本文作者:kaifamei

一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊的制作方法

更新時間:2025-12-24 22:24:00 0條評論

一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊的制作方法



1.本申請涉及研磨工具技術領域,尤其涉及一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊。


背景技術:



2.樹脂研磨墊主要用于磁盤基板、光學透鏡、和半導體晶片等的精密器件的平坦化處理,打磨精密,不易損傷精密器件的表面,樹脂研磨墊一般通過模壓成型。
3.在實現本申請過程中,發明人發現該技術中至少存在如下問題,樹脂研磨墊在進行研磨時,通過在研磨墊與待打磨的器件表面添加適量的研磨液,樹脂研磨墊通過旋轉配合研磨液中的磨粒作用,實現對精密器件表面的打磨,而現在的樹脂研磨墊為了提高研磨質量,通常會設置微孔結構,通過微孔一方面可以存儲研磨液,另一方面可以儲存打磨下來的顆粒,但是微孔雖然具備一定的研磨效果,但是研磨液和打磨下來的顆粒積聚在微孔內部,一方面流通不便,一旦微孔內顆粒積聚過多,則易導致顆粒硬性刮擦精密器件表面,導致出現過度磨損,且微孔內清理不便,導致研磨墊使用壽命較短,因此,提出一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊。


技術實現要素:



4.本申請的目的是為了解決現有技術中樹脂研磨墊為了提高研磨質量,通常會設置微孔結構,通過微孔一方面可以存儲研磨液,另一方面可以儲存打磨下來的顆粒,但是微孔雖然具備一定的研磨效果,但是研磨液和打磨下來的顆粒積聚在微孔內部,一方面流通不便,一旦微孔內顆粒積聚過多,則易導致顆粒硬性刮擦精密器件表面,導致出現過度磨損,且微孔內清理不便,導致研磨墊使用壽命較短的問題,而提出的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊。
5.為了實現上述目的,本申請采用了如下技術方案:
6.一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,包括樹脂墊,所述樹脂墊的上端一體設有多個研磨柱,各個所述研磨柱均為正六邊形設置,所述樹脂墊的端面為圓形設置,且各個研磨柱均位于樹脂墊的端面均勻分布設置,所述樹脂墊的外側壁固定套接有海綿套,所述海綿套的上端高于多個研磨柱的上端設置。
7.優選的,所述樹脂墊的下端開設有安裝槽,所述安裝槽的槽底固定設有安裝圓盤,所述安裝圓盤的側壁一體設置有多個卡接塊,且安裝槽的槽壁開設有多個與卡接塊相匹配的卡接槽。
8.優選的,所述海綿套的側壁下端固定套接有環形橡膠條。
9.優選的,各個所述研磨柱的下端均固定套接有加強凸起,所述加強凸起位于樹脂墊的上端固定設置,各個所述加強凸起的外緣處側壁均為弧形設置。
10.優選的,所述研磨柱的柱長位于2.0mm至3.0mm范圍內設置,所述樹脂墊的厚度位于4.0mm至6.0mm范圍內設置。
11.優選的,所述海綿套的上端比研磨柱的上端高出距離位于0.4mm至0.8mm范圍內設
置,所述海綿套的厚度位于2.0mm至2.5mm范圍內設置。
12.與現有技術相比,本申請提供了一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,具備以下有益效果:
13.1、該具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,通過設有的樹脂墊和多個研磨柱,通過研磨柱可以作為精密器件表面的研磨使用,通過多個研磨柱構成蜂巢結構,可以確保研磨時保持足夠的穩定性,且通過多個研磨柱之間形成的可流通的通道,配合海綿套,既可以確保研磨液的存續,使研磨液可以得到充分使用,而且打磨下來的顆粒也有足夠的空間可以移動,不易對器件表面造成過度損傷,后續清理也相對方便,間接提高研磨墊的使用壽命。
14.2、該具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,通過設有的安裝槽、安裝圓盤、卡接塊和卡接槽的相互配合,通過安裝圓盤、卡接塊形成鍵槽的卡接結構,可以確保樹脂墊與研磨驅動件之間的連接穩定性,受力效果好。
15.該裝置中未涉及部分均與現有技術相同或可采用現有技術加以實現,本申請可以確保研磨液的存續,使研磨液可以得到充分使用,而且打磨下來的顆粒也有足夠的空間可以移動,不易對器件表面造成過度損傷,后續清理也相對方便,間接提高研磨墊的使用壽命,同時可以確保樹脂墊與研磨驅動件之間的連接穩定性,受力效果好。
附圖說明
16.圖1為本申請提出的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊的結構示意圖;
17.圖2為圖1的俯視結構放大圖;
18.圖3為圖1的仰視結構示意圖。
19.圖中:1、樹脂墊;2、研磨柱;3、海綿套;4、安裝槽;5、安裝圓盤;6、卡接塊;7、卡接槽;8、環形橡膠條;9、加強凸起。
具體實施方式
20.下面將結合本申請實施例中的附圖,對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本申請一部分實施例,而不是全部的實施例。
21.參照圖1-3,一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,包括樹脂墊1,樹脂墊1的上端一體設有多個研磨柱2,研磨柱2的柱長位于2.0mm至3.0mm范圍內設置,樹脂墊1的厚度位于4.0mm 至6.0mm范圍內設置,各個研磨柱2均為正六邊形設置,樹脂墊1為pet樹脂纖維含浸于聚氨酯樹脂制成,研磨柱2與樹脂墊1的材料相同,樹脂墊1的端面為圓形設置,且各個研磨柱2均位于樹脂墊1的端面均勻分布設置,樹脂墊1的外側壁固定套接有海綿套3,海綿套3的上端高于多個研磨柱2的上端設置,海綿套3的上端比研磨柱2的上端高出距離位于0.4mm至0.8mm范圍內設置,海綿套3的厚度位于2.0mm至2.5mm范圍內設置。
22.樹脂墊1的下端開設有安裝槽4,安裝槽4的槽底固定設有安裝圓盤5,安裝圓盤5的側壁一體設置有多個卡接塊6,且安裝槽4的槽壁開設有多個與卡接塊6相匹配的卡接槽7,通過安裝圓盤5配合卡接塊6和安裝槽4和卡接槽7,可以形成鍵槽的卡接結構,從而可以提高樹脂墊1與研磨驅動件之間的連接穩定性,受力效果好。
23.海綿套3的側壁下端固定套接有環形橡膠條8,通過此種設置,可以提高海綿套3與樹脂墊1之間的連接穩定性。
24.各個研磨柱2的下端均固定套接有加強凸起9,加強凸起9位于樹脂墊1的上端固定設置,各個加強凸起9的外緣處側壁均為弧形設置,通過此種設置,可以對各個研磨柱2進行受力支撐,從而可以提高研磨柱2與樹脂墊1之間的連接強度,防止研磨柱2研磨時過度變形。
25.本申請中,使用時,通過在樹脂墊1上的多個研磨柱2,研磨柱2的柱端與精密器件的表面接觸,在研磨前,將研磨液置于樹脂墊1與器件表面之間,然后通過樹脂墊1旋轉,此時可以帶動多個研磨柱2轉動,從而可以對器件表面進行研磨處理,由于海綿套3在樹脂墊1的外緣處對研磨液的阻擋作用,故配合多個研磨柱2之間形成的流動通道,可以積蓄研磨液,且研磨液以及打磨去除的顆粒可以在流動通道內部隨意流動,可動空間大,故確保對研磨液存續效果的同時,可以防止顆粒積聚對器件表面造成磨損,通過研磨液存續可以確保充分的使用研磨液。
26.以上所述,僅為本申請較佳的具體實施方式,但本申請的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本申請揭露的技術范圍內,根據本申請的技術方案及其實用新型構思加以等同替換或改變,都應涵蓋在本申請的保護范圍之內。


技術特征:


1.一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,包括樹脂墊(1),其特征在于,所述樹脂墊(1)的上端一體設有多個研磨柱(2),各個所述研磨柱(2)均為正六邊形設置,所述樹脂墊(1)的端面為圓形設置,且各個研磨柱(2)均位于樹脂墊(1)的端面均勻分布設置,所述樹脂墊(1)的外側壁固定套接有海綿套(3),所述海綿套(3)的上端高于多個研磨柱(2)的上端設置。2.根據權利要求1所述的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,其特征在于,所述樹脂墊(1)的下端開設有安裝槽(4),所述安裝槽(4)的槽底固定設有安裝圓盤(5),所述安裝圓盤(5)的側壁一體設置有多個卡接塊(6),且安裝槽(4)的槽壁開設有多個與卡接塊(6)相匹配的卡接槽(7)。3.根據權利要求1所述的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,其特征在于,所述海綿套(3)的側壁下端固定套接有環形橡膠條(8)。4.根據權利要求1所述的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,其特征在于,各個所述研磨柱(2)的下端均固定套接有加強凸起(9),所述加強凸起(9)位于樹脂墊(1)的上端固定設置,各個所述加強凸起(9)的外緣處側壁均為弧形設置。5.根據權利要求1所述的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,其特征在于,所述研磨柱(2)的柱長位于2.0mm至3.0mm范圍內設置,所述樹脂墊(1)的厚度位于4.0mm至6.0mm范圍內設置。6.根據權利要求1所述的一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,其特征在于,所述海綿套(3)的上端比研磨柱(2)的上端高出距離位于0.4mm至0.8mm范圍內設置,所述海綿套(3)的厚度位于2.0mm至2.5mm范圍內設置。

技術總結


本申請涉及研磨工具技術領域,且公開了一種具有蜂巢結構的樹脂研磨墊,包括樹脂墊,所述樹脂墊的上端一體設有多個研磨柱,各個所述研磨柱均為正六邊形設置,所述樹脂墊的端面為圓形設置,且各個研磨柱均位于樹脂墊的端面均勻分布設置,所述樹脂墊的外側壁固定套接有海綿套,所述海綿套的上端高于多個研磨柱的上端設置。本申請可以確保研磨液的存續,使研磨液可以得到充分使用,而且打磨下來的顆粒也有足夠的空間可以移動,不易對器件表面造成過度損傷,后續清理也相對方便,間接提高研磨墊的使用壽命,同時可以確保樹脂墊與研磨驅動件之間的連接穩定性,受力效果好。受力效果好。受力效果好。


技術研發人員:

陳斌 李浩杰

受保護的技術使用者:

深圳中機新材料有限公司

技術研發日:

2022.10.28

技術公布日:

2023/1/19


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