣中間氣管；3、保護罩；31、法蘭冷卻管；32、第二水冷管接頭；4、陽極冷卻管；41、第一水冷管接頭；5、隔膜板；6、磁路裝配體；61、銅排電極；62、中間磁軛；63、銅排電極絕緣套。
具體實施方式
24.為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明，應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
25.在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
26.在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，還可以是兩個元件內(nèi)部的連通，可以是無線連接，也可以是有線連接。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
27.此外，上面所描述的本實用新型不同實施方式中所涉及的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互結(jié)合。
28.一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，如圖1、2、3所示，包括基體法蘭1，在基體法蘭1的一側(cè)設(shè)置有陽極布氣組件2，在基體法蘭1背離陽極布氣組件2的一側(cè)套設(shè)固定有保護罩3，在保護罩3的內(nèi)部靠近基體法蘭1一側(cè)鋪設(shè)有法蘭冷卻管31；陽極布氣組件2包括：兩個陽極端板21以及連接于所述兩個陽極端板21之間的若干陽極中間板22；陽極端板21的一端設(shè)置固定有陽極端擋板23，并通過陽極端擋板23與基體法蘭1固定，在陽極端板21和陽極中間板22的外側(cè)還設(shè)置有陽極縱擋板24；陽極端板21和陽極中間板22的表面開設(shè)有若干氣孔25；在陽極端板21和陽極中間板22的內(nèi)側(cè)設(shè)置有分別與陽極端板21相配合的端組合靶材26和與陽極中間板22相配合的中間組合靶材27。通過在保護罩3的內(nèi)部靠近基體法蘭1的一側(cè)鋪設(shè)法蘭冷卻管31，能夠?qū)w法蘭1進行快速冷卻降溫，減少發(fā)熱，避免由于設(shè)備過熱導(dǎo)致的鍍膜效果不佳等問題；
29.其次，通過設(shè)置模塊化的陽極端板21和陽極中間板22，以及與其相互對應(yīng)的端組合靶材26和中間組合靶材27，并在陽極端板21和陽極中間板22上開設(shè)有氣孔25，提供可調(diào)整的陽極布氣氣路，提升靶材的利用率和鍍膜均勻性，提高裝置的實用性和市場競爭力。
30.需要進一步說明的是，陽極端板21和陽極中間板22通過陽極端擋板23架設(shè)與基體法蘭1的上方，陽極縱擋板24的上端向陽極端板21和陽極中間板22一側(cè)彎曲，陽極縱擋板24的下端與基體法蘭1固定。通過湖之陽極端擋板23和陽極縱擋板24，以及將陽極縱擋板24的一端設(shè)置為向內(nèi)側(cè)歪曲的結(jié)構(gòu)，能夠起到有效阻擋靶材向側(cè)方向濺射的作用，進而提高鍍膜質(zhì)量和靶材利用率。
31.進一步的，如圖1所示，在所述陽極縱擋板24的內(nèi)側(cè)靠近所述陽極端板21和陽極中間板22處鋪設(shè)有陽極冷卻管4，所述陽極冷卻管4的兩端設(shè)置有第一水冷管接頭41。
32.在具體的實施過程中，所述陽極冷卻管4主要采用銅制冷凝管，銅制冷凝管具備更優(yōu)良的導(dǎo)熱性能，此外，在陽極端板21和陽極中間板22附近設(shè)置冷卻管可對生產(chǎn)過程中輝光放電產(chǎn)生的熱量進行精準有效地降溫，提升設(shè)備的工作效率。
33.進一步的，如圖4所示，在基體法蘭1背離陽極布氣組件2的一側(cè)設(shè)置有外布氣中間氣管28和內(nèi)布氣中間氣管29。
34.進一步的，如圖3、4所示，法蘭冷卻管31呈環(huán)狀結(jié)構(gòu)設(shè)計，法蘭冷卻管31的兩端設(shè)置有第二水冷管接頭32。需要進一步說明的是，法蘭冷卻管31嵌設(shè)在基體法蘭1的背面，第二水冷管接頭32接通冷凝水后，可對基體法蘭1進行有效散熱，提升生產(chǎn)效率。
35.進一步的，如圖3所示，端組合靶材26和中間組合靶材27的下方鋪設(shè)有隔膜板5。
36.進一步的，如圖3所示，在陽極布氣組件2的內(nèi)部設(shè)置有磁路裝配體6，磁路裝配體6包括銅排電極61以及設(shè)置于所述銅排電極61上表面的中間磁軛62，銅排電極61的一端穿設(shè)于基體法蘭1。
37.進一步的，如圖3所示，銅排電極61與基體法蘭1的接縫處設(shè)置有銅排絕緣套63。
38.綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：
39.首先，通過在保護罩的內(nèi)部靠近基體法蘭的一側(cè)鋪設(shè)法蘭冷卻管，能夠快速冷卻降溫，減少發(fā)熱，提高設(shè)備運行效率；此外，通過設(shè)置模塊化的陽極端板和陽極中間板，以及與其相互對應(yīng)的端組合靶材和中間組合靶材，并在所述陽極端板和陽極中間板開設(shè)有氣孔，提供可調(diào)整的陽極布氣氣路，提升靶材的利用率和鍍膜均勻性，提高裝置的實用性和市場競爭力；最后，通過在陽極端板和陽極中間板的一側(cè)的端部分別設(shè)置有陽極端擋板和陽極縱擋板，能夠起到有效阻擋靶材向側(cè)方向濺射，提高鍍膜質(zhì)量。
40.顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型創(chuàng)造的保護范圍之中。
技術(shù)特征：
1.一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，包括基體法蘭，其特征在于，在所述基體法蘭的一側(cè)設(shè)置有陽極布氣組件，在所述基體法蘭背離所述陽極布氣組件的一側(cè)套設(shè)固定有保護罩，在所述保護罩的內(nèi)部靠近所述基體法蘭一側(cè)鋪設(shè)有法蘭冷卻管；所述陽極布氣組件包括：兩個陽極端板以及連接于所述兩個陽極端板之間的若干陽極中間板；所述陽極端板的一端設(shè)置固定有陽極端擋板，并通過所述陽極端擋板與所述基體法蘭固定，在所述陽極端板和所述陽極中間板的外側(cè)還設(shè)置有陽極縱擋板；所述陽極端板和所述陽極中間板的表面開設(shè)有若干氣孔；在所述陽極端板和所述陽極中間板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有分別與所述陽極端板相配合的端組合靶材和與所述陽極中間板相配合的中間組合靶材。2.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述陽極端板和所述陽極中間板通過所述陽極端擋板架設(shè)于所述基體法蘭的上方。3.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述陽極縱擋板的上端向所述陽極端板和所述陽極中間板一側(cè)彎曲，所述陽極縱擋板的下端與所述基體法蘭固定。4.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，在所述陽極縱擋板的內(nèi)側(cè)靠近所述陽極端板和所述陽極中間板處鋪設(shè)有陽極冷卻管。5.如權(quán)利要求4所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述陽極冷卻管的兩端設(shè)置有第一水冷管接頭。6.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述基體法蘭背離所述陽極布氣組件的一側(cè)設(shè)置有外布氣中間氣管和內(nèi)布氣中間氣管。7.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述法蘭冷卻管呈環(huán)狀結(jié)構(gòu)設(shè)計，所述法蘭冷卻管的兩端設(shè)置有第二水冷管接頭。8.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述端組合靶材和所述中間組合靶材的下方鋪設(shè)有隔膜板。9.如權(quán)利要求1所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，在所述陽極布氣組件的內(nèi)部設(shè)置有磁路裝配體，所述磁路裝配體包括銅排電極以及設(shè)置于所述銅排電極上表面的中間磁軛，所述銅排電極的一端穿設(shè)于所述基體法蘭。10.如權(quán)利要求9所述的一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，其特征在于，所述銅排電極與所述基體法蘭的接縫處設(shè)置有銅排絕緣套。
技術(shù)總結(jié)
本實用新型屬于真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種模塊化的磁控陰極的陽極布氣裝置，包括基體法蘭，在基體法蘭的一側(cè)設(shè)置有陽極布氣組件，陽極布氣組件包括：兩個陽極端板以及連接于所述兩個陽極端板之間的若干陽極中間板；陽極端板的一端設(shè)置固定有陽極端擋板，并通過陽極端擋板與基體法蘭固定，在陽極端板和陽極中間板的外側(cè)還設(shè)置有陽極縱擋板；陽極端板和陽極中間板的表面開設(shè)有若干氣孔；在陽極端板和陽極中間板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有分別與陽極端板相配合的端組合靶材和與陽極中間板相配合的中間組合靶材。本實用新型設(shè)置模塊化的陽極布氣板塊及氣路，使得氣路可根據(jù)需要調(diào)節(jié)，提高靶材的利用率和鍍膜均勻性，提高了裝置的實用性和市場競爭力。和市場競爭力。和市場競爭力。
