一種遠(yuǎn)心平場鏡頭及激光加工設(shè)備的制作方法
1.本發(fā)明涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種遠(yuǎn)心平場鏡頭及激光加工設(shè)備。
背景技術(shù)：
2.隨著激光器功率越來越大，振鏡頭不再只應(yīng)用于打標(biāo)和焊接，越來越多的企業(yè)開始使用振鏡頭+平場鏡頭的方式進(jìn)行薄板的切割。
3.但傳統(tǒng)場鏡的遠(yuǎn)心度較差(最大視場遠(yuǎn)心度在12
°
以上)，在切割后板材邊角會(huì)產(chǎn)生一定的坡度，需要后續(xù)加工才能滿足應(yīng)用，提高了加工成本。
4.
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
5.本發(fā)明提供了一種遠(yuǎn)心平場鏡頭及激光加工設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)較小的遠(yuǎn)心度。
6.根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種遠(yuǎn)心平場鏡頭，包括沿入射光線傳播方向設(shè)置的光闌、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡；
7.所述第一透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相同；
8.所述第二透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；
9.所述第三透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；
10.所述第四透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；
11.所述第五透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；
12.所述第六透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反。
13.可選的，所述光闌與所述第一透鏡在光軸上的間距為d1，其中，33mm ≤d1≤37mm。
14.可選的，所述第一透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r11，所述第一透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r12，所述第一透鏡在其光軸上的中心厚度為d2，其中，608mm≤r11≤673mm，153mm≤r12≤170mm，12mm≤d2≤14mm。
15.可選的，所述第二透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r21，所述第二透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r22，所述第二透鏡在其光軸上的中心厚度為d4，其中，-77mm≤r21≤-66mm，-107mm≤r22≤-96mm，11mm≤d4≤13mm。
16.可選的，所述第三透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r31，所述第三透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r32，所述第三透鏡在其光軸上的中心厚度為d6，其中，-239mm≤r31≤-215mm，-155mm≤r32≤-139mm，28mm≤d6≤31mm。
17.可選的，所述第四透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r41，所述第四透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r42，所述第四透鏡在其光軸上的中心厚度為d8，其中，-315mm≤r41≤-284mm，-192mm≤r42≤-173mm，28mm≤d8≤32mm。
18.可選的，所述第五透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r51，所述第五透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r52，所述第五透鏡在其光軸上的中心厚度為d10，其中，-473mm≤r51≤-427mm，-247mm≤r52≤-222mm，29mm≤d10≤31mm。
19.可選的，所述第六透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r61，所述第六透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r62，所述第六透鏡在其光軸上的中心厚度為d12，其中，-375mm≤r61≤-338mm，-231mm≤r62≤-208mm，29mm≤d12≤31mm。
20.可選的，所述第一透鏡與所述第二透鏡在光軸上的間距為d3，所述第二透鏡與所述第三透鏡在光軸上的間距為d5，所述第三透鏡與所述第四透鏡在光軸上的間距為d7，所述第四透鏡與所述第五透鏡在光軸上的間距為 d9，所述第五透鏡與所述第六透鏡在光軸上的間距為d11，所述第六透鏡與聚焦像面在光軸上的間距為d13,其中，78mm≤d3≤87mm，13mm≤d5≤ 16mm，1mm≤d7≤3mm，1mm≤d9≤3mm，1mm≤d11≤3mm，698mm≤d13≤772mm。
21.根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種激光加工設(shè)備，包括第一方面所述的任一遠(yuǎn)心平場鏡頭。
22.本發(fā)明實(shí)施例的遠(yuǎn)心平場鏡頭及激光加工設(shè)備，采用6枚透鏡，并通過設(shè)置6枚透鏡均為彎月透鏡，且合理設(shè)置各個(gè)透鏡的彎月方向，可實(shí)現(xiàn)最大視場遠(yuǎn)心度在6
°
以內(nèi)，從而獲得較小的遠(yuǎn)心度。遠(yuǎn)心平場鏡頭在激光加工設(shè)備中搭配振鏡頭使用時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)對薄板的切割，并能夠獲得良好的切割效果，不需要再進(jìn)行后續(xù)加工，從而可降低加工成本。
23.應(yīng)當(dāng)理解，本部分所描述的內(nèi)容并非旨在標(biāo)識(shí)本發(fā)明的實(shí)施例的關(guān)鍵或重要特征，也不用于限制本發(fā)明的范圍。本發(fā)明的其它特征將通過以下的說明書而變得容易理解。
附圖說明
24.為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
25.圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
26.圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的光路結(jié)構(gòu)示意圖；
27.圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的點(diǎn)列圖；
28.圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的場曲畸變圖。
具體實(shí)施方式
29.為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
30.需要說明的是，本發(fā)明的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本發(fā)明的實(shí)施例能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序?qū)嵤４送猓g(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品
或設(shè)備固有的其它步驟或單元。
31.圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1 所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭包括沿入射光線傳播方向設(shè)置的光闌l0、第一透鏡l1、第二透鏡l2、第三透鏡l3、第四透鏡l4、第五透鏡l5和第六透鏡l6，第一透鏡l1為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相同，第二透鏡l2為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第三透鏡l3為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第四透鏡l4為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第五透鏡l5為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第六透鏡l6為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反。
32.具體的，在本實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭包括6枚透鏡，通過設(shè)置6 枚透鏡均為彎月透鏡，且合理設(shè)置各個(gè)透鏡的彎月方向，可實(shí)現(xiàn)最大視場遠(yuǎn)心度在6
°
以內(nèi)，從而獲得較小的遠(yuǎn)心度。在激光加工設(shè)備中搭配振鏡頭使用時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)對薄板的切割，并能夠獲得良好的切割效果，不需要再進(jìn)行后續(xù)加工，從而可降低加工成本。
33.其中，彎月方向與入射光線的傳播方向相同，是指透鏡的物側(cè)面(球面)和像側(cè)面(球面)的球心均位于透鏡的像側(cè)；彎月方向與入射光線的傳播方向相反，是指透鏡的物側(cè)面(球面)和像側(cè)面(球面)的球心均位于透鏡的物側(cè)，物側(cè)面是指透鏡背離聚焦像面一側(cè)的表面，像側(cè)面是指透鏡朝向聚焦像面一側(cè)的表面。
34.同時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭，焦距可以為460mm，在激光加工設(shè)備中搭配振鏡頭使用時(shí)，可以達(dá)到230mm*230mm切割范圍，入射波長可以為1064nm，但并不局限于此。
35.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，光闌l0與第一透鏡l1在光軸上的間距為d1，其中，33mm≤d1≤37mm。
36.具體的，光闌l0可以調(diào)節(jié)光束的傳播方向，在本實(shí)施例中，通過合理設(shè)置光闌l0與第一透鏡l1在光軸上的間距d1，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度。
37.此外，光闌l0的光闌孔徑大小可以設(shè)置為24mm，以使入瞳直徑為24mm，從而可以與各種類型的振鏡頭搭配使用，滿足激光加工設(shè)備的需求。
38.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第一透鏡l1的物側(cè)面s1的曲率半徑為r11，第一透鏡l1的像側(cè)面s2的曲率半徑為r12，第一透鏡 l1在其光軸上的中心厚度為d2，其中，608mm≤r11≤673mm，153mm≤r12 ≤170mm，12mm≤d2≤14mm。
39.其中，通過合理設(shè)置第一透鏡l1的物側(cè)面s1和像側(cè)面s2的曲率半徑，以及第一透鏡l1在其光軸上的中心厚度d2，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，可使第一透鏡l1厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
40.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第二透鏡l2的物側(cè)面s3的曲率半徑為r21，第二透鏡l2的像側(cè)面s4的曲率半徑為r22，第二透鏡 l2在其光軸上的中心厚度為d4，其中，-77mm≤r21≤-66mm，-107mm≤r22 ≤-96mm，11mm≤d4≤13mm。
41.其中，通過合理設(shè)置第二透鏡l2的物側(cè)面s3和像側(cè)面s4的曲率半徑，以及第二透鏡l2在其光軸上的中心厚度d4，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，可使第二透鏡l2厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
42.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第三透鏡l3的物側(cè)面s5的曲率半徑為r31，
第三透鏡l3的像側(cè)面s6的曲率半徑為r32，第三透鏡 l3在其光軸上的中心厚度為d6，其中，-239mm≤r31≤-215mm，-155mm≤ r32≤-139mm，28mm≤d6≤31mm。
43.其中，通過合理設(shè)置第三透鏡l3的物側(cè)面s5和像側(cè)面s6的曲率半徑，以及第三透鏡l3在其光軸上的中心厚度d6，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，可使第三透鏡l3厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
44.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第四透鏡l4的物側(cè)面s7的曲率半徑為r41，第四透鏡l4的像側(cè)面s8的曲率半徑為r42，第四透鏡 l4在其光軸上的中心厚度為d8，其中，-315mm≤r41≤-284mm，-192mm≤ r42≤-173mm，28mm≤d8≤32mm。
45.其中，通過合理設(shè)置第四透鏡l4的物側(cè)面s7和像側(cè)面s8的曲率半徑，以及第四透鏡l4在其光軸上的中心厚度d8，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，可使第四透鏡l4厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
46.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第五透鏡l5的物側(cè)面s9的曲率半徑為r51，第五透鏡l5的像側(cè)面s10的曲率半徑為r52，第五透鏡 l5在其光軸上的中心厚度為d10，其中，-473mm≤r51≤-427mm，-247mm ≤r52≤-222mm，29mm≤d10≤31mm。
47.其中，通過合理設(shè)置第五透鏡l5的物側(cè)面s9和像側(cè)面s10的曲率半徑，以及第五透鏡l5在其光軸上的中心厚度d10，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，可使第五透鏡l5厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
48.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第六透鏡l6的物側(cè)面s11 的曲率半徑為r61，第六透鏡l6的像側(cè)面s12的曲率半徑為r62，第六透鏡l6在其光軸上的中心厚度為d12，其中，-375mm≤r61≤-338mm，-231mm ≤r62≤-208mm，29mm≤d12≤31mm。
49.其中，通過合理設(shè)置第六透鏡l6的物側(cè)面s11和像側(cè)面s12的曲率半徑，以及第六透鏡l6在其光軸上的中心厚度d12，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，可使第六透鏡l6厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
50.作為一種可行的實(shí)施方式，如圖1所示，第一透鏡l1與第二透鏡l2 在光軸上的間距為d3，第二透鏡l2與第三透鏡l3在光軸上的間距為d5，第三透鏡l3與第四透鏡l4在光軸上的間距為d7，第四透鏡l4與第五透鏡l5在光軸上的間距為d9，第五透鏡l5與第六透鏡l6在光軸上的間距為d11，第六透鏡l6與聚焦像面在光軸上的間距為d13,其中，78mm≤d3 ≤87mm，13mm≤d5≤16mm，1mm≤d7≤3mm，1mm≤d9≤3mm，1mm≤d11≤3mm， 698mm≤d13≤772mm。
51.其中，通過合理設(shè)置相鄰?fù)哥R在光軸上的間距，有助于進(jìn)一步降低最大視場遠(yuǎn)心度，同時(shí)，還可使6枚透鏡厚薄均勻，從而易于加工，方便組裝。
52.示例性的，以下以一種可行的實(shí)施方式，詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭中各個(gè)透鏡的具體光學(xué)物理參數(shù)。
53.具體的，如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭包括沿入射光線傳播方向設(shè)置的光闌l0、第一透鏡l1、第二透鏡l2、第三透鏡l3、第四透鏡l4、第五透鏡l5和第六透鏡l6，第一透鏡l1為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相同，第二透鏡l2為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第三透鏡l3為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第四透鏡l4為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第五透鏡l5為彎月透鏡，其彎月方向與入射光線的傳播方向相反，第六透鏡l6為彎月透鏡，其彎
月方向與入射光線的傳播方向相反。
54.其中，光闌l0的光闌孔徑大小為24mm，光闌l0與第一透鏡l1在光軸上的間距d1為35mm。
55.第一透鏡l1的物側(cè)面的曲率半徑r11為640.017mm，第一透鏡l1的像側(cè)面s2的曲率半徑r12為161.355mm，第一透鏡l1在其光軸上的中心厚度d2為12.84mm。
56.第二透鏡l2的物側(cè)面s3的曲率半徑r21為-69.771mm，第二透鏡l2 的像側(cè)面s4的曲率半徑r22為-101.128mm，第二透鏡l2在其光軸上的中心厚度d4為12.04mm。
57.第三透鏡l3的物側(cè)面s5的曲率半徑r31為-226.758mm，第三透鏡l3 的像側(cè)面s6的曲率半徑r32為-146.667mm，第三透鏡l3在其光軸上的中心厚度d6為29.48mm。
58.第四透鏡l4的物側(cè)面s7的曲率半徑r41為-299.878mm，第四透鏡l4 的像側(cè)面s8的曲率半徑r42為-182.091mm，第四透鏡l4在其光軸上的中心厚度d8為29.99mm。
59.第五透鏡l5的物側(cè)面s9的曲率半徑r51為-449.730mm，第五透鏡l5 的像側(cè)面s10的曲率半徑r5為-234.685mm，第五透鏡l5在其光軸上的中心厚度d10為30.00mm。
60.第六透鏡l6的物側(cè)面s11的曲率半徑r61為-356.212mm，第六透鏡 l6的像側(cè)面s12的曲率半徑r62為-219.551mm，第六透鏡l6在其光軸上的中心厚度d12為30.00mm。
61.第一透鏡l1與第二透鏡l2在光軸上的間距d3為82.37mm，第二透鏡l2與第三透鏡l3在光軸上的間距d5為14.29mm，第三透鏡l3與第四透鏡l4在光軸上的間距d7為2.00mm，第四透鏡l4與第五透鏡l5在光軸上的間距d9為2.00mm，第五透鏡l5與第六透鏡l6在光軸上的間距d11為 2.00mm，第六透鏡l6與聚焦像面在光軸上的間距d13為734.81mm。
62.通過本實(shí)施例中各透鏡的組合，所得到的遠(yuǎn)心平場鏡頭焦距為460mm，該遠(yuǎn)心平場鏡頭在入射光為1064nm的紅外光波時(shí)，入瞳直徑(最大光斑入射直徑)為24mm，得出的掃描范圍可以是230mm*230mm，遠(yuǎn)心度≤6
°
，具有較小的遠(yuǎn)心度。該遠(yuǎn)心平場鏡頭在激光加工設(shè)備中搭配振鏡頭使用時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)對薄板的切割，并能夠獲得良好的切割效果，不需要再進(jìn)行后續(xù)加工，從而可降低加工成本。同時(shí)，各透鏡厚薄均勻，易于加工，方便組裝。
63.需要說明的是，上述各透鏡面的曲率半徑、間隔以及材料參數(shù)的修正范圍為
±
5％。
64.進(jìn)一步地，圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的光路結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，該遠(yuǎn)心平場鏡頭的最大視場角可達(dá)到21
°
，可以具備較大的掃描范圍，且在最大視場角時(shí)，光線遠(yuǎn)心度小于6
°
，使得該遠(yuǎn)心平場鏡頭在激光加工設(shè)備中搭配振鏡頭使用時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)對薄板的切割，并能夠獲得良好的切割效果，不需要再進(jìn)行后續(xù)加工，從而可降低加工成本。
65.圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的點(diǎn)列圖，其中，點(diǎn)列圖是現(xiàn)代光學(xué)設(shè)計(jì)中最常用的評(píng)價(jià)方法之一。點(diǎn)列圖是指由一點(diǎn)光源發(fā)出的許多光線經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)后，因像差使其與像面的交點(diǎn)不再集中于同一點(diǎn)，而形成了一個(gè)散布在一定范圍的彌散斑圖形，彌散斑的形狀及尺寸反映了該鏡頭對應(yīng)于成像后的像差。如圖3所示，光線在該遠(yuǎn)心平場鏡頭的各視場位置處的均方根半徑值(rms半徑)分別為4.031μm、13.261μm、24.582 μm和42.039μm，表明其最大rms(均方根)彌散斑半徑為42.039，也即說明了激光在該遠(yuǎn)心平場鏡頭聚焦后光束質(zhì)量影響較小，具有較低的差和像差，可以適用于各種激光加工場合。
66.圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種遠(yuǎn)心平場鏡頭的場曲畸變圖，如圖4 所示，左側(cè)坐
標(biāo)系中，水平坐標(biāo)表示場曲的大小，單位為mm；垂直坐標(biāo)表示歸一化像高，沒有單位；其中t表示子午，s表示弧失；場曲反映激光加工聚焦面在不同視場下彎曲的的程度，由圖4可以看出，本發(fā)明實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭在1.0視場時(shí)最大場曲小于1.94mm，在場曲上被有效地控制，即在成像時(shí)，中心的像質(zhì)和周邊的像質(zhì)差距較小，從而可以達(dá)到良好的激光加工效果。
67.繼續(xù)參考圖4，右側(cè)坐標(biāo)系中，水平坐標(biāo)表示畸變的大小，單位為％；垂直坐標(biāo)表示歸一化像高，沒有單位；其中，遠(yuǎn)心平場鏡頭若要達(dá)到良好的激光加工效果，需控制f-θ畸變，由圖4可以看出，本實(shí)施例提供的遠(yuǎn)心平場鏡頭最大f-θ畸變＜0.4％，畸變得到了較好地矯正，成像畸變較小，可以達(dá)到良好的激光加工效果。
68.基于同樣的發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種激光加工設(shè)備，該激光加工設(shè)備包括本發(fā)明任意實(shí)施例所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，因此，本發(fā)明實(shí)施例提供的激光加工設(shè)備具有上述任一實(shí)施例中的技術(shù)方案所具有的技術(shù)效果，與上述實(shí)施例相同或相應(yīng)的結(jié)構(gòu)以及術(shù)語的解釋在此不再贅述。
69.具體的，遠(yuǎn)心平場鏡頭搭配激光加工設(shè)備中的振鏡頭使用，在入射光為1064nm的紅外光波時(shí)，入瞳直徑(最大光斑入射直徑)為24mm，最大打標(biāo)/焊接/切割范圍達(dá)到230mm*230mm，遠(yuǎn)心度≤6
°
，具有較小的遠(yuǎn)心度。該遠(yuǎn)心平場鏡頭在激光加工設(shè)備中搭配振鏡頭使用時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)對薄板的切割，并能夠獲得良好的切割效果，不需要再進(jìn)行后續(xù)加工，從而可降低加工成本。
70.上述具體實(shí)施方式，并不構(gòu)成對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白的是，根據(jù)設(shè)計(jì)要求和其他因素，可以進(jìn)行各種修改、組合、子組合和替代。任何在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明保護(hù)范圍之內(nèi)。
技術(shù)特征：
1.一種遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，包括沿入射光線傳播方向設(shè)置的光闌、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡；所述第一透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相同；所述第二透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；所述第三透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；所述第四透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；所述第五透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反；所述第六透鏡為彎月透鏡，其彎月方向與所述入射光線的傳播方向相反。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述光闌與所述第一透鏡在光軸上的間距為d1，其中，33mm≤d1≤37mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第一透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r11，所述第一透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r12，所述第一透鏡在其光軸上的中心厚度為d2，其中，608mm≤r11≤673mm，153mm≤r12≤170mm，12mm≤d2≤14mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第二透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r21，所述第二透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r22，所述第二透鏡在其光軸上的中心厚度為d4，其中，-77mm≤r21≤-66mm，-107mm≤r22≤-96mm，11mm≤d4≤13mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第三透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r31，所述第三透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r32，所述第三透鏡在其光軸上的中心厚度為d6，其中，-239mm≤r31≤-215mm，-155mm≤r32≤-139mm，28mm≤d6≤31mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第四透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r41，所述第四透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r42，所述第四透鏡在其光軸上的中心厚度為d8，其中，-315mm≤r41≤-284mm，-192mm≤r42≤-173mm，28mm≤d8≤32mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第五透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r51，所述第五透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r52，所述第五透鏡在其光軸上的中心厚度為d10，其中，-473mm≤r51≤-427mm，-247mm≤r52≤-222mm，29mm≤d10≤31mm。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第六透鏡的物側(cè)面的曲率半徑為r61，所述第六透鏡的像側(cè)面的曲率半徑為r62，所述第六透鏡在其光軸上的中心厚度為d12，其中，-375mm≤r61≤-338mm，-231mm≤r62≤-208mm，29mm≤d12≤31mm。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭，其特征在于，所述第一透鏡與所述第二透鏡在光軸上的間距為d3，所述第二透鏡與所述第三透鏡在光軸上的間距為d5，所述第三透鏡與所述第四透鏡在光軸上的間距為d7，所述第四透鏡與所述第五透鏡在光軸上的間距為d9，所述第五透鏡與所述第六透鏡在光軸上的間距為d11，所述第六透鏡與聚焦像面在光軸上的間距為d13,其中，78mm≤d3≤87mm，13mm≤d5≤16mm，
1mm≤d7≤3mm，1mm≤d9≤3mm，1mm≤d11≤3mm，698mm≤d13≤772mm。10.一種激光加工設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的遠(yuǎn)心平場鏡頭。
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種遠(yuǎn)心平場鏡頭及激光加工設(shè)備。其中，遠(yuǎn)心平場鏡頭包括沿入射光線傳播方向設(shè)置的光闌、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡，第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡均為彎月透鏡，且第一透鏡的彎月方向與入射光線的傳播方向相同，第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡的彎月方向與入射光線的傳播方向相反。本發(fā)明實(shí)施例的遠(yuǎn)心平場鏡頭及激光加工設(shè)備，通過設(shè)置6枚透鏡均為彎月透鏡，且合理設(shè)置各個(gè)透鏡的彎月方向，可實(shí)現(xiàn)6
