一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材的制作方法
1.本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材，尤其涉及一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材。
背景技術(shù)：
2.磁控濺射鍍膜是目前鍍膜行業(yè)應(yīng)用廣泛的鍍膜沉積工藝，濺射鍍膜的原理是在真空條件下通過電子用氬離子對(duì)靶材表面進(jìn)行轟擊，靶材表面材料以分子、原子、離子或電子等形式被濺射出來，飛濺到基板上沉積成膜。而隨著表面鍍膜技術(shù)的不斷發(fā)展，濺射靶材這一具有高附加值的功能材料的需求量也逐年增多，因此需要不斷提高濺射靶材的利用效率以及利用的便利程度。
3.為了提高靶材的利用率，人們?cè)絹碓蕉嗟刂圃旌褪褂霉軤畎胁?簡稱管靶)，即把靶材做成管子形狀，管子里面裝有靜止不動(dòng)的磁體。濺射過程中，管靶以一定的速度轉(zhuǎn)動(dòng)，所以也被稱為旋轉(zhuǎn)靶材(rotating target/rotary target)。由于轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)靶材和靜止不動(dòng)的磁體之間發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使得整個(gè)旋轉(zhuǎn)靶材表面均勻地發(fā)生濺射，靶材材料的利用率可以高達(dá)70％以上。與平面靶材相比，旋轉(zhuǎn)靶材具有利用率高、鍍膜連續(xù)性好、鍍膜成分均勻等優(yōu)點(diǎn)，是理想的濺射靶材，被廣泛應(yīng)用在電子、軍用、裝飾、功能薄膜等領(lǐng)域，市場需求量巨大。隨著鍍膜行業(yè)從使用平面靶材向使用旋轉(zhuǎn)靶材轉(zhuǎn)變，旋轉(zhuǎn)靶材正在成為磁控濺射設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)選材。
4.旋轉(zhuǎn)靶材通常由一個(gè)內(nèi)管和一個(gè)外管組成，外管也叫靶管，其材質(zhì)是濺射制備薄膜所需要的材質(zhì)，而內(nèi)管在靶管的背后起到支撐作用，所以也叫背管，通常選用材質(zhì)為不銹鋼或者其他硬質(zhì)金屬材質(zhì)的管材作為背管。目前，已知的旋轉(zhuǎn)靶材生產(chǎn)方法主要是將濺射材料綁定在背管外側(cè)壁上形成靶管，已知的綁定方法有熱噴涂法、釬焊法、澆鑄法和hip一體成型法。熱噴涂法就是直接將濺射材料涂覆到背管上，但是制備得到的旋轉(zhuǎn)靶材具有厚度不均勻、致密度低、氧含量高等缺點(diǎn)，只能用于玻璃等要求不高的鍍膜行業(yè)中，無法滿足高質(zhì)量鍍膜產(chǎn)品的要求；釬焊法就是用焊料將成型的靶管焊接到背管上形成焊接層，但是由于靶管和背管間的縫隙很小，焊料難以均勻地分布在縫隙中，很難實(shí)現(xiàn)靶管和背管之間的全面焊接，焊接結(jié)合度不高，難以實(shí)現(xiàn)長度大于1000mm旋轉(zhuǎn)靶材的綁定，生產(chǎn)成本高；澆鑄法就是直接把濺射材料澆鑄到背管上形成靶管，但是只能用于sn、zn等熔點(diǎn)較低的靶材材料，適用范圍有限；hip一體成型法基于熱等靜壓技術(shù)，通過粉末燒結(jié)靶坯實(shí)現(xiàn)與背管連接，制備得到的旋轉(zhuǎn)靶材具有成分均勻、無偏析、晶粒細(xì)小、純度高等優(yōu)點(diǎn)，能夠滿足液晶顯示和觸控屏行業(yè)的要求，成為現(xiàn)有技術(shù)中非常重要的一種綁定方法。例如cn104480437a公開了一種一體成型管靶的生產(chǎn)方法，該方法采用鉻粉為原料，在背管外表面電鍍一層鉻層，將鉻粉置于包套中，在真空條件下進(jìn)行hip燒結(jié)，從而達(dá)到鉻靶管與背管的冶金結(jié)合。cn106676484a公開了一種鉻管靶材的綁定方法，該方法采用鉻粉為原料，對(duì)背管先進(jìn)行預(yù)鍍鎳處理，再電鍍一層金屬涂層作為綁定層，從而減少鉻靶管與不銹鋼背管熱膨脹系數(shù)不匹配的問題，隨后利用hip一體成型法實(shí)現(xiàn)鉻靶管和不銹鋼背管的綁定。
5.目前，現(xiàn)有技術(shù)中旋轉(zhuǎn)靶材所采用的背管主要為平直型背管，即，背管的外表面呈現(xiàn)連續(xù)平滑的曲面，但是國內(nèi)外新興了一種臺(tái)階型背管，即，背管對(duì)應(yīng)靶管的位置向內(nèi)凹陷，使得背管的外表面對(duì)應(yīng)靶管兩端的位置形成直角臺(tái)階。相比于帶有平直型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，帶有臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材在滿足靶管與對(duì)應(yīng)靶管處背管的相關(guān)尺寸的基礎(chǔ)上，可以使得背管分別對(duì)應(yīng)端頭連接與設(shè)備連接的兩端的管厚更大，使得背管分別與端頭和設(shè)備的兩處連接更加牢固。然而，在采用hip一體成型法實(shí)現(xiàn)靶管與直角臺(tái)階型背管綁定的過程中，由于靶管與背管的熱膨脹系數(shù)不同，使得在hip燒結(jié)之后的降溫過程中，背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)會(huì)對(duì)于靶管兩端產(chǎn)生擠壓作用，導(dǎo)致靶管的兩端對(duì)應(yīng)背管的直角臺(tái)階處極易產(chǎn)生開裂，進(jìn)而導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)靶材的成品率大大降低。
6.綜上所述，目前需要開發(fā)一種提高旋轉(zhuǎn)靶材成品率的技術(shù)方案，可以減小背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
7.針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，大大提高了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率。
8.為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：
9.本實(shí)用新型提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，包括相互綁定的靶管與背管，所述背管對(duì)應(yīng)所述靶管的位置向內(nèi)凹陷，所述背管的外表面對(duì)應(yīng)所述靶管的兩端形成斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度。
10.本實(shí)用新型針對(duì)背管的結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整，將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，大大提高了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率。
11.值得說明的是，本實(shí)用新型所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，例如60度、61度、62度、63度、64度、65度、66度、67度、68度、69度、70度、71度、72度、73度、74度或75度等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，上述數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
12.本實(shí)用新型的關(guān)鍵在于，將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階分別向背管的兩端傾斜調(diào)整為斜角臺(tái)階，經(jīng)過hip燒結(jié)過程以及按照?qǐng)D紙進(jìn)行機(jī)加工后，本實(shí)用新型所得帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材將會(huì)耗費(fèi)更多的靶管對(duì)應(yīng)的金屬粉末，例如鉻粉末。經(jīng)過發(fā)明人多次試驗(yàn)研究，當(dāng)本實(shí)用新型所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角＜60度時(shí)，靶管的兩端仍然存在開裂的問題，當(dāng)本實(shí)用新型所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向
截面的夾角大于75度時(shí)，雖然制備得到的靶管外觀良好無裂紋，保證了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率較高，但是將會(huì)耗費(fèi)更多的靶管對(duì)應(yīng)的金屬粉末，進(jìn)一步增加原料成本，為此，發(fā)明人控制本實(shí)用新型所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度。
13.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述斜角臺(tái)階的深度為3-8mm，例如3mm、4mm、5mm、6mm、7mm或8mm等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，上述數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
14.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述靶管的目標(biāo)管厚為3-15mm，例如3mm、5mm、7mm、10mm、13mm或15mm等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，上述數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
15.值得說明的是，本實(shí)用新型所述靶管的主體呈現(xiàn)管狀，僅僅在兩端對(duì)應(yīng)斜角臺(tái)階而產(chǎn)生斜面，所述靶管的目標(biāo)管厚指的是呈現(xiàn)均勻管狀的靶管主體的管厚，即，后續(xù)磁控濺射對(duì)應(yīng)區(qū)域的厚度。
16.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述靶管的目標(biāo)長度為500-3000mm，例如500mm、1000mm、1200mm、1500mm、1800mm、2000mm、2300mm、2500mm、2700mm或3000mm等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，上述數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
17.值得說明的是，本實(shí)用新型所述靶管的主體呈現(xiàn)管狀，僅僅在兩端對(duì)應(yīng)斜角臺(tái)階而產(chǎn)生斜面，所述靶管的目標(biāo)長度指的是呈現(xiàn)均勻管狀的靶管主體的長度，而不包括靶管兩端的斜面對(duì)應(yīng)的長度。
18.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述背管與端頭連接的端頭端的管厚為15-20mm，例如15mm、16mm、17mm、18mm、19mm或20mm等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，上述數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
19.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述背管的端頭端與所述端頭通過螺紋連接。
20.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述背管的端頭端與所述端頭的接觸端面還設(shè)置有導(dǎo)電膠層。
21.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述背管與設(shè)備連接的設(shè)備端的管厚為15-20mm，例如15mm、16mm、17mm、18mm、19mm或20mm等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，上述數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
22.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述背管的設(shè)備端與所述設(shè)備通過法蘭連接。
23.作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案，所述靶管與所述背管之間設(shè)置金屬綁定層。
24.值得說明的是，在采用hip燒結(jié)制備旋轉(zhuǎn)靶材的過程中，往往存在靶管與背管的熱膨脹系數(shù)差異較大的問題，導(dǎo)致靶管不易直接綁定在背管上，為此，在實(shí)際生產(chǎn)過程中，往往通過噴涂或電鍍的方式在背管的外表面設(shè)置金屬綁定層，通過靶管與金屬綁定層之間的結(jié)合來實(shí)現(xiàn)靶管與背管之間的綁定。由于鉻旋轉(zhuǎn)靶材是一種常見的旋轉(zhuǎn)靶材，以鉻旋轉(zhuǎn)靶材為例，往往在不銹鋼背管的外表面進(jìn)行預(yù)鍍鎳處理，設(shè)置鎳層作為金屬綁定層。
25.值得說明的是，本實(shí)用新型以鉻旋轉(zhuǎn)靶材為例，介紹一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，具體內(nèi)容如下：
26.(1)對(duì)不銹鋼背管進(jìn)行機(jī)加工，使得不銹鋼背管對(duì)應(yīng)鉻靶管的位置向內(nèi)凹陷，不銹鋼背管的外表面對(duì)應(yīng)鉻靶管的兩端形成斜角臺(tái)階，斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離不銹鋼背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于不銹鋼背管的徑向截面的夾角為60-75
度，通過噴涂或電鍍的方式在不銹鋼背管的外表面進(jìn)行預(yù)鍍鎳處理，設(shè)置鎳層作為金屬綁定層；
27.將上述處理后的不銹鋼背管、低碳鋼包套外管以及圓形不銹鋼蓋板進(jìn)行清洗干燥處理，并將不銹鋼背管作為包套內(nèi)管和低碳鋼包套外管均焊接在圓形不銹鋼蓋板的同一側(cè)進(jìn)行包套組裝處理，保證同心度公差≤0.05mm，使得低碳鋼包套外管的內(nèi)徑和不銹鋼背管的外徑之間的差值為鉻靶管的目標(biāo)厚度的2-3倍；
28.(2)將鉻粉末填充至不銹鋼背管的外表面與低碳鋼包套外管的內(nèi)表面形成的腔體中，利用帶有脫氣孔的圓形不銹鋼蓋板進(jìn)行包套密封處理，然后在400-600℃下脫氣6-9h，控制所述腔體內(nèi)的真空度為1.0
×
10-3-1.0
×
10-2
pa；
29.(3)將脫氣處理后的包套進(jìn)行熱等靜壓處理，控制熱等靜壓處理的溫度為1000-1250℃，壓力為100-150mpa，時(shí)間為3-6h，然后除去低碳鋼包套外管、圓形不銹鋼蓋板以及帶有脫氣孔的圓形不銹鋼蓋板，獲得將不銹鋼背管與鉻靶管綁定的鉻旋轉(zhuǎn)靶材，隨后按照?qǐng)D紙進(jìn)行機(jī)加工，得到濺射用鉻旋轉(zhuǎn)靶材。
30.與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果為：
31.本實(shí)用新型提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，大大提高了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率。
附圖說明
32.圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1所述帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材的沿軸向截面的截面示意圖；
33.圖2為本實(shí)用新型對(duì)比例1所述帶有直角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材的沿軸向截面的截面示意圖；
34.其中，1-靶管；2-背管；3-斜角臺(tái)階；4-直角臺(tái)階。
具體實(shí)施方式
35.為使本實(shí)用新型的技術(shù)方案、目的和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面通過具體的實(shí)施例子并結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。
36.在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
37.在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，
可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于電和通信領(lǐng)域而言，可以是有線連接，也可以是無線連接。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
38.實(shí)施例1
39.本實(shí)施例提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，沿軸向截面的截面示意圖如圖1所示，包括相互綁定的靶管1與背管2，所述背管2對(duì)應(yīng)所述靶管1的位置向內(nèi)凹陷，所述背管2的外表面對(duì)應(yīng)所述靶管1的兩端形成斜角臺(tái)階3，所述斜角臺(tái)階3的斜面以遠(yuǎn)離所述背管2的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于所述背管2的徑向截面的夾角θ為70度；
40.其中，所述斜角臺(tái)階3的深度為3-8mm，所述靶管1的目標(biāo)管厚為15-20mm，所述靶管1的目標(biāo)長度為1000-3000mm，所述背管2與端頭連接的端頭端的管厚為15-20mm，所述背管2與設(shè)備連接的設(shè)備端的管厚為15-20mm，所述背管2的設(shè)備端與所述設(shè)備通過法蘭連接，所述靶管1與所述背管2之間設(shè)置一層厚度為2mm的鎳層作為金屬綁定層(未示出)。
41.本實(shí)施例所述帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，由于將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，并控制所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，成品率為100％。
42.實(shí)施例2
43.本實(shí)施例提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，沿軸向截面的截面示意圖如圖1所示，包括相互綁定的靶管1與背管2，所述背管2對(duì)應(yīng)所述靶管1的位置向內(nèi)凹陷，所述背管2的外表面對(duì)應(yīng)所述靶管1的兩端形成斜角臺(tái)階3，所述斜角臺(tái)階3的斜面以遠(yuǎn)離所述背管2的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于所述背管2的徑向截面的夾角θ為70度；
44.其中，所述斜角臺(tái)階3的深度為3-8mm，所述靶管1的目標(biāo)管厚為15-20mm，所述靶管1的目標(biāo)長度為1000-3000mm，所述背管2與端頭連接的端頭端的管厚為15-20mm，所述背管2與設(shè)備連接的設(shè)備端的管厚為15-20mm，所述背管2的設(shè)備端與所述設(shè)備通過法蘭連接，所述靶管1與所述背管2之間設(shè)置一層厚度為2mm的鎳層作為金屬綁定層(未示出)。
45.本實(shí)施例所述帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，由于將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，并控制所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，成品率為100％。
46.實(shí)施例3
47.本實(shí)施例提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，沿軸向截面的截面示意圖如圖1所示，包括相互綁定的靶管1與背管2，所述背管2對(duì)應(yīng)所述靶管1的位置向內(nèi)凹陷，所述背管2的外表面對(duì)應(yīng)所述靶管1的兩端形成斜角臺(tái)階3，所述斜角臺(tái)階3的斜面以遠(yuǎn)離所述背管2的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于所述背管2的徑向截面的夾角θ為70度；
48.其中，所述斜角臺(tái)階3的深度為3-8mm，所述靶管1的目標(biāo)管厚為15-20mm，所述靶管1的目標(biāo)長度為1000-3000mm，所述背管2與端頭連接的端頭端的管厚為15-20mm，所述背管2與設(shè)備連接的設(shè)備端的管厚為15-20mm，所述背管2的設(shè)備端與所述設(shè)備通過法蘭連接，所述靶管1與所述背管2之間設(shè)置一層厚度為2mm的鎳層作為金屬綁定層(未示出)。
49.本實(shí)施例所述帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，由于將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，并控制所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，成品率為100％。
50.對(duì)比例1
51.本對(duì)比例提供了一種帶有直角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，沿軸向截面的截面示意圖如圖2所示，包括相互綁定的靶管1與背管2，所述背管2對(duì)應(yīng)所述靶管1的位置向內(nèi)凹陷，所述背管2的外表面對(duì)應(yīng)所述靶管1的兩端形成直角臺(tái)階4，即，直角臺(tái)階4的凹陷側(cè)面垂直于水平面，直角臺(tái)階4的凹陷側(cè)面相對(duì)于所述背管2的徑向截面的夾角為0度；
52.其中，所述斜角臺(tái)階3的深度為3-8mm，所述靶管1的目標(biāo)管厚為15-20mm，所述靶管1的目標(biāo)長度為1000-3000mm，所述背管2與端頭連接的端頭端的管厚為15-20mm，所述背管2與設(shè)備連接的設(shè)備端的管厚為15-20mm，所述背管2的設(shè)備端與所述設(shè)備通過法蘭連接，所述靶管1與所述背管2之間設(shè)置一層厚度為2mm的鎳層作為金屬綁定層(未示出)。
53.本對(duì)比例所述帶有直角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，由于靶管與背管的熱膨脹系數(shù)不同，使得在hip燒結(jié)之后的降溫過程中，背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)會(huì)對(duì)于靶管兩端產(chǎn)生擠壓作用，導(dǎo)致靶管的兩端對(duì)應(yīng)背管的直角臺(tái)階處極易產(chǎn)生開裂，成品率往往＜50％。
54.對(duì)比例2
55.本對(duì)比例提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，相比于實(shí)施例1，區(qū)別僅在于：斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于背管2的徑向截面的夾角為50度。
56.本對(duì)比例所述帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，由于靶管與背管的熱膨脹系數(shù)不同，而且斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于背管2的徑向截面的夾角僅為50度，使得在hip燒結(jié)之后的降溫過程中，背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端產(chǎn)生的擠壓作用減緩但是仍然存在，進(jìn)而導(dǎo)致靶管的兩端對(duì)應(yīng)背管的直角臺(tái)階處仍會(huì)產(chǎn)生開裂，成品率往往處于70％-80％范圍。
57.對(duì)比例3
58.本對(duì)比例提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，相比于實(shí)施例1，區(qū)別僅在于：斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于背管2的徑向截面的夾角為80度。
59.本對(duì)比例所述帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，設(shè)置斜角臺(tái)階3的斜面相對(duì)于背管2的徑向截面的夾角為80度，雖然制備得到的靶管外觀良好無裂紋，保證了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率仍為100％，但是將會(huì)耗費(fèi)更多的靶管對(duì)應(yīng)的金屬粉末，進(jìn)一步增加原料成本，不利于推廣使用。
60.綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了hip燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外
觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，大大提高了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率。
61.以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明了，任何屬于本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍和公開范圍之內(nèi)。
技術(shù)特征：
1.一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，包括相互綁定的靶管與背管，所述背管對(duì)應(yīng)所述靶管的位置向內(nèi)凹陷，所述背管的外表面對(duì)應(yīng)所述靶管的兩端形成斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述斜角臺(tái)階的深度為3-8mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述靶管的目標(biāo)管厚為3-15mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述靶管的目標(biāo)長度為500-3000mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述背管與端頭連接的端頭端的管厚為15-20mm。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述背管的端頭端與所述端頭通過螺紋連接。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述背管的端頭端與所述端頭的接觸端面還設(shè)置有導(dǎo)電膠層。8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述背管與設(shè)備連接的設(shè)備端的管厚為15-20mm。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述背管的設(shè)備端與所述設(shè)備通過法蘭連接。10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述靶管與所述背管之間設(shè)置金屬綁定層。
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種帶有斜角臺(tái)階型背管的旋轉(zhuǎn)靶材，將臺(tái)階型背管的直角臺(tái)階調(diào)整為斜角臺(tái)階，所述斜角臺(tái)階的斜面以遠(yuǎn)離所述背管的中心的方向由內(nèi)向外傾斜，且所述斜角臺(tái)階的斜面相對(duì)于所述背管的徑向截面的夾角為60-75度，有效緩解了HIP燒結(jié)過程中背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)對(duì)于靶管兩端的擠壓作用，使得制備得到的靶管外觀良好無裂紋，尤其是對(duì)應(yīng)背管外表面的臺(tái)階結(jié)構(gòu)處不再產(chǎn)生開裂，大大提高了旋轉(zhuǎn)靶材的成品率。材的成品率。材的成品率。
