一種FIB三維重構(gòu)樣品專用存儲盒的制作方法
一種fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒
技術(shù)領(lǐng)域
1.本實(shí)用新型涉及fib三維重構(gòu)樣品存儲技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒。
背景技術(shù)：
2.聚焦離子束(focused ion beam縮寫fib)是一種較為先進(jìn)的顯微加工及分析技術(shù)，其中，fib三維重構(gòu)是一種利用fib的顯微加工能力來實(shí)現(xiàn)樣品的三維顯微分析的重要技術(shù)，該技術(shù)具有以下特點(diǎn)：
3.①
fib使用昂貴的鎵離子源做為加工介質(zhì)，獲取三維數(shù)據(jù)的成本較高；
4.②
fib三維重構(gòu)的測試周期很長,如果需要重構(gòu)較大區(qū)域甚至需要幾周時(shí)間。
5.從以上兩點(diǎn)可以發(fā)現(xiàn)fib三維重構(gòu)的樣品是珍貴的，而測試過程是復(fù)雜而漫長的，在測試過程中需要對fib三維重構(gòu)樣品進(jìn)行存儲。但是目前市場上卻沒有一種能夠良好保存fib三維重構(gòu)樣品的存儲裝置，尤其是良好保存測試過程樣品的存儲裝置。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
6.為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒。
7.本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：
8.一種fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，包括底蓋及與底蓋配合形成存儲腔的樣品蓋，所述存儲腔內(nèi)設(shè)置有用于固定樣品的雙傾樣品臺及用于將雙傾樣品臺安裝在底蓋上的夾具，所述雙傾樣品臺頂部設(shè)置有鄰接且相互垂直的第一斜面與第二斜面，所述第一斜面與水平面的夾角為36
°
，所述第二斜面與水平面的夾角為54
°
。
9.更進(jìn)一步地，所述夾具上設(shè)置有第一螺紋孔，所述雙傾樣品臺底部設(shè)置有與第一螺紋孔連接的第一螺紋柱。
10.更進(jìn)一步地，所述夾具底部設(shè)置有第二螺紋柱，所述底蓋上設(shè)置有與第二螺紋柱配合的第二螺紋孔。
11.更進(jìn)一步地，所述第二螺紋柱外部及第二螺紋孔內(nèi)均設(shè)置rms螺紋。
12.更進(jìn)一步地，所述雙傾樣品臺還包括一桿體，所述第一斜面、第二斜面均設(shè)置在桿體頂部，所述桿體上設(shè)置有若干通孔或凹槽。
13.更進(jìn)一步地，所述樣品蓋為透明材料制成。
14.本實(shí)用新型的有益效果如下：
15.本實(shí)用新型提供的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，實(shí)現(xiàn)fib樣品臺與樣品的一體化存儲，不僅能有效保護(hù)珍貴樣品，還能存儲樣品的三維空間狀態(tài)，非常適合對三維重構(gòu)的過程樣品進(jìn)行存儲，實(shí)現(xiàn)三維重構(gòu)樣品的斷點(diǎn)續(xù)測；同時(shí)雙傾樣品臺具有角度獨(dú)特的第一斜面與第二斜面，便于從特定角度觀察樣品，對樣品結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維表征。
附圖說明
16.圖1是存儲盒外部結(jié)構(gòu)示意圖；
17.圖2是存儲盒爆炸結(jié)構(gòu)示意圖；
18.圖3是存儲盒剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
19.圖4是雙傾樣品臺結(jié)構(gòu)示意圖；
20.圖5是夾具結(jié)構(gòu)示意圖；
21.附圖標(biāo)記：1-樣品蓋，2-底蓋，3-雙傾樣品臺，4-夾具，5-第一斜面，6-第二斜面，7-通孔，8-第一螺紋柱，9-第一螺紋孔，10-第二螺紋孔，11-第二螺紋柱。
具體實(shí)施方式
22.在本實(shí)用新型的描述中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“設(shè)置”、“連通”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連通，也可以是可拆卸連通，或一體地連通；可以是機(jī)械連通，也可以是電連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
23.實(shí)施例
24.本實(shí)施例提供一種fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，請參見圖1-4所示，包括底蓋2及與底蓋2配合形成存儲腔的樣品蓋1，當(dāng)然底蓋2與樣品蓋1是可拆卸連接的，以便放入或取出樣品，具體可以是卡接、扣接、螺紋連接等方式進(jìn)行連接，且樣品蓋1也可以采用透明材料，例如塑料等，進(jìn)行制作，以方便觀察其內(nèi)部結(jié)構(gòu)。其中，存儲腔內(nèi)設(shè)置有用于固定樣品的雙傾樣品臺3及用于將雙傾樣品臺3安裝在底蓋2上的夾具4，所述雙傾樣品臺3頂部設(shè)置有鄰接且相互垂直的第一斜面5與第二斜面6，所述第一斜面5與水平面的夾角為36
°
，所述第二斜面6與水平面的夾角為54
°
。其中，雙傾樣品臺3可以直接安裝至雙束電子顯微鏡上進(jìn)行測試，而雙傾樣品臺3具有特殊傾角的第一斜面5與第二斜面6，實(shí)際使用時(shí)，可以根據(jù)需要將樣品固定在第一斜面5或第二斜面6上，然后根據(jù)檢測需求調(diào)整至合適的角度，例如樣品調(diào)整至水平角度、傾斜36
°
等，進(jìn)行尋共焦點(diǎn)、fib誘導(dǎo)沉積保護(hù)層、fib截面切割等操作，然后便可以放置到雙束電子顯微鏡內(nèi)進(jìn)行測試，測試時(shí)，根據(jù)需要對雙傾樣品臺3進(jìn)行一定角度傾斜，獲取圖像，進(jìn)行三維重構(gòu)，這使得不論是特定角度觀察還是利用離子束進(jìn)行銑削和加工，都更為方便，從而使得三維重構(gòu)更為便利。
25.另外，雙傾樣品臺3具體來說可以包括一桿體，所述第一斜面5、第二斜面6均設(shè)置在桿體頂部，所述桿體上設(shè)置有若干通孔7或凹槽，通過通孔7及凹槽來減輕雙傾樣品臺3的重量及原料用量。
26.雖然雙傾樣品臺3與夾具4之間也可以通過卡接、在夾具4一側(cè)打孔以螺釘固定等方式進(jìn)行連接，但是這樣的方式，都容易傷及雙傾樣品臺3底部，因此本實(shí)施例根據(jù)雙傾樣品臺3的特點(diǎn)，請參見圖5所示，在夾具4上設(shè)置有第一螺紋孔9，雙傾樣品臺3底部設(shè)置有與第一螺紋孔9連接的第一螺紋柱8，當(dāng)然，第一螺孔內(nèi)設(shè)置的m6螺紋，第一螺紋柱8外部設(shè)置的也是是m6螺紋，這使得第一螺紋柱8也是雙傾樣品臺3可以直接與一些主流品牌雙束電子顯微鏡進(jìn)行連接的方式，即無需對雙傾樣品臺3進(jìn)行額外設(shè)置，即可使其與夾具4進(jìn)行連接，且不會對雙傾樣品臺3造成傷害，使用更為便利。
27.而夾具4與底蓋2之間，也是如此，可以通過螺栓緊固件、卡接等方式進(jìn)行連接。但是為了進(jìn)一步降低樣品存儲的成本，也可以選用存放顯微鏡物鏡的盒子來替代樣品蓋1及底蓋2，即無需再專門制作樣品蓋1與底蓋2，直接從市面上進(jìn)行購買即可，而顯微鏡物鏡盒的底蓋2內(nèi)部設(shè)置有rms螺紋槽，此時(shí)就可以在夾具4底部設(shè)置rms螺紋柱來將夾具4固定在底蓋2上，當(dāng)然對于一些尺寸特殊的雙傾樣品臺3，需要單獨(dú)制作底蓋2與樣品蓋1的，可以在底蓋2上設(shè)置第二螺紋孔10，夾具4上設(shè)置與第二螺紋孔10螺紋連接第二螺紋柱11，當(dāng)然第二螺紋柱11也為rms螺紋柱，這樣可以使夾具4適配各種底蓋2，適應(yīng)性更強(qiáng)。
28.作為夾具4的一種具體結(jié)構(gòu)，夾具4可以設(shè)置為一多棱柱體，分別在其頂部設(shè)置第一螺紋槽、底部設(shè)置第二螺紋柱11，這樣的設(shè)置方式，可以通過其側(cè)邊的棱增大摩擦力，方便擰動，當(dāng)然也可以直接設(shè)置為圓柱，在外表增設(shè)防滑凸起即可。
29.總地來說，本發(fā)明的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，具有如下優(yōu)點(diǎn)：
30.1.具有廣泛的適用性，適合用于市場上80％以上的雙束或多束設(shè)備使用，且方便進(jìn)行樣品進(jìn)行觀察；
31.2.實(shí)現(xiàn)樣品-樣品臺一體化存儲，不僅能有效保護(hù)珍貴樣品，同時(shí)還存儲了樣品的三維空間狀態(tài)，非常適合對三維重構(gòu)的過程樣品進(jìn)行存儲，實(shí)現(xiàn)斷點(diǎn)續(xù)測的功能；
32.3.該樣品存儲盒適合長期存儲樣品并能夠適應(yīng)運(yùn)輸過程，使得遠(yuǎn)距離運(yùn)輸以及不同儀器間的協(xié)作測試成為可能。
33.以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)，凡是運(yùn)用本實(shí)用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
技術(shù)特征：
1.一種fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，包括底蓋(2)及與底蓋(2)配合形成存儲腔的樣品蓋(1)，其特征在于，所述存儲腔內(nèi)設(shè)置有用于固定樣品的雙傾樣品臺(3)及用于將雙傾樣品臺(3)安裝在底蓋(2)上的夾具(4)，所述雙傾樣品臺(3)頂部設(shè)置有鄰接且相互垂直的第一斜面(5)與第二斜面(6)，所述第一斜面(5)與水平面的夾角為36
°
，所述第二斜面(6)與水平面的夾角為54
°
。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，其特征在于，所述夾具(4)上設(shè)置有第一螺紋孔(9)，所述雙傾樣品臺(3)底部設(shè)置有與第一螺紋孔(9)連接的第一螺紋柱(8)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，其特征在于，所述夾具(4)底部設(shè)置有第二螺紋柱(11)，所述底蓋(2)上設(shè)置有與第二螺紋柱(11)配合的第二螺紋孔(10)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，其特征在于，所述第二螺紋柱(11)外部及第二螺紋孔(10)內(nèi)均設(shè)置rms螺紋。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，其特征在于，所述雙傾樣品臺(3)還包括一桿體，所述第一斜面(5)、第二斜面(6)均設(shè)置在桿體頂部，所述桿體上設(shè)置有若干通孔(7)或凹槽。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的fib三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，其特征在于，所述樣品蓋(1)為透明材料制成。
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種FIB三維重構(gòu)樣品專用存儲盒，包括底蓋及與底蓋配合形成存儲腔的樣品蓋，所述存儲腔內(nèi)設(shè)置有用于固定樣品的雙傾樣品臺及用于將雙傾樣品臺安裝在底蓋上的夾具，所述雙傾樣品臺頂部設(shè)置有鄰接且相互垂直的第一斜面與第二斜面，所述第一斜面與水平面的夾角為36
