一種旋涂可控的低溫型勻膠機的制作方法
1.本發明涉及勻膠機技術領域，具體為一種旋涂可控的低溫型勻膠機。
背景技術：
2.鈣鈦礦和有機半導體薄膜在發光面板、光伏、半導體晶體管等領域具有廣泛的應用。這些薄膜主要通過溶液旋涂、刮涂、絲網印刷、狹縫涂布等工藝實現。其中旋涂是將均勻薄膜施加到平坦基底上的最常見工藝手段。一個典型的過程包括將適量液體施加在在基底中部位置，然后高速旋轉基底。離心力作用將液體擴散到整塊基底直至邊緣，并最終甩去多余液體，在表面留下一層薄膜，最終薄膜厚度和其他性能將取決于液體的性質(粘度、干燥速率、固體百分比、表面張力等)，以及旋轉過程參數(最終轉速、加速度和氣氛等)，以上綜合確定了膜層的特性，現有技術中一般采用勻膠機實現這一系列動作。
3.現有技術中的勻膠機滿足一般的使用要求，但其在現實的使用過程中還存在以下不足之處：
4.1.現有技術中的勻膠機，在對旋涂溶液的溫度控制上效果較差，無法通過通過準確降低溶液的溫度，改變溶液的流體性質，提升成膜效果；
5.2.現有技術中的勻膠機，在對旋涂環境的溫度控制上效果較差，無法通過準確降低旋涂氛圍的溫度，控制溶液結晶與溶劑揮發的速率，提高成膜的質量；
6.3.現有技術中的勻膠機，其旋涂腔體與治具一般為分體式加工，導熱不容易一起控制，因此整體協調性差，利用其進行實驗時，無法保證溫度低擾動性和實驗結果的可重復性。
技術實現要素：
7.本發明的目的在于提供一種旋涂可控的低溫型勻膠機，以解決上述背景技術中提出的問題。
8.為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種旋涂可控的低溫型勻膠機,包括箱體防護機構、冷卻機構與主體機構，所述箱體防護機構包括下箱體組件、下箱體組件上端所設的上箱體組件與上箱體組件下端所設的箱蓋組件，所述主體機構包括勻膠主體組件與勻膠主體組件側面所設的磁力攪拌組件，所述冷卻機構包括勻膠主體組件左右兩側所設的冷卻組件、上箱體組件左右兩側所設的左右吹風組件與上箱體組件前后兩端所設的前后吹風風扇。
9.優選的，所述上箱體組件包括上箱體，且在上箱體上端面的中間開設有投料孔，所述投料孔的側面開設有磁力攪拌瓶放置口，所述上箱體的前后兩端對稱開設有冷卻出風口，且在上箱體的左右兩端對稱開設有冷卻進風口；
10.所述箱蓋組件包括上蓋板，且在上蓋板的下端固定安裝有與投料孔上端口一側固定相連的鉸鏈。
11.優選的，所述下箱體組件包括上箱體下端所設的上撐板與下撐板，所述上箱體固
定安裝在上撐板的上端，所述下撐板的中間開設有透氣孔，所述上撐板的下撐板的左右兩側分別固定安裝有左撐板與右撐板，所述右撐板的側面固定安裝有緊急制動按鈕，所述上撐板與下撐板的后端固定安裝有后撐板，且在后撐板的壁體上開設有外接插槽。
12.優選的，所述上撐板與下撐板的前端固定安裝有前撐板，且在前撐板的中間開設有觸控面板安裝槽，所述觸控面板安裝槽內固定安裝有觸控面板。
13.優選的，所述上撐板上端面的中間開設有導向套固定孔，所述上撐板的上端并且在導向套固定孔的上端口處固定安裝有冷凝集水槽板。
14.優選的，所述勻膠主體組件包括固定安裝在冷凝集水槽板上端的主體座，所述主體座上端的中間開設有與投料孔位置相對應的低溫工作腔，所述低溫工作腔的上端口處設有與投料孔相插配的上定位套環，所述低溫工作腔的下端向主體座的底部開設有轉盤安裝孔；
15.所述主體座的左右兩側對稱開設有槽體結構的制冷定位槽；
16.所述低溫工作腔的側面并且在主體座的上端開設有與磁力攪拌瓶放置口位置相對應的磁力攪拌槽，所述磁力攪拌槽的下端并且在主體座的底部開設有磁力攪拌驅動槽。
17.優選的，所述主體座的下端并且在上撐板中間的導向套固定孔內固定安裝有導向套，所述導向套的上端與轉盤安裝孔相穿配，所述導向套的中間開設有中間安裝槽，所述中間安裝槽的上端口處套配有轉盤；
18.所述透氣孔的上端口處固定安裝有電機安裝座，且在電機安裝座上固定安裝有勻膠旋轉電機，所述勻膠旋轉電機的主軸貫穿中間安裝槽與轉盤的下端相固定連接，所述勻膠旋轉電機的左右兩側并且在下撐板的上端面上固定安裝有電機驅動器與電源。
19.優選的，所述冷卻組件包括半導體制冷片，且在半導體制冷片的內側面上固定設有定位安裝板，所述定位安裝板與制冷定位槽相嵌配，所述左右吹風組件包括固定安裝在冷卻進風口內的進風機安裝板，且在進風機安裝板的壁體上固定安裝有風扇ii，所述上箱體前后兩端的冷卻出風口內固定安裝有前后吹風風扇。
20.優選的，所述磁力攪拌組件包括固定安裝在磁力攪拌驅動槽下端的磁力攪拌底座，且在磁力攪拌底座的中間固定安裝有磁力攪拌器，所述磁力攪拌器的側面并且在磁力攪拌驅動槽槽體的側面固定插配有溫度傳感器，所述磁力攪拌槽的槽體內設有與磁力攪拌器位置相對應的磁力攪拌瓶。
21.與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明結構設置合理，功能性強，具有以下優點：
22.1.本發明中，通過冷卻組件、前后吹風風扇與左右吹風組件協同作業準確降低溶液的溫度，改變旋涂溶液的流體性質，提升成膜效果；
23.2.本發明中，通過冷卻組件、前后吹風風扇與左右吹風組件的協同作業準確降低旋涂氛圍的溫度，控制溶液結晶、溶劑揮發的速率，提高成膜質量；
24.3.本發明中，旋涂腔體與治具為整體加工，優秀的導熱系數和熱容量保證了溫度低擾動性和實驗結果的重復性。
附圖說明
25.圖1為本發明整體結構右上軸側爆炸視圖；
26.圖2為本發明整體結構左下軸側爆炸視圖；
27.圖3為本發明整體結構軸側視圖；
28.圖4為本發明整體結構主視圖；
29.圖5為圖4中b-b處剖面結構軸側視圖；
30.圖6為圖4中e-e處剖面結構軸側視圖；
31.圖7為本發明整體結構左視圖；
32.圖8為圖7中f-f處剖面結構軸側視圖；
33.圖9為圖7中i-i處剖面結構軸側視圖。
34.圖中：1、上箱體組件；2、箱蓋組件；3、下箱體組件；4、冷卻組件；5、前后吹風風扇；6、左右吹風組件；8、磁力攪拌組件；9、勻膠主體組件；10、冷凝集水槽板；101、上箱體；102、投料孔；103、磁力攪拌瓶放置口；104、冷卻出風口；105、冷卻進風口；201、上蓋板；202、鉸鏈；301、上撐板；302、下撐板；303、透氣孔；304、左撐板；305、右撐板；306、緊急制動按鈕；307、前撐板；308、觸控面板安裝槽；309、觸控面板；310、后撐板；311、外接插槽；401、半導體制冷片；402、定位安裝板；601、進風機安裝板；602、風扇ii；801、磁力攪拌底座；802、磁力攪拌器；803、溫度傳感器；804、磁力攪拌瓶；901、主體座；902、低溫工作腔；903、轉盤安裝孔；904、磁力攪拌槽；905、磁力攪拌驅動槽；906、制冷定位槽；907、上定位套環；908、勻膠旋轉電機；909、電機驅動器；910、電源；911、導向套；912、中間安裝槽；913、轉盤。
具體實施方式
35.下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
36.請參閱圖1至圖9，本發明提供一種技術方案：一種旋涂可控的低溫型勻膠機,包括箱體防護機構、冷卻機構與主體機構，箱體防護機構包括下箱體組件3、下箱體組件3上端所設的上箱體組件1與上箱體組件1下端所設的箱蓋組件2，主體機構包括勻膠主體組件9與勻膠主體組件9側面所設的磁力攪拌組件8，冷卻機構包括勻膠主體組件9左右兩側所設的冷卻組件4、上箱體組件1左右兩側所設的左右吹風組件6與上箱體組件1前后兩端所設的前后吹風風扇5，其中，上箱體組件1相對冷卻組件4、磁力攪拌組件8與勻膠主體組件9起到一個防護作用，上箱體組件1相對前后吹風風扇5與左右吹風組件6起到一個支撐作用，磁力攪拌組件8起到一個旋涂溶液的攪拌作用，勻膠主體組件9起到一個旋涂與支撐作用，冷卻組件4、前后吹風風扇5與左右吹風組件6相對磁力攪拌組件8與勻膠主體組件9起到一個溫度調節作用。
37.進一步的，上箱體組件1包括上箱體101，且在上箱體101上端面的中間開設有投料孔102，投料孔102的側面開設有磁力攪拌瓶放置口103，上箱體101的前后兩端對稱開設有冷卻出風口104，且在上箱體101的左右兩端對稱開設有冷卻進風口105；
38.箱蓋組件2包括上蓋板201，且在上蓋板201的下端固定安裝有與投料孔102上端口一側固定相連的鉸鏈202，此處箱蓋組件2相對上箱體101中間的勻膠主體組件9起到一個頂部密封作用。
39.進一步的，下箱體組件3包括上箱體101下端所設的上撐板301與下撐板302，上箱體101固定安裝在上撐板301的上端，下撐板302的中間開設有透氣孔303，上撐板301的下撐板302的左右兩側分別固定安裝有左撐板304與右撐板305，右撐板305的側面固定安裝有緊急制動按鈕306，上撐板301與下撐板302的后端固定安裝有后撐板310，且在后撐板310的壁體上開設有外接插槽311，其中，上撐板301相對勻膠主體組件9的上端起到一個支撐作用，相對勻膠主體組件9的下端起到一個上端的防護作用，下撐板302相對整機起到一個底部支撐作用，左撐板304與右撐板305相對上撐板301與下撐板302起到一個左右兩側的支撐與防護作用，后撐板310在下箱體組件3的后端起到一個后端的支撐與防護作用，而外接插槽311則便于外部電器元件與本機的對接。
40.進一步的，上撐板301與下撐板302的前端固定安裝有前撐板307，且在前撐板307的中間開設有觸控面板安裝槽308，觸控面板安裝槽308內固定安裝有觸控面板309，此處觸控面板309與半導體制冷片401、前后吹風風扇5、風扇ii 602、磁力攪拌器802、溫度傳感器803、磁力攪拌瓶804以及電機驅動器909相電性連接，通過磁力攪拌瓶804實時監測整機中低溫工作腔902與磁力攪拌槽904的溫度，并將監測結果上傳到觸控面板309，通過觸控面板309調控半導體制冷片401的降溫強度、前后吹風風扇5的轉速、風扇ii 602的轉速、磁力攪拌器802的攪拌速度以及通過控制電機驅動器909來控制勻膠旋轉電機908的旋轉速度與旋轉方向以及工作時長，進而達到控制磁力攪拌槽904內磁力攪拌瓶804內溶液的攪拌狀態與溫度狀態的目的，因為主體座901為一體式結構，使低溫工作腔902與磁力攪拌槽904內的溫度調節一致，因此同時達到了調控低溫工作腔902內工作溫度的目的。
41.進一步的，上撐板301上端面的中間開設有導向套固定孔，上撐板301的上端并且在導向套固定孔的上端口處固定安裝有冷凝集水槽板10，此處上撐板301相對冷凝集水槽板10起到一個固定支撐作用。
42.進一步的，勻膠主體組件9包括固定安裝在冷凝集水槽板10上端的主體座901，主體座901上端的中間開設有與投料孔102位置相對應的低溫工作腔902，低溫工作腔902的上端口處設有與投料孔102相插配的上定位套環907，低溫工作腔902的下端向主體座901的底部開設有轉盤安裝孔903，其中，冷凝集水槽板10中間為凸臺結構，其周邊為凹槽結構，其主要作用是為了收集主體座901外部凝結的水滴，通過管道將冷凝集水槽板10槽體內的水輸送到透氣孔303的下端口排出，；
43.主體座901的左右兩側對稱開設有槽體結構的制冷定位槽906，此處制冷定位槽906的主要作用是便于冷卻組件4在主體座901左右兩側的定位安裝；
44.低溫工作腔902的側面并且在主體座901的上端開設有與磁力攪拌瓶放置口103位置相對應的磁力攪拌槽904，磁力攪拌槽904的下端并且在主體座901的底部開設有磁力攪拌驅動槽905，此處磁力攪拌槽904與磁力攪拌驅動槽905便于磁力攪拌組件8整體的安裝。
45.進一步的，主體座901的下端并且在上撐板301中間的導向套固定孔內固定安裝有導向套911，導向套911的上端與轉盤安裝孔903相穿配，導向套911的中間開設有中間安裝槽912，中間安裝槽912的上端口處套配有轉盤913；
46.透氣孔303的上端口處固定安裝有電機安裝座，且在電機安裝座上固定安裝有勻膠旋轉電機908，勻膠旋轉電機908的主軸貫穿中間安裝槽912與轉盤913的下端相固定連接，勻膠旋轉電機908的左右兩側并且在下撐板302的上端面上固定安裝有電機驅動器909
與電源910，此處，電源910為勻膠旋轉電機908與電機驅動器909提供電源支持，而電機驅動器909則可以控制電源910的旋轉方向，旋轉速度與通斷，工作時，勻膠旋轉電機908帶動導向套911與轉盤913一同旋轉動作，對吸附在轉盤913上端的工件進行旋涂作業。
47.進一步的，冷卻組件4包括半導體制冷片401，且在半導體制冷片401的內側面上固定設有定位安裝板402，定位安裝板402與制冷定位槽906相嵌配，左右吹風組件6包括固定安裝在冷卻進風口105內的進風機安裝板601，且在進風機安裝板601的壁體上固定安裝有風扇ii 602，上箱體101前后兩端的冷卻出風口104內固定安裝有前后吹風風扇5，工作時，啟動半導體制冷片401對主體座901進行冷卻，通過進風機安裝板601將外部空氣吹向半導體制冷片401，通過半導體制冷片401將吹進的空氣冷卻后流通到整機內的其他各處，冷卻后的空氣在整機流動過程中經過熱交換后通過前后吹風風扇5排放到整機外部，實現了對主體座901及其周圍的冷卻，進而可以調控主體座901相關聯的低溫工作腔902與磁力攪拌槽904內的溫度，實現對旋涂工作環境內溫度的調控與磁力攪拌瓶804內溶液溫度的調控。
48.進一步的，磁力攪拌組件8包括固定安裝在磁力攪拌驅動槽905下端的磁力攪拌底座801，且在磁力攪拌底座801的中間固定安裝有磁力攪拌器802，磁力攪拌器802的側面并且在磁力攪拌驅動槽905槽體的側面固定插配有溫度傳感器803，磁力攪拌槽904的槽體內設有與磁力攪拌器802位置相對應的磁力攪拌瓶804，工作時，磁力攪拌器802驅動磁力攪拌瓶804旋轉，對磁力攪拌瓶804內的溶液進行攪拌，通過溫度傳感器803實時的監測主體座901的整體溫度，進而間接監測低溫工作腔902與磁力攪拌槽904內的溫度。
49.工作原理：工作時，啟動磁力攪拌器802控制磁力攪拌瓶804旋轉對磁力攪拌瓶804內的溶液進行攪拌，同時根據溫度傳感器803向觸控面板309反饋的溫度數據，通過觸控面板309調控半導體制冷片401的制冷強度，調控前后吹風風扇5與風扇ii 602的轉速，進而可以調控低溫工作腔902與磁力攪拌槽904內的溫度，達到調控低溫工作腔902內旋涂環境溫度與磁力攪拌瓶804內溶液溫度的目的，將磁力攪拌瓶804與低溫工作腔902的溫度控制到指定的溫度范圍內后，將磁力攪拌瓶804內的溶液取出進行常規勻膠機的勻膠操作即可，這樣通過準確降低溶液的溫度和降低旋涂環境的溫度改變溶液的流體性質，控制溶液結晶、溶劑揮發的速率來達到提升成膜質量和效果。
50.盡管已經示出和描述了本發明的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本發明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發明的范圍由所附權利要求及其等同物限定。
技術特征：
1.一種旋涂可控的低溫型勻膠機,其特征在于：包括箱體防護機構、冷卻機構與主體機構，所述箱體防護機構包括下箱體組件(3)、下箱體組件(3)上端所設的上箱體組件(1)與上箱體組件(1)下端所設的箱蓋組件(2)，所述主體機構包括勻膠主體組件(9)與勻膠主體組件(9)側面所設的磁力攪拌組件(8)，所述冷卻機構包括勻膠主體組件(9)左右兩側所設的冷卻組件(4)、上箱體組件(1)左右兩側所設的左右吹風組件(6)與上箱體組件(1)前后兩端所設的前后吹風風扇(5)。2.根據權利要求1所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述上箱體組件(1)包括上箱體(101)，且在上箱體(101)上端面的中間開設有投料孔(102)，所述投料孔(102)的側面開設有磁力攪拌瓶放置口(103)，所述上箱體(101)的前后兩端對稱開設有冷卻出風口(104)，且在上箱體(101)的左右兩端對稱開設有冷卻進風口(105)；所述箱蓋組件(2)包括上蓋板(201)，且在上蓋板(201)的下端固定安裝有與投料孔(102)上端口一側固定相連的鉸鏈(202)。3.根據權利要求2所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述下箱體組件(3)包括上箱體(101)下端所設的上撐板(301)與下撐板(302)，所述上箱體(101)固定安裝在上撐板(301)的上端，所述下撐板(302)的中間開設有透氣孔(303)，所述上撐板(301)的下撐板(302)的左右兩側分別固定安裝有左撐板(304)與右撐板(305)，所述右撐板(305)的側面固定安裝有緊急制動按鈕(306)，所述上撐板(301)與下撐板(302)的后端固定安裝有后撐板(310)，且在后撐板(310)的壁體上開設有外接插槽(311)。4.根據權利要求3所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述上撐板(301)與下撐板(302)的前端固定安裝有前撐板(307)，且在前撐板(307)的中間開設有觸控面板安裝槽(308)，所述觸控面板安裝槽(308)內固定安裝有觸控面板(309)。5.根據權利要求3所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述上撐板(301)上端面的中間開設有導向套固定孔，所述上撐板(301)的上端并且在導向套固定孔的上端口處固定安裝有冷凝集水槽板(10)。6.根據權利要求5所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述勻膠主體組件(9)包括固定安裝在冷凝集水槽板(10)上端的主體座(901)，所述主體座(901)上端的中間開設有與投料孔(102)位置相對應的低溫工作腔(902)，所述低溫工作腔(902)的上端口處設有與投料孔(102)相插配的上定位套環(907)，所述低溫工作腔(902)的下端向主體座(901)的底部開設有轉盤安裝孔(903)；所述主體座(901)的左右兩側對稱開設有槽體結構的制冷定位槽(906)；所述低溫工作腔(902)的側面并且在主體座(901)的上端開設有與磁力攪拌瓶放置口(103)位置相對應的磁力攪拌槽(904)，所述磁力攪拌槽(904)的下端并且在主體座(901)的底部開設有磁力攪拌驅動槽(905)。7.根據權利要求6所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述主體座(901)的下端并且在上撐板(301)中間的導向套固定孔內固定安裝有導向套(911)，所述導向套(911)的上端與轉盤安裝孔(903)相穿配，所述導向套(911)的中間開設有中間安裝槽(912)，所述中間安裝槽(912)的上端口處套配有轉盤(913)；所述透氣孔(303)的上端口處固定安裝有電機安裝座，且在電機安裝座上固定安裝有勻膠旋轉電機(908)，所述勻膠旋轉電機(908)的主軸貫穿中間安裝槽(912)與轉盤(913)的
下端相固定連接，所述勻膠旋轉電機(908)的左右兩側并且在下撐板(302)的上端面上固定安裝有電機驅動器(909)與電源(910)。8.根據權利要求6所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述冷卻組件(4)包括半導體制冷片(401)，且在半導體制冷片(401)的內側面上固定設有定位安裝板(402)，所述定位安裝板(402)與制冷定位槽(906)相嵌配，所述左右吹風組件(6)包括固定安裝在冷卻進風口(105)內的進風機安裝板(601)，且在進風機安裝板(601)的壁體上固定安裝有風扇ii(602)，所述上箱體(101)前后兩端的冷卻出風口(104)內固定安裝有前后吹風風扇(5)。9.根據權利要求6所述的一種旋涂可控的低溫型勻膠機，其特征在于：所述磁力攪拌組件(8)包括固定安裝在磁力攪拌驅動槽(905)下端的磁力攪拌底座(801)，且在磁力攪拌底座(801)的中間固定安裝有磁力攪拌器(802)，所述磁力攪拌器(802)的側面并且在磁力攪拌驅動槽(905)槽體的側面固定插配有溫度傳感器(803)，所述磁力攪拌槽(904)的槽體內設有與磁力攪拌器(802)位置相對應的磁力攪拌瓶(804)。
技術總結
本發明涉及勻膠機技術領域，具體公開了一種旋涂可控的低溫型勻膠機,包括箱體防護機構、冷卻機構與主體機構，所述箱體防護機構包括下箱體組件、下上箱體組件與箱蓋組件，所述主體機構包括勻膠主體組件與磁力攪拌組件，所述冷卻機構包括冷卻組件、左右吹風組件與前后吹風風扇；本發明中，通過冷卻組件、前后吹風風扇與左右吹風組件協同作業準確降低溶液的溫度，改變旋涂溶液的流體性質，提升成膜效果；通過冷卻組件、前后吹風風扇與左右吹風組件的協同作業準確降低旋涂氛圍的溫度，控制溶液結晶、溶劑揮發的速率，提高成膜質量；旋涂腔體與治具為整體加工，優秀的導熱系數和熱容量保證了溫度低擾動性和實驗結果的重復性。了溫度低擾動性和實驗結果的重復性。
