本文作者:kaifamei

一種擴散爐門定位裝置的制作方法

更新時間:2025-12-26 03:50:14 0條評論

一種擴散爐門定位裝置的制作方法



1.本實用新型屬于太陽能電池制造機械技術領域,尤其是涉及一種擴散爐門定位裝置。


背景技術:



2.擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一,用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,在太陽能電池的制造過程中,需要將硅片放置于高溫擴散爐中,在高溫下擴散并在硅片表面形成pn結。
3.其中在使用擴散爐的過程中,需要調節擴散爐門的位置或更換擴散爐門,在現有技術中,只能通過人工來進行換門或調節爐門的位置,不僅浪費人力,還可能會造成爐門和石英爐管的撞擊,導致爐門或者爐管損壞,增加生產成本,并且爐內溫度較高,對工作人員存在燙傷隱患。


技術實現要素:



4.本實用新型要解決的問題是提供一種擴散爐門定位裝置,有效的解決在現有技術中,只能通過人工來進行換門或調節爐門的位置,不僅浪費人力,還可能會造成爐門和石英爐管的撞擊,導致爐門或者爐管損壞,增加生產成本,并且爐內溫度較高,對工作人員存在燙傷隱患的問題。
5.為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是:一種擴散爐門定位裝置,其特征在于,包括:
6.支撐座,在所述支撐座的一側通過第一連接件連接一可支撐爐門并與所述支撐座活動連接的爐門支撐架;
7.控制氣缸組件,設置在所述支撐座上遠離所述爐門支撐架的一端,并通過第二連接件與所述爐門支撐架連接,用于移動所述爐門支撐架。
8.較佳的,所述支撐座包括底座以及設置在所述底座上的承載臺;所述底座支撐所述承載臺,所述控制氣缸組件貫穿所述承載臺,并能夠相對所述承載臺伸縮移動。
9.較佳的,在所述承載臺上還設有一用于進入潤滑油的通道并在所述通道的頂部安裝一進油口,用以潤滑所述控制氣缸組件。
10.較佳的,所述底座靠近所述爐門支撐架的一端安裝所述第一連接件,并通過所述第一連接件連接所述爐門支撐架。
11.較佳的,所述控制氣缸組件包括爐門旋轉氣缸、氣缸伸縮桿以及氣缸伸縮加長桿,所述爐門旋轉氣缸的一端連接所述氣缸伸縮桿,所述氣缸伸縮桿的另一端連接所述氣缸伸縮加長桿,所述氣缸伸縮加長桿的另一端連接所述第二連接件,并通過所述第二連接件連接所述爐門支撐架。
12.較佳的,所述爐門旋轉氣缸帶動所述氣缸伸縮桿移動,所述氣缸伸縮桿帶動所述
氣缸伸縮加長桿移動,進而帶動所述爐門支撐架移動,調整所述爐門的位置。
13.較佳的,在所述氣缸伸縮加長桿上標注有刻度。
14.采用上述技術方案,使用機械替代人工來進行調節或者更換爐門的工作,能夠節省人力,同時解除對工作人員的安全隱患,還能夠減少人為影響因素,使得爐門更精確的進行位置調整。
15.采用上述技術方案,使用爐門旋轉氣缸帶動氣缸伸縮桿,進而帶動氣缸伸縮加長桿,最終帶動爐門支撐架進行左右移動,并且在氣缸伸縮加長桿上標注有刻度,能夠實時監測伸縮桿的移動距離,進而判定爐門的移動位置。
附圖說明
16.圖1是本實用新型實施例一種擴散爐門定位裝置結構示意圖
17.圖中:
18.1、底座
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2、承載臺
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3、爐門旋轉氣缸
19.4、氣缸伸縮桿
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5、氣缸伸縮加長桿
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6、第一連接件
20.7、第二連接件
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8、爐門支撐架
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9、進油口
具體實施方式
21.下面結合實施例和附圖對本實用新型作進一步說明:
22.在本實用新型實施例的描述中,需要理解的是,術語“頂部”、“底部”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系,僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規定和限定,術語“設置”、“連接”應做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言,可以通過具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。
23.如圖1一種擴散爐門定位裝置結構示意圖所示,一種擴散爐門定位裝置,包括:
24.支撐座,在支撐座的一側通過第一連接件6連接一可支撐爐門并與支撐座活動連接的爐門支撐架8;支撐座包括底座1和承載臺2,爐門支撐架8整體呈“廠”字型,底部的一端與底座1靠近爐門支撐架8的一端通過第一連接件6連接,第一連接件6能夠隨爐門支撐架8旋轉,第一連接件6為爐門支撐架8的旋轉支撐點,只旋轉,不位移,即爐門支撐架8的底端只相對底座1的一端旋轉,不進行位移;
25.控制氣缸組件,設置在支撐座上遠離爐門支撐架8的一端,并通過第二連接件7與爐門支撐架8連接,用于移動爐門支撐架8。
26.具體的,支撐座包括底座1以及設置在底座1上的承載臺2;底座1的形狀可為矩形、圓形等其他形狀,其大小能夠承載其他部件即可;承載臺2的形狀可為矩形、圓柱形等其它形狀,其高度高于氣缸伸縮加長桿5所處的高度,并且在與氣缸伸縮加長桿5平行的位置開設有一通孔(未畫出),供氣缸伸縮加長桿5穿過,通孔大小與氣缸伸縮加長桿5的橫截面積一致或略大于氣缸伸縮加長桿5的橫截面積,使得氣缸伸縮加長桿5能夠前后伸縮移動即
可,氣缸伸縮加長桿5通過通孔貫穿承載臺2,并能夠相對承載臺2伸縮移動。
27.一些可行的實施例中,在承載臺2上還設有一用于進入潤滑油的通道,通道的一端與外界接觸,另一端貫通至通孔處,并能夠將潤滑油運送至通孔中,在通道與外界接觸的一側,即通道的頂部安裝一進油口9,潤滑油通過進油口進入通道中,再通過通道運送至通孔中,用以潤滑氣缸伸縮加長桿5與通孔之間的接觸位置,保證氣缸伸縮加長桿5能夠正常進行前后移動。
28.控制氣缸組件包括爐門旋轉氣缸3、氣缸伸縮桿4以及氣缸伸縮加長桿5,爐門旋轉氣缸3的一端連接氣缸伸縮桿4,氣缸伸縮桿4的另一端連接氣缸伸縮加長桿5,氣缸伸縮加長桿5的另一端連接第二連接件7,并通過第二連接件7連接爐門支撐架8,具體的,
29.氣缸伸縮加長桿5穿過承載臺2上的通道,承載臺2為控制氣缸組件的支撐點,用于支撐氣缸伸縮桿4和氣缸伸縮加長桿5,防止由于氣缸伸縮加長桿5過長而容易造成斷裂或形變的問題出現,給予一定的支撐;
30.爐門旋轉氣缸3帶動氣缸伸縮桿4移動,氣缸伸縮桿4帶動氣缸伸縮加長桿5移動,氣缸伸縮加長桿5與第二連接件7連接,進而帶動爐門支撐架移動,調整爐門的位置。第二連接件7安裝在爐門支撐架8上,并能夠相對爐門支撐架8自轉,與第一連接件6大致相同,不同點為第二連接件7隨爐門支撐架8的移動而移動,第一連接件6則不移動。
31.一些可行的實施例中,在氣缸伸縮加長桿5上標注有刻度,能夠實時監測氣缸伸縮加長桿5的伸縮長度,進而判斷爐門支撐架8帶動爐門的移動距離。
32.以上對本實用新型的實施例進行了詳細說明,但所述內容僅為本實用新型的較佳實施例,不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進等,均應仍歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍之內。

技術特征:


1.一種擴散爐門定位裝置,其特征在于,包括:支撐座,在所述支撐座的一側通過第一連接件連接一可支撐爐門并與所述支撐座活動連接的爐門支撐架;控制氣缸組件,設置在所述支撐座上遠離所述爐門支撐架的一端,并通過第二連接件與所述爐門支撐架連接,用于移動所述爐門支撐架。2.根據權利要求1所述的一種擴散爐門定位裝置,其特征在于:所述支撐座包括底座以及設置在所述底座上的承載臺;所述底座支撐所述承載臺,所述控制氣缸組件貫穿所述承載臺,并能夠相對所述承載臺伸縮移動。3.根據權利要求2所述的一種擴散爐門定位裝置,其特征在于:在所述承載臺上還設有一用于進入潤滑油的通道并在所述通道的頂部安裝一進油口,用以潤滑所述控制氣缸組件。4.根據權利要求2或3所述的一種擴散爐門定位裝置,其特征在于:所述底座靠近所述爐門支撐架的一端安裝所述第一連接件,并通過所述第一連接件連接所述爐門支撐架。5.根據權利要求1所述的一種擴散爐門定位裝置,其特征在于:所述控制氣缸組件包括爐門旋轉氣缸、氣缸伸縮桿以及氣缸伸縮加長桿,所述爐門旋轉氣缸的一端連接所述氣缸伸縮桿,所述氣缸伸縮桿的另一端連接所述氣缸伸縮加長桿,所述氣缸伸縮加長桿的另一端連接所述第二連接件,并通過所述第二連接件連接所述爐門支撐架。6.根據權利要求5所述的一種擴散爐門定位裝置,其特征在于:所述爐門旋轉氣缸帶動所述氣缸伸縮桿移動,所述氣缸伸縮桿帶動所述氣缸伸縮加長桿移動,進而帶動所述爐門支撐架移動,調整所述爐門的位置。7.根據權利要求5或6所述的一種擴散爐門定位裝置,其特征在于:在所述氣缸伸縮加長桿上標注有刻度。

技術總結


本實用新型提供一種擴散爐門定位裝置,包括:支撐座,在所述支撐座的一側通過第一連接件連接一可支撐爐門并與所述支撐座活動連接的爐門支撐架;控制氣缸組件,設置在所述支撐座上遠離所述爐門支撐架的一端,并通過第二連接件與所述爐門支撐架連接,用于移動所述爐門支撐架。本實用新型的有益效果是使用爐門旋轉氣缸帶動氣缸伸縮桿,進而帶動氣缸伸縮加長桿,最終帶動爐門支撐架進行左右移動,并且在氣缸伸縮加長桿上標注有刻度,能夠實時監測伸縮桿的移動距離,進而判定爐門的移動位置。進而判定爐門的移動位置。進而判定爐門的移動位置。


技術研發人員:

任亞寅 仇慧生 馬擎天

受保護的技術使用者:

環晟光伏(江蘇)有限公司

技術研發日:

2022.07.05

技術公布日:

2022/12/1


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本文鏈接:http://m.newhan.cn/zhuanli/patent-1-42183-0.html

來源:專利查詢檢索下載-實用文體寫作網版權所有,轉載請保留出處。本站文章發布于 2022-12-16 14:10:12

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