玻璃基板旋轉裝置的制作方法
1.本公開涉及玻璃基板生產技術領域,尤其涉及一種玻璃基板旋轉裝置。
背景技術:
2.在玻璃基板生產過程中,需要對玻璃基板的四條邊緣分別進行研磨。研磨方法為先研磨玻璃基板的相對兩邊,然后將玻璃基板傳送至旋轉臺,將玻璃基板旋轉90度后,傳送至下游傳送帶,研磨玻璃基板另外的兩邊。
3.現有的玻璃基板旋轉裝置,通常配合升降機構一起工作,當玻璃基板傳送至旋轉臺上時,氣缸將旋轉臺升高,然后由直驅馬達帶動旋轉臺旋轉,將玻璃基板換向后氣缸將旋轉臺降低,此時玻璃基板下降并傳送至下游,研磨玻璃基板的另外兩邊。
4.但是,在發明人實現本發明創造的過程中,發現采用直驅馬達進行驅動旋轉時,旋轉過程中往往會出現旋轉不到位,導致玻璃基板在傳送下游時會與對接設備進行碰撞,影響玻璃基板質量。
技術實現要素:
5.本公開所要解決的一個技術問題是:如何提高玻璃基板旋轉裝置的旋轉精度,進而保障玻璃基板的質量。
6.為解決上述技術問題,本公開實施例提供一種玻璃基板旋轉裝置,包括:
7.支架,
8.旋轉臺,旋轉臺位于支架頂部的上方;
9.驅動部,驅動部設置在支架上,驅動部驅動軸與旋轉臺連接,用于驅動旋轉臺轉動;以及
10.檢測單元,檢測單元包括角度檢測部和光電檢測器,角度檢測部與驅動部驅動軸聯動,光電檢測器用于檢測角度檢測部旋轉角度,并生成第一信號;
11.其中,光電檢測器與驅動部信號連接,光電檢測器將第一信號發送至驅動部,驅動部基于第一信號判斷何時停止驅動旋轉臺轉動。
12.在一些實施例中,角度檢測部包括:沿圓周軌跡均勻間隔設置的多個定位件,多個定位件繞圓周軌跡的中心軸線轉動,多個定位件與驅動部驅動軸聯動,光電檢測器用于檢測多個定位件旋轉角度;
13.其中,定位件的數量為4的整數倍。
14.在一些實施例中,角度檢測部為輪體,輪體的外輪廓周側均勻間隔的設置多個凸起,多個凸起形成多個定位件,輪體套設在驅動部驅動軸上,與驅動軸同心聯動。
15.在一些實施例中,驅動部驅動軸上具有多個凹槽,多個凹槽均勻間隔設置在驅動部驅動軸周側,形成多個定位件。
16.在一些實施例中,角度檢測部還包括:凸輪分割器,凸輪分割器包括出力軸和貫穿的入力軸,驅動部通過出力軸與旋轉臺連接,入力軸的一端連接驅動部,入力軸的另一端周
側均勻間隔設置多個定位件。
17.在一些實施例中,光電檢測器設置在凸輪分割器上,光電檢測器和多個定位件位于凸輪分割器的同一側,光電檢測器的檢測端與定位件正對,驅動部驅動軸與多個定位件同步轉動,使多個定位件依次與光電檢測器檢測端正對。
18.在一些實施例中,驅動部包括:控制單元和電機,控制單元的輸入端與光電檢測器連接,控制單元輸出端與電機連接,光電檢測器將第一信號發送至控制單元,控制單元基于第一信號判斷何時停止驅動電機轉動。
19.在一些實施例中,還包括:升降部,升降部與支架固定連接,升降部頂部與驅動部連接,升降部能夠沿豎直方向往復運動以帶動驅動部運動。
20.在一些實施例中,升降部包括:氣缸,導向機構和連接板,氣缸和導向機構固定設置在支架上,導向機構與連接板連接,連接板底部與氣缸輸出端連接,連接板頂部設置驅動部,氣缸能夠沿豎直方向往復運動以帶動驅動部運動。
21.在一些實施例中,還包括:距離傳感器,距離傳感器設置在旋轉臺上,用于檢測距離傳感器與樣品之間距離。
22.通過上述技術方案,本公開提供的玻璃基板旋轉裝置,通過在支架上設置驅動部,驅動部的驅動軸與旋轉臺連接,實現了旋轉臺以及旋轉臺上的玻璃基板的轉動;通過設置包括角度檢測部和光電檢測器的檢測單元,并且角度檢測部與驅動部驅動軸聯動,光電檢測器與驅動部信號連接,光電檢測器能夠檢測角度檢測部的旋轉角度,并生成第一信號,光電檢測器將第一信號發送至驅動部,驅動部基于第一信號判斷何時停止驅動旋轉臺轉動,實現精準控制旋轉臺以及旋轉臺上的玻璃基板的旋轉角度,避免了玻璃基板因旋轉不到位或旋轉過度導致傳送至下游時與對接設備碰撞的問題,進而保障了產品的質量。
附圖說明
23.為了更清楚地說明本公開實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本公開的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
24.圖1是本公開實施例公開的玻璃基板旋轉裝置的主視圖;
25.圖2是本公開實施例公開的玻璃基板旋轉裝置的側視圖;
26.圖3是本公開實施例公開的玻璃基板旋轉裝置的立體圖;
27.圖4是本公開實施例公開的玻璃基板旋轉裝置的俯視圖。
28.附圖標記說明:
29.1、支架;11、支柱;12、承載板;2、旋轉臺;21、安裝座;3、驅動部;4、檢測單元;41、角度檢測部;42、光電檢測器;43、定位件;44、凸輪分割器;441、出力軸;442、入力軸;5、升降部;51、氣缸;52、導向機構;53、連接板;54、底座;6、距離傳感器。
具體實施方式
30.下面結合附圖和實施例對本公開的實施方式作進一步詳細描述。以下實施例的詳細描述和附圖用于示例性地說明本公開的原理,但不能用來限制本公開的范圍,本公開可
以以許多不同的形式實現,不局限于文中公開的特定實施例,而是包括落入權利要求的范圍內的所有技術方案。
31.本公開提供這些實施例是為了使本公開透徹且完整,并且向本領域技術人員充分表達本公開的范圍。應注意到:除非另外具體說明,這些實施例中闡述的部件和步驟的相對布置、材料的組分、數字表達式和數值應被解釋為僅僅是示例性的,而不是作為限制。
32.需要說明的是,在本公開的描述中,除非另有說明,“多個”的含義是大于或等于兩個;術語“上”、“下”、“左”、“右”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系僅是為了便于描述本公開和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解為對本公開的限制。當被描述對象的絕對位置改變后,則該相對位置關系也可能相應地改變。
33.此外,本公開中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數量或者重要性,而只是用來區分不同的部分。“垂直”并不是嚴格意義上的垂直,而是在誤差允許范圍之內。“平行”并不是嚴格意義上的平行,而是在誤差允許范圍之內。“包括”或者“包含”等類似的詞語意指在該詞前的要素涵蓋在該詞后列舉的要素,并不排除也涵蓋其他要素的可能。
34.還需要說明的是,在本公開的描述中,除非另有明確的規定和限定,術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連。對于本領域的普通技術人員而言,可視具體情況理解上述術語在本公開中的具體含義。當描述到特定器件位于第一器件和第二器件之間時,在該特定器件與第一器件或第二器件之間可以存在居間器件,也可以不存在居間器件。
35.本公開使用的所有術語與本公開所屬領域的普通技術人員理解的含義相同,除非另外特別定義。還應當理解,在諸如通用字典中定義的術語應當被解釋為具有與它們在相關技術的上下文中的含義相一致的含義,而不應用理想化或極度形式化的意義來解釋,除非這里明確地這樣定義。
36.對于相關領域普通技術人員已知的技術、方法和設備可能不作詳細討論,但在適當情況下,技術、方法和設備應當被視為說明書的一部分。
37.如圖1所示,本實用新型公開的一種玻璃基板旋轉裝置包括:支架1,旋轉臺2,驅動部3和檢測單元4。
38.旋轉臺2位于支架1頂部的上方;驅動部3設置在支架1上,驅動部3驅動軸與旋轉臺2連接,用于驅動旋轉臺2轉動;以及檢測單元4包括角度檢測部41和光電檢測器42,角度檢測部41與驅動部3驅動軸聯動,光電檢測器42用于檢測角度檢測部41旋轉角度,并生成第一信號。
39.其中,光電檢測器42與驅動部3信號連接,光電檢測器42將第一信號發送至驅動部3,驅動部3基于第一信號判斷何時停止驅動旋轉臺2轉動。
40.本技術的玻璃基板旋轉裝置可以但不限于旋轉玻璃基板,也可以依據需要旋轉其他樣品,當其應用于旋轉其他樣品時,旋轉裝置的各部分組件需根據其他樣品形狀、尺寸以及旋轉角度的需求進行適應性調整。
41.具體地,支架1是能夠安裝驅動部3的結構,其具體結構不作進一步的限定,例如可
以為桁架結構或者板狀結構。支架1的材質不作進一步限定,可以為金屬或者木質。支架1的頂部還可以設置傳送帶和執行部,用于傳送玻璃基板。傳送帶和執行部的具體結構和連接方式為本領域技術人員所知,在此不再贅述。
42.旋轉臺2是用于支撐玻璃,并能夠帶動玻璃基板進行旋轉的結構。旋轉臺2可以為板狀結構或者框架。當選用板狀結構做旋轉臺2時,其截面可以選擇矩形,板狀結構的旋轉臺2可以略大于玻璃基板。板狀結構旋轉臺2的頂面可以設置滾輪,且相對側邊上的滾輪運動方向一致,相鄰側邊的滾輪運動方向呈直角,在進行傳送樣品時,與上下游傳送帶運動方向一致的滾輪工作,余下滾輪不工作,實現樣品的傳送。為了減小傳送時對樣品造成的磨損,旋轉臺2也可以選用框架結構。框架結構整體可以呈“田”字形,驅動部3的驅動軸與“田”字形框架的底部中心處連接,或者,為了提高框架整體結構的穩定性,旋轉臺2還可以包含一個安裝座21,安裝座21的截面大于驅動部3驅動端的截面,安裝座21底部與驅動部3驅動端頂部可以通過鉚接或者螺栓形式固定連接,安裝部的頂部設置“十”字安裝槽,使“田”字形框架結構與安裝部“十”字安裝槽卡接。
43.驅動部3用于驅動旋轉臺2轉動。驅動部3可以選擇直驅電機或者旋轉氣缸,而選用直驅電機可以使旋轉臺2旋轉過程更加平穩,降低產品在旋轉過程中引起的損壞。旋轉電機的驅動軸需與旋轉臺2固定連接,例如,可以通過螺栓的形式與旋轉臺2固定連接,或者在旋轉臺2的底部設置連接孔,直驅電機的驅動軸與連接孔過盈配合,來實現驅動部3驅動軸帶動旋轉臺2轉動。
44.檢測單元4用于判斷何時停止驅動旋轉臺2旋轉。檢測單元4包括角度檢測部41和光電檢測器42。角度檢測部41與驅動部3驅動軸聯動,例如,其可以固定設置在驅動部3的驅動軸上,或者固定設置在與驅動部3驅動軸聯動的聯動軸上,只要能實現角度檢測部41與驅動部3驅動軸聯動即可。
45.光電檢測器42用于向角度檢測部41發射光束,并檢測被角度檢測部41反射的光束,以此來判斷角度檢測部41的旋轉角度,并生成第一信號,再將生成的第一信號發送給驅動部3,驅動部3基于第一信號判斷何時停止驅動旋轉臺2轉動。在本技術中,旋轉臺2針對矩形的玻璃基板進行旋轉,來研磨不同的側邊。因此,當光電檢測器42檢測角度測量器旋轉90度時,向驅動部3發送第一信號,驅動部3停止驅動旋轉臺2轉動。
46.通過上述技術方案,本公開提供的玻璃基板旋轉裝置,通過在支架1上設置驅動部3,驅動部3的驅動軸與旋轉臺2連接,實現了旋轉臺2以及旋轉臺2上的玻璃基板的轉動;通過設置包括角度檢測部41和光電檢測器42的檢測單元4,并且角度檢測部41與驅動部3驅動軸聯動,光電檢測器42與驅動部3信號連接,光電檢測器42能夠檢測角度檢測部41的旋轉角度,并生成第一信號,光電檢測器42將第一信號發送至驅動部3,驅動部3基于第一信號判斷何時停止驅動旋轉臺2轉動,實現精準控制旋轉臺2以及旋轉臺2上的玻璃基板的旋轉角度,避免了玻璃基板因旋轉不到位或旋轉過度導致傳送至下游時與對接設備碰撞的問題,進而保障了產品的質量。
47.如圖1所示,在一些實施例中,角度檢測部41包括:沿圓周軌跡均勻間隔設置的多個定位件43,多個定位件43繞圓周軌跡的中心軸線轉動,多個定位件43與驅動部3驅動軸聯動,光電檢測器42用于檢測多個定位件43旋轉角度;其中,定位件43的數量為4的整數倍。
48.具體地,多個定位件43可以固定設置在驅動部3驅動軸上,或者固定設置在與驅動
部3驅動軸聯動的聯動軸上,光電檢測器42持續角度檢測部41發射光束,因多個定位件43沿圓周軌跡均勻間隔設置,因此相鄰兩個定位件43之間的角度為固定值,光電檢測器持續接收被定位件43反射的光束,以此來判斷角度檢測部41的旋轉角度,并生成第一信號。本方案中針對玻璃基板需要旋轉90度,因此定位件43的數量需為4的整數倍。例如,定位件43的數量可以為4、8、12、16、20、24、28、32等,應當注意的是,定位件43數量過多時會增加加工的成本。因此,定位件43的數量可以選用4、8、12、16、20。而當定位件43數量選擇4時,角度檢測部41的加工工藝最簡單。
49.當本方案的玻璃基板旋轉裝置應用于其他樣品的旋轉時,可根據其他樣品的旋轉角度需求,對定位件43數量進行適應性調整。
50.如圖1所示,在一些實施例中,角度檢測部41為輪體,輪體的外輪廓周側均勻間隔的設置多個凸起,多個凸起形成多個定位件43,輪體套設在驅動部3驅動軸上,與驅動軸同心聯動。
51.具體地,輪體可以通過焊接或者鍵連接的形式與驅動部3的驅動軸固定連接。多個凸起可以與輪體一體成型,也可以通過焊接或者螺栓連接的形式與輪體固定連接。輪體套設在驅動軸的具體位置不作進一步限定,只要能保證光電檢測器42和輪體上的多個凸起配合,實現輪體旋轉角度的檢測即可,例如,可以是在驅動軸靠近驅動部3的一端或者驅動軸的中部。凸起的形狀不作進一步的限定,例如,可以為半球體形或者圓錐體形,即,每個凸起需有最高點,每個凸起最高點的位置距離相鄰的凸起最高點的位置的距離是相等的。光電檢測器42向凸起最高點發射光束,并采集被定位件43最高點反射的光束,以此來判斷角度檢測部41的旋轉角度,并生成第一信號。
52.如圖1所示,在一些實施例中,驅動部3驅動軸上具有多個凹槽,多個凹槽均勻間隔設置在驅動部3驅動軸周側,形成多個定位件43。
53.具體地,凹槽的形狀不作進一步的限定,例如,可以為半球體形或者圓錐體形,即,每個凹槽需有最低點,每個凹槽最低點的位置距離相鄰的凹槽最低點的位置的距離是相等的。在驅動軸周側設置凹槽的具體工藝為技術人員所掌握,在此不再贅述。
54.如圖1至圖3所示,在一些實施例中,角度檢測部41還包括:凸輪分割器44,凸輪分割器44包括出力軸441和貫穿的入力軸442,驅動部3通過出力軸441與旋轉臺2連接,入力軸442的一端連接驅動部3,入力軸442的另一端周側均勻間隔設置多個定位件43。
55.具體地,凸輪分割器44為現有技術,可以通過市場采購的形式獲得。旋轉臺2通過凸輪分割器44與驅動部3連接。凸輪分割器44的入力軸442與出力軸441聯動,出力軸441與驅動部3聯動形成驅動軸,入力軸442遠離驅動部3的一端周側均勻間隔設置多個定位件43,該定位件43可以為上述的包含多個定位件43的輪體,也可以是入力軸442上一體成型的凹槽。凸輪分割器44因為其自身帶有聯動的入力軸442和出力軸441,通過出力軸441與旋轉臺2連接,入力軸442上設置定位件43,為旋轉裝置設置升降部5打下了基礎,避免了直接將多個定位件43設置在驅動軸上而影響驅動部3升降,進而影響了旋轉臺2的升降,同時,也更利于工作人員的檢修。
56.如圖1所示,在一些實施例中,光電檢測器42設置在凸輪分割器44上,光電檢測器42和輪體位于凸輪分割器44的同一側,光電檢測器42的檢測端與定位件43正對,驅動部3驅動軸與多個定位件43同步轉動,使多個凸起依次與光電檢測器42檢測端正對。
57.具體地,凸輪分割器44的檢測端,即,光線的發射和收集端,與其中一個定位件43正對,當定位件43隨著驅動軸旋轉時,沿圓周軌跡均勻且間隔設置的定位件43依次與光電檢測器42檢測端正對,光電檢測器42向定位件43發射光束,并采集被定位件43反射的光束,以此來判斷角度檢測部41的旋轉角度,并生成第一信號。
58.如圖1至圖3所示,在一些實施例中,驅動部3包括:控制單元和電機,控制單元的輸入端與光電檢測器42連接,控制單元輸出端與電機連接,光電檢測器42將第一信號發送至控制單元,控制單元基于第一信號判斷何時停止驅動電機轉動。
59.具體的,控制單位為控制器,其可以通過市場采購的形式獲得。電機為直驅電機,其具體型號不作進一步限定。
60.如圖1至圖3所示,在一些實施例中,還包括:升降部5,升降部5與支架1固定連接,升降部5頂部與驅動部3連接,升降部5能夠沿豎直方向往復運動以帶動驅動部3運動。
61.如圖1至圖3所示,在一些實施例中,升降部5包括:氣缸51,導向機構52和連接板53,氣缸51和導向機構52固定設置在支架1上,導向機構52與連接板53連接,連接板53底部與氣缸51輸出端連接,連接板53頂部設置驅動部3,氣缸51能夠沿豎直方向往復運動以帶動驅動部3運動。
62.具體地,升降部5可以通過螺栓或者焊接的形式與支架1固定,升降部5可以通過直線電機、液壓缸或者氣缸51實現升降。其中,氣缸51操作簡單,升降速度穩定,更適合玻璃基板這種易碎品的升降。
63.支架1可以包括支柱11和承載板12,氣缸51固定設置在承載板12的頂面。承載板12的頂面還設置有導向機構52,例如導向桿或者導向軸,當選用導向軸時,整體加工工藝更加簡單、方便。導向軸的數量部不作限定,為了保證運動的穩定性,可以選則四個導向軸。四個導向軸的頂端以及氣缸51輸出端與連接板53連接,連接板53頂部連接驅動部3和凸輪分割器44。氣缸51沿著豎直方向往復運動,依次帶動驅動部3和旋轉臺2往復運動,實現旋轉裝置的升降。
64.此外,升降部5還可以包括底座54,氣缸51固定設置在承載板12上,氣缸51輸出端與連接板53底部連接,導向軸通過軸承與承載板12固定連接,導向軸的底部與底座54連接。其具體結構可以是多種形式的,只要能實現升降機構帶動驅動部3升降的結構均可。
65.如圖4所示,在一些實施例中,還包括:距離傳感器6,距離傳感器6設置在旋轉臺2上,用于檢測距離傳感器6與樣品之間距離,并生成第二信號;距離傳感器6可以選用紅外線距離傳感器6或者超聲波距離傳感器6。距離傳感器6與執行部信號連接,距離傳感器6將第二信號發送至執行部,執行部基于第二信號判斷何時停止驅動傳送帶運動,此時玻璃基板位于理想中位置,實現了樣品的定位。
66.至此,已經詳細描述了本公開的各實施例。為了避免遮蔽本公開的構思,沒有描述本領域所公知的一些細節。本領域技術人員根據上面的描述,完全可以明白如何實施這里公開的技術方案。
67.雖然已經通過示例對本公開的一些特定實施例進行了詳細說明,但是本領域的技術人員應該理解,以上示例僅是為了進行說明,而不是為了限制本公開的范圍。本領域的技術人員應該理解,可在不脫離本公開的范圍和精神的情況下,對以上實施例進行修改或者對部分技術特征進行等同替換。尤其是,只要不存在結構沖突,各個實施例中所提到的各項
技術特征均可以任意方式組合起來。
技術特征:
1.一種玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,包括:支架(1),旋轉臺(2),所述旋轉臺(2)位于所述支架(1)頂部的上方;驅動部(3),所述驅動部(3)設置在所述支架(1)上,所述驅動部(3)驅動軸與所述旋轉臺(2)連接,用于驅動所述旋轉臺(2)轉動;以及檢測單元(4),所述檢測單元(4)包括角度檢測部(41)和光電檢測器(42),所述角度檢測部(41)與所述驅動部(3)驅動軸聯動,所述光電檢測器(42)用于檢測所述角度檢測部(41)旋轉角度,并生成第一信號;其中,所述光電檢測器(42)與所述驅動部(3)信號連接,所述光電檢測器(42)將所述第一信號發送至所述驅動部(3),所述驅動部(3)基于所述第一信號判斷何時停止驅動所述旋轉臺(2)轉動。2.根據權利要求1所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述角度檢測部(41)包括:沿圓周軌跡均勻間隔設置的多個定位件(43),多個所述定位件(43)繞圓周軌跡的中心軸線轉動,多個所述定位件(43)與所述驅動部(3)驅動軸聯動,所述光電檢測器(42)用于檢測多個所述定位件(43)旋轉角度;其中,所述定位件(43)的數量為4的整數倍。3.根據權利要求2所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述角度檢測部(41)為輪體,所述輪體的外輪廓周側均勻間隔的設置多個凸起,多個所述凸起形成多個所述定位件(43),所述輪體套設在所述驅動部(3)驅動軸上,與所述驅動軸同心聯動。4.根據權利要求2所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述驅動部(3)驅動軸上具有多個凹槽,多個所述凹槽均勻間隔設置在所述驅動部(3)驅動軸周側,形成多個所述定位件(43)。5.根據權利要求2所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述角度檢測部(41)還包括:凸輪分割器(44),所述凸輪分割器(44)包括出力軸(441)和貫穿的入力軸(442),所述驅動部(3)通過所述出力軸(441)與所述旋轉臺(2)連接,所述入力軸(442)的一端連接所述驅動部(3),所述入力軸(442)的另一端周側均勻間隔設置多個所述定位件(43)。6.根據權利要求5所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述光電檢測器(42)設置在所述凸輪分割器(44)上,所述光電檢測器(42)和多個所述定位件(43)位于所述凸輪分割器(44)的同一側,所述光電檢測器(42)的檢測端與所述定位件(43)正對,所述驅動部(3)驅動軸及與多個所述定位件(43)同步轉動,使多個所述定位件(43)依次與所述光電檢測器(42)檢測端正對。7.根據權利要求1所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述驅動部(3)包括:控制單元和電機,所述控制單元的輸入端與所述光電檢測器(42)連接,所述控制單元輸出端與所述電機連接,所述光電檢測器(42)將所述第一信號發送至所述控制單元,所述控制單元基于所述第一信號判斷何時停止驅動所述電機轉動。8.根據權利要求1至7任一項所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,還包括:升降部(5),所述升降部(5)與所述支架(1)固定連接,所述升降部(5)頂部與所述驅動
部(3)連接,所述升降部(5)能夠沿豎直方向往復運動以帶動所述驅動部(3)運動。9.根據權利要求8所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,所述升降部(5)包括:氣缸(51)、導向機構(52)和連接板(53),所述氣缸(51)和所述導向機構(52)固定設置在所述支架(1)上,所述導向機構(52)與所述連接板(53)連接,所述連接板(53)底部與所述氣缸(51)輸出端連接,所述連接板(53)頂部設置所述驅動部(3),所述氣缸(51)能夠沿豎直方向往復運動以帶動所述驅動部(3)運動。10.根據權利要求1至7任一項所述的玻璃基板旋轉裝置,其特征在于,還包括:距離傳感器(6),所述距離傳感器(6)設置在所述旋轉臺(2)上,用于檢測所述距離傳感器(6)與樣品之間距離。
技術總結
本公開提供一種玻璃基板旋轉裝置,包括:支架,旋轉臺位于支架頂部的上方;驅動部設置在支架上,驅動部驅動軸與旋轉臺連接,用于驅動旋轉臺轉動;檢測單元包括角度檢測部和光電檢測器,角度檢測部與驅動部驅動軸聯動,光電檢測器用于檢測角度檢測部旋轉角度,并生成第一信號;其中,光電檢測器與驅動部信號連接,光電檢測器將第一信號發送至驅動部,驅動部基于第一信號判斷何時停止驅動旋轉臺轉動。通過驅動部的驅動軸與旋轉臺連接,實現旋轉臺及旋轉臺上玻璃基板的轉動;通過設置包括角度檢測部和光電檢測器的檢測單元,實現精準控制旋轉角度,避免玻璃基板因旋轉不到位或旋轉過度導致傳送至下游時與對接設備碰撞,進而保障了產品的質量。的質量。的質量。
